中科微感金屬氧化物基MEMS氣體傳感器量產技術再次突破瓶頸。以CM-A107S氫氣傳感器為例,晶圓級萬顆批量生產,單顆LGA封裝的MEMS氫氣傳感器初始阻值和響應值一致性偏差逼近5%,良品率接近98%。本量產技術的突破,為人工智能嗅覺傳感器的普遍應用推廣打下堅實基礎,為未來氣味數字化應用提供了標準化和低成本的硬件解決方案。
隨機抽取70顆CM-A107S氫氣傳感器(LGA封裝),進行空氣中每顆阻值和500 ppm氫氣響應值測試統計,結果如下圖所示。