默克公司正憑借優(yōu)質(zhì)汽車顯示解決方案加速進(jìn)軍柔性有機(jī)發(fā)光二極管 (OLED) 市場(chǎng)。默克公司在作為柔性O(shè)LED核心的薄膜封裝（TFE）工藝中引入了原子層沉積（ALD）方法，而不是現(xiàn)有的化學(xué)氣相沉積（CVD）方法。
據(jù)顯示行業(yè)8月27日消息，默克公司開發(fā)出一種ALD工藝，并將其應(yīng)用于柔性O(shè)LED薄膜封裝工藝中。
與常規(guī)剛性O(shè)LED不同，柔性O(shè)LED需要增加面板的靈活性，因此它使用聚酰亞胺（PI）材料基板代替現(xiàn)有的玻璃基板，并經(jīng)過多層無機(jī)和有機(jī)薄膜堆疊的薄膜封裝工藝。通過將無機(jī)膜層組合在一起，實(shí)現(xiàn)了面板的可彎曲特性。
現(xiàn)有的無機(jī)膜使用通過CVD方法形成的前體。前驅(qū)體是指在顯示器和半導(dǎo)體工藝過程中用于沉積薄膜以形成薄膜的基本原材料。隨著顯示器的厚度越來越薄，由于空氣和濕氣的滲透，薄膜中出現(xiàn)了雜質(zhì)（顆粒）形成的問題，因此默克通過引入ALD方法繼續(xù)研究和開發(fā)。
ALD是一種通過逐層堆疊原子層來制造薄膜的方法，它可以實(shí)現(xiàn)原子級(jí)的精度，使得薄膜變薄同時(shí)降低雜質(zhì)污染程度成為可能。
“ALD 在許多方面被認(rèn)為是無機(jī)薄膜沉積的最佳解決方案，并且在厚度控制、成分控制和均勻性方面表現(xiàn)出色，”默克韓國(guó) OLED 研究中心負(fù)責(zé)人Kim Jun-ho 表示。
他繼續(xù)說道，“利用相對(duì)簡(jiǎn)單的工藝條件和較低的功率就可以精確控制無機(jī)膜的厚度，而且碳和氮的雜質(zhì)也很少，所以接近‘零’。”
“這表明由 ALD 前驅(qū)體形成的薄膜是均勻形成的。使用ALD工藝的前驅(qū)體的優(yōu)點(diǎn)是薄膜厚度幾乎均勻，沒有缺陷或氣泡，”他補(bǔ)充道。
高檔汽車對(duì)柔性 OLED 的需求預(yù)計(jì)將繼續(xù)增加。
市場(chǎng)研究公司 Omdia 預(yù)計(jì)，到 2031年，汽車OLED市場(chǎng)的柔性產(chǎn)品出貨量預(yù)計(jì)將超過800萬片，高于今年的 100萬片和明年的 200 萬片，預(yù)計(jì)將占汽車OLED總出貨量的一半以上。
默克公司正在與三星顯示器公司和LG顯示器公司在OLED材料開發(fā)領(lǐng)域進(jìn)行合作。LG Display 開發(fā)了 P-OLED，它結(jié)合了在 PI 基板上堆疊兩個(gè)有機(jī)發(fā)光層的串聯(lián)結(jié)構(gòu)，并將其作為車輛產(chǎn)品進(jìn)行批量生產(chǎn)。三星顯示正在擴(kuò)大其基于柔性 OLED 技術(shù)的汽車產(chǎn)品陣容。
Kim Jun-ho表示：“除了 ALD 工藝之外，我們還擁有一系列用于其他沉積方法的前驅(qū)體，例如有機(jī)氯化合物和有機(jī)金屬前驅(qū)體。”
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