


CINNO Research產業資訊,德國化學材料專業廠商默克(Merck)正通過提供高端汽車顯示解決方案,加速向柔性OLED市場的擴張。在柔性OLED的核心技術——薄膜封裝(TFE)工藝中,默克導入了原子層沉積(ALD)方法,以替代傳統的化學氣相沉積(CVD)方法。

根據韓媒Sisajournal報道,據顯示行業8月27日消息,默克公司已成功開發了一種適用于ALD工藝的前驅體,并將其應用于柔性OLED的薄膜封裝過程中。據悉,這種新方式實現了極高的異物檢測精度,接近零檢測率。
與普通的剛性OLED相比,柔性OLED對面板的柔韌性有更高要求,因此采用聚酰亞胺(PI)基板替代傳統的玻璃基板,通過層層堆疊無機膜和有機薄膜來實現薄膜封裝。這種結構不僅賦予了面板彎曲的能力,還增強了其耐用性和靈活性。
現有的無機膜使用了通過CVD方法形成的前驅體。前驅體是指在顯示屏和半導體工藝中用于堆疊薄膜的沉積過程中的基礎材料。然而,隨著顯示屏技術的不斷發展,厚度日益減薄,空氣和濕氣的滲透問題凸顯,導致薄膜中雜質(顆粒)的形成。因此,默克公司采用了原子層沉積(ALD)技術,并持續加大研發投入。
ALD是一種通過將一層一層材料精確堆疊來制作薄膜的方法,可以實現極高的精度,這有助于降低雜質污染的程度,同時減小薄膜的厚度。
默克韓國OLED研究所長金俊浩表示:“ALD被認為是無機薄膜沉積領域的最佳解決方案之一,它在厚度控制、成分控制和均勻性方面展現出卓越的性能?!?/span>
“在相對簡單的工藝條件和較低的功率下,我們可以精確控制無機膜的厚度,同時確保碳和氮等雜質的含量非常低,接近于零”,他表示,“此處的零并不是絕對數字的含義,而是指達到了檢出界限(分析設備所能檢出的最少的量)以下的水準”。
“這表明使用ALD前驅體形成的薄膜是均勻且無缺陷的。薄膜的厚度幾乎一致,沒有氣泡或其他缺陷,這是ALD工藝的一個顯著優勢?!彼a充道。
展望未來,預計高端汽車市場對柔性OLED需求的持續增長。根據市場研究公司Omdia的最新預測,汽車OLED市場中的柔性產品出貨量將實現飛躍式增長,從今年的100萬片,到明年的200萬片,至2031年將超過800萬片大關,占據OLED總出貨量的半壁江山。
另外,默克正在與三星顯示和LG顯示合作,共同開發OLED材料。LG顯示開發了P-OLED產品,它結合了在PI基板上堆疊兩層有機發光層的串聯結構,并將其作為汽車用產品進行量產。三星顯示也在不斷擴大其基于柔性OLED技術的汽車產品陣容。
金俊浩表示:“除了持續深化ALD工藝的研發外,默克還在積極探索其他沉積方法的前驅體材料,如有機氯化合物和有機金屬前驅體等。”

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