在“寬禁帶半導(dǎo)體用超高純碳化硅材料制備關(guān)鍵技術(shù)”的評(píng)審中，中硅高科方面透露，該技術(shù)首創(chuàng)氣相法工藝，并建成了國(guó)內(nèi)首條年產(chǎn)300噸生產(chǎn)線。碳化硅是第三代半導(dǎo)體核心材料，相較于傳統(tǒng)硅材料，擁有耐高壓、耐高溫和優(yōu)異高頻性能等優(yōu)勢(shì)，在新能源汽車、光伏發(fā)電、智能電網(wǎng)、軌道交通及航空航天等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
氣相法工藝與首條年產(chǎn)300噸生產(chǎn)線
中硅高科年產(chǎn)300噸碳化硅項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)
中硅高科此次獲得“國(guó)際領(lǐng)先”評(píng)價(jià)的技術(shù)，采用的是“氣相法工藝”，這與目前業(yè)內(nèi)主流的物理氣相傳輸法（PVT）在技術(shù)路徑上存在區(qū)別。中硅高科生產(chǎn)項(xiàng)目采用的路線為化學(xué)沉積法，目前已建成產(chǎn)能300噸/年。據(jù)中硅高科方面介紹，與傳統(tǒng)工藝相比，該路線“單爐產(chǎn)量提升25倍，生產(chǎn)成本降低25%”，產(chǎn)品的穩(wěn)定性、一致性更強(qiáng)，“氮、硼、鋁等關(guān)鍵指標(biāo)創(chuàng)造行業(yè)極限水平”。
據(jù)悉，該碳化硅生產(chǎn)項(xiàng)目產(chǎn)品已成功應(yīng)用于12英寸碳化硅晶圓制備。
碳化硅純度：產(chǎn)業(yè)鏈上游的“第一道關(guān)口”
據(jù)中硅高科相關(guān)負(fù)責(zé)人何偉在洛陽(yáng)日?qǐng)?bào)的采訪中介紹，該碳化硅生產(chǎn)項(xiàng)目自2025年年初投產(chǎn)以來(lái)，“進(jìn)入滿產(chǎn)狀態(tài)，排產(chǎn)已經(jīng)到四個(gè)月以后”。碳化硅的品質(zhì)如何，直接決定著下游碳化硅芯片等產(chǎn)品的性能。經(jīng)檢測(cè)，經(jīng)由中硅高科技術(shù)路線生產(chǎn)的碳化硅產(chǎn)品質(zhì)量較傳統(tǒng)工藝大幅提高，可實(shí)現(xiàn)下游碳化硅芯片等產(chǎn)品良率提升、成本降低。碳化硅的高純粉料，是整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的“第一道關(guān)口”。
技術(shù)成果背后的公司積累與轉(zhuǎn)型
中硅高科能拿出這條產(chǎn)線和更前沿的技術(shù)，與其歷史儲(chǔ)備有關(guān)。公司最初從事光伏多晶硅產(chǎn)業(yè)化，于2005年建成國(guó)內(nèi)首條擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的300噸多晶硅生產(chǎn)線，結(jié)束了國(guó)內(nèi)該領(lǐng)域依賴進(jìn)口的局面。此后，公司通過(guò)持續(xù)研發(fā)投入，向著電子級(jí)多晶硅、電子特氣等高附加值領(lǐng)域進(jìn)發(fā)。
如今，中硅高科已成功將高端芯片材料技術(shù)成果轉(zhuǎn)化為22種產(chǎn)品，其中7種產(chǎn)品市場(chǎng)占有率達(dá)到國(guó)內(nèi)第一，企業(yè)成為50余家國(guó)內(nèi)集成電路企業(yè)的重要供應(yīng)商。據(jù)了解，其產(chǎn)品已批量供貨臺(tái)積電、中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、長(zhǎng)鑫科技等50余家頭部集成電路企業(yè)。
結(jié) 語(yǔ)
從產(chǎn)業(yè)角度看，一項(xiàng)材料技術(shù)獲評(píng)“國(guó)際領(lǐng)先”，最終的價(jià)值要看下游客戶是否愿意采用。中硅高科這套技術(shù)目前最直接的驗(yàn)證結(jié)果，是下游碳化硅襯底廠商已經(jīng)將產(chǎn)物用于12英寸晶圓的生產(chǎn)。這說(shuō)明粉料端的純度、粒徑等關(guān)鍵指標(biāo)達(dá)到了規(guī)?；瘧?yīng)用的門檻。至于從粉料到最終器件的全鏈條驗(yàn)證，還需要襯底制備、外延生長(zhǎng)、器件制造等環(huán)節(jié)逐一確認(rèn)，這并非一家粉料供應(yīng)商能夠單獨(dú)完成的事。但至少在最上游這一環(huán)，國(guó)內(nèi)多了一個(gè)經(jīng)得起驗(yàn)證的選項(xiàng)。
信息來(lái)源：中國(guó)有色金屬報(bào)
注：本文綜合自網(wǎng)絡(luò)公開(kāi)信息，僅供行業(yè)交流與科普參考。如因信息更新或理解偏差存在不準(zhǔn)確之處，歡迎聯(lián)系我們指正。本文不對(duì)內(nèi)容完整性或時(shí)效性作任何保證，也不構(gòu)成任何投資或商業(yè)決策建議，不對(duì)任何后果承擔(dān)責(zé)任。感謝您的理解與支持。
