核心技術突破！國產200kV透射電子顯微鏡進入小批量試產

中國近年來向著科技自立自強的方向邁出了堅定的步伐，核心技術不斷突破，高端儀器設備持續涌現。近日消息，由蘇州博眾儀器科技有限公司（簡稱博眾儀器）自主研發的200kV透射電子顯微鏡BZ-F200已經進入了小批試產階段，這標志著國產首臺200kV透射電子顯微鏡取得重大突破。透射電子顯微鏡被列為受限制的“35項關鍵技術”之一，是半導體、生命科學、材料科學等領域不可或缺的高端科學儀器，國內市場需求巨大，但長期以來全部依賴進口，因此國產替代勢在必行。

博眾儀器透射電子顯微鏡總裝車間

博眾儀器自成立以來，專注于透射電子顯微鏡產品的研發，攻克了電子光學系統設計、超精密加工與裝配、合軸聯調、納米級精度測角臺等一系列核心技術，于2022年7月完成了工程樣機的研制，達到了預期目標，并在半導體、生命科學、材料科學等領域得到了應用驗證。此后該公司又開發了第二代透射電子顯微鏡產品 BZ-F200，其性能指標同國外同類電鏡水平相當，首臺商業化產品交付在即。這期間公司實現了超高穩定度高壓電源、場發射電子槍、熱場（肖特基）電子源、高穩定度恒流源等核心技術與關鍵零部件的自主可控。

圖左一 電子源針尖與高溫比色   圖左二 電子加速陶瓷管          圖右一 200kV熱發射電子槍      圖右二 超高穩定度高壓電源

據了解，BZ-F200這款產品可根據用戶需求選配熱發射電子槍或熱場發射（肖特基）電子槍，可實現EDS、STEM等多種功能。其工作電壓除200kV外，還可以切換至80kV、120kV等檔位。BZ-F200的鏡筒采用四級聚光鏡照明系統設計，可實現微米束和納米束、平行束和會聚束模式切換。

透射電子顯微鏡的研制得到了社會各界的廣泛關注與支持。近日，全國政協委員、中國物理學會常務理事、清華大學物理系教授段文暉院士及清華大學物理系陳曦教授一行蒞臨博眾儀器考察國產透射電子顯微鏡產業化進展情況，對博眾儀器所取得的重大成果給予了高度評價，對民營企業積極參與國家戰略給予了充分肯定，并對加快市場化推廣提出了殷切期望。

段文暉院士考察博眾儀器

蘇州博眾儀器科技有限公司表示，未來將繼續加大研發投入，不斷提升產品性能和技術水平，同時拓展基于電子束核心技術的多種類產品，為我國在高端儀器領域的發展注入新活力！