之前有消息稱,臺積電打算在2021年底前購置55臺EUV光刻機,以加快EUV相關工藝制程的發展,而當前全球一半投入使用的EUV光刻機都在臺積電手中。
據了解,一臺EUV光刻機售價近8億元,55臺EUV光刻機價值約440億元。
對于這樣的消息,臺積電方面回應稱,不方便透露消息具體的真實性,這涉及到商業機密。
按照之前曝光的消息看,臺積電的3nm工藝正在按計劃推進,計劃在2021年風險試產,2022年大規模投產,而據說3nm工藝準備了4波產能,其中首波產能中的大部分,將留給他們多年的大客戶蘋果。
此外,剩下的三波產能將被高通、Intel、賽靈思、NV、AMD等廠商預訂,而3nm工藝在大規模投產之后,臺積電設定的產能是每月5.5萬片晶圓,隨后逐步提升,在2023年提高到每月10萬片晶圓。
