1月6日,晶洲裝備國產首臺精密掩模版(FineMetalMask,簡稱FMM)INVAR卷材工藝設備通過廠內驗收,發運客戶端即將投入生產。

FMM是OLED蒸鍍工藝中的核心零部件,其主要作用是生產過程中沉積RGB有機物質形成像素。但是目前FMM供應一直被起步更早的日韓等海外制造商壟斷,且INVAR原材料受限于原產地貿易協議,中國大陸的FMM制造企業很難獲得25μm以下厚度基材。晶洲裝備自主研發生產了國內首臺INVAR卷材工藝設備集成脫脂、酸洗、減薄、清洗等多種單元,具備將基材厚度管理至20μm以內水平。

來源:晶洲裝備
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