據(jù)科技日?qǐng)?bào)報(bào)道，中電科電子裝備集團(tuán)有限公司（以下簡(jiǎn)稱“電科裝備”）實(shí)現(xiàn)離子注入裝備28納米工藝制程全覆蓋。
報(bào)道指出，離子注入機(jī)是芯片制造中的關(guān)鍵裝備，28納米則是當(dāng)前芯片應(yīng)用領(lǐng)域中覆蓋面最廣的成熟制程。電科裝備連續(xù)突破光路、控制、軟件等關(guān)鍵模塊的核心技術(shù)，形成中束流、大束流、高能及第三代半導(dǎo)體等全系列離子注入機(jī)產(chǎn)品格局，實(shí)現(xiàn)28納米工藝制程全覆蓋。
電科裝備系中國(guó)電子科技集團(tuán)旗下企業(yè)，已具備從產(chǎn)品設(shè)計(jì)到量產(chǎn)應(yīng)用的完整研制體系，產(chǎn)品涵蓋邏輯、存儲(chǔ)、功率器件、傳感器等工藝器件，百臺(tái)設(shè)備廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)各大集成電路先進(jìn)產(chǎn)線，累計(jì)流片量超2000萬(wàn)片。
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亞化咨詢重磅推出《中國(guó)半導(dǎo)體材料、晶圓廠、封測(cè)項(xiàng)目及設(shè)備中標(biāo)、進(jìn)口數(shù)據(jù)全家桶》。本數(shù)據(jù)庫(kù)月度更新，以EXCEL表格的形式每月發(fā)送到客戶指定郵箱。
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中國(guó)大陸8英寸晶圓廠項(xiàng)目表（月度更新）
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中國(guó)大陸半導(dǎo)體封測(cè)項(xiàng)目表（月度更新）
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中國(guó)大陸半導(dǎo)體濕電子化學(xué)品項(xiàng)目表（月度更新）
中國(guó)大陸晶圓廠當(dāng)月設(shè)備中標(biāo)數(shù)據(jù)表（月度更新）
中國(guó)大陸上月半導(dǎo)體前道設(shè)備進(jìn)口數(shù)據(jù)表（月度更新）
中國(guó)大陸半導(dǎo)體大硅片項(xiàng)目地圖（月度更新）
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