據麥姆斯咨詢報道，2025年4月18日至4月20日，上海科技大學研究員吳濤將參加《第69期“見微知著”培訓課程：微納諧振器及應用》并進行授課，具體信息如下：
授課主題：基于鈮酸鋰壓電薄膜的MEMS諧振器與濾波器
授課老師簡介：
吳濤，博士，上海科技大學研究員、常任副教授、博士生導師。他于2007年在浙江大學電子信息工程專業畢業，獲得學士學位，2011年獲得美國加州大學洛杉磯分校博士學位，博士畢業后曾供職于英特爾（Intel），負責先進CMOS金屬與氧化物原子層沉積工藝；之后以博士后研究員身份加入美國斯坦福大學、美國東北大學，負責微曲面傳感器、近零功耗壓電射頻器件和傳感系統的研發。他于2017年7月加入上海科技大學，建立了微系統與先進傳感器實驗室（SMALL），科研方向包括微納機電系統MEMS/NEMS，壓電射頻/超聲器件，集成電路工藝等。他是IEEE高級會員，在Microsyst. & Nanoengr.、Nat. Comm.、IEEE Elec. Devi. Lett.、JMEMS、Appl. Phys. Lett.、Phys. Rev. Lett.、ACS Nano等國際著名期刊和IEEE MEMS、TRANSDUCERS、IUS等會議上發表學術論文100余篇。
授課背景及內容：
隨著5G通信技術在全球快速商業化，市場對5G頻段的射頻濾波器需求急劇增長。日益擁擠的Sub-6 GHz通信頻帶，對射頻系統提出了更嚴苛的要求。低插損、高帶寬、高滾降系數和低溫漂的濾波器成為了通信行業的迫切需求。基于微納制造技術的壓電聲學諧振器作為實現高性能射頻濾波器的有效解決方案之一，具有高性能、低成本、器件尺寸小的優點，因此備受關注。Normal SAW和TC-SAW器件的頻率通常小于2.5 GHz，TF-SAW器件使用高聲速層/襯底部分彌補了這一缺點，但也僅能達到3.5 GHz。FBAR和SMR BAW器件則可以工作在約1 ~ 7 GHz。而XBAR器件則可以工作在約3 ~ 20 GHz的區間內，在高頻和高帶寬應用上都有很大的優勢。本課程根據常見壓電材料的材料性質，分析氮化鋁（AlN）和鈮酸鋰（LiNbO?）薄膜在聲學濾波技術中備受關注的原因；介紹不同聲學諧振器原理、結構和關鍵參數，以及構成濾波器的拓撲結構；解析有望應用于5G頻段的基于鈮酸鋰薄膜諧振器/濾波器的核心技術，著重講授橫向激發體聲波諧振器（XBAR）的原理、設計及其在5G Sub-6 GHz乃至毫米波頻段濾波器中的應用。
射頻濾波器的市場應用和頻段分配
（來源：《基于鈮酸鋰薄膜的5G諧振器和濾波器》）
不同聲波諧振器結構示意圖
（來源：《基于鈮酸鋰薄膜的5G諧振器和濾波器》）
基于XBAR結構的5G射頻器件的關鍵優勢
課程提綱：
1. 壓電諧振器/濾波器基本原理；
2. 壓電諧振器等效模型；
3. 壓電LiNbO?薄膜切向選型；
4. 基于LiNbO?薄膜的XBAR諧振器與濾波器；
5. 基于LiNbO?薄膜的MEMS諧振器與濾波器技術展望。
培訓詳情：
https://www.memstraining.com/training-69.html
