CINNOResearch產業資訊，曾一度被日本企業壟斷的顯示屏離子注入設備，如今已通過韓國本土技術研發成功。該設備能否進一步應用于顯示屏量產工藝，備受業界關注。
據業界9月15日消息，韓國政府推進的顯示屏離子注入設備研發國家項目已宣告完成。該項目于2021年啟動，原計劃在去年12月收尾，后延期至今年6月，歷經4年最終完成。
韓國產業通商資源部曾在2020年宣布，將通過韓國國內的中堅及中小設備企業主導研發、三星顯示與LG顯示作為需求企業參與并提供性能評估及商業化支持的方式，實現離子注入設備的韓國國產化。在此期間，該項目的具體細節一直處于保密狀態，如今看來已取得最終成果。
綜合采訪信息，該項目已成功完成。具體來看，以三星顯示為需求企業的項目由合作企業H&IRuju負責設備研發，以LG顯示為需求企業的項目則由合作企業Avaco承擔。值得一提的是，為應對下一代技術投入，Avaco研發的設備可兼容至8.6代玻璃基板。
從Avaco的離子注入系統專利所記載的韓國國家研發項目信息中，紅色方框標注的研究項目名稱“秘密項目”格外引人注目。該研究周期延長了6個月，持續至2025年6月30日?！促Y料來源：韓國專利廳〉
顯示屏離子注入設備的作用是，向低溫多晶硅（LTPS）施加中電流并注入離子（雜質），使其轉化為低電阻的導電材料。近年來，業界出現了向氧化物薄膜晶體管（TFT）注入離子以提高電子遷移率的趨勢，因此該設備的應用范圍預計將進一步擴大。它是OLEDTFT工序中，用于改善元件特性的核心設備之一。
此前，離子注入設備完全依賴日本企業供應。韓國顯示屏企業主力的6代生產線，均采用了日新離子（NissinIon）的設備。此次研發成果能否推動離子注入設備實現商用化并產生進口替代效應，備受矚目。若能打破外資壟斷格局，不僅可降低設備價格，還能穩定供應鏈。
然而，要將研發完成的設備實際應用于量產生產線，必須先進行性能與可靠性驗證。因此，有觀點認為，作為需求企業的面板廠商需積極探索設備的應用方案。這是因為在通常的設備選型過程中，量產設備的交付業績是重要考量因素，新企業想要實現設備供應存在較大難度。
一位顯示行業的相關人士表示：“政府投入預算，將完全依賴進口的設備實現韓國國產化，這具有重大意義。但如果無法實際投入使用，國產化便失去了價值，因此韓國國內企業需要積極探討設備的應用可能性。”
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