在第六屆中國MEMS制造大會暨微納制造與傳感器展覽會上，蘇州工業園區納米產業技術研究院有限公司（蘇州MEMS中試平臺）業務生產經理王輝分享《Foundry模式——與企業共同成長》，探討MEMS企業如何通過深度協同與聯合開發，將差異化設計快速轉化為市場競爭力，最終實現與Foundry的共生共榮。
蘇州MEMS中試平臺業務生產經理王輝
當前，整個Foundry（晶圓代工）的發展也非常明確，主要聚焦三大核心維度：1. 大尺寸晶圓：12英寸晶圓的生產已成為行業重要發展方向。 2. 小線寬工藝：目前臺積電的2納米成熟工藝已實現量產。3. 3D封裝技術：隨著線寬不斷縮小，芯片制造的成本壓力急劇增加，因此封裝領域的技術創新與優化備受行業關注。 那今天，將圍繞三類新材料展開介紹：壓電薄膜（PDT）、薄膜鈮酸鋰以及磁材料。
1. 磁材料：以汽車行業為例，磁傳感器在電機控制、電源管理等關鍵環節中不可或缺，一臺高端汽車所搭載的磁傳感器數量已超過80顆。 然而，在磁材料國產化進程中，目前仍存在明顯短板。AMR（各向異性磁電阻）、TMR（隧道磁電阻）、GMR（巨磁電阻）等核心磁傳感器的國產化率不足30%。值得關注的是，我們搭建國內唯一一個開放式的磁產品代工公共服務平臺，當前國內兩大磁產品頭部企業均采用IDM（垂直整合制造）模式。
2. 壓電薄膜：據了解，國內頂尖企業自去年起，已組建5支頂級科學家團隊，聚焦固態散熱器件、壓電揚聲器（Pimat Speaker）等相關產品的研發。不過目前，壓電薄膜的大規模應用仍受限于較高的單價。
3. 薄膜鈮酸鋰：隨著ChatGPT、人工智能（AI）等技術的快速發展，市場對數據傳輸速率、算力的要求持續攀升。而薄膜鈮酸鋰是目前實現1.6T以上超高速率傳輸的唯一解決方案，這一優勢由其獨特的物理特性所決定。需要說明的是，鈮酸鋰與鉭酸鋰的生產工藝具有相通性，一旦鈮酸鋰工藝成熟落地，鉭酸鋰的工藝打通將具備明確可行性。我們的平臺自2021年起便開始布局鈮酸鋰產業，截至目前，已成功實現12款相關產品的成熟流片，其應用場景非常廣泛。將為高帶寬數據傳輸、通信等領域提供關鍵支撐。
企業介紹
蘇州工業園區納米產業技術研究院有限公司成立于2011年，位于蘇州納米城，是國內首個商業化運作的6英寸MEMS器件研發、中試和批量化生產平臺。平臺開展包括硅基MEMS以及鈮酸鋰、PZT等新材料產品的工藝研發、中試、量產服務。平臺擁有超凈實驗室3000平方米，設備200余臺套，形成了年產60000晶圓的批量生產能力。經過多年在MEMS領域的耕耘，蘇州納米城MEMS中試平臺打造了一支完整的高水平微納加工技術團隊，具備完整的工藝庫及各種器件工藝匹配能力，產品類別包括硅麥克風、壓力傳感器、微鏡、噴墨頭、流量傳感器、氣體傳感器、溫度傳感器、熱電堆、濾波器、光通訊器件、生物芯片等，業務覆蓋西北、華北、華東、西南、華南等地，目前已服務120多家企業、400多顆產品，對中國MEMS的創新及發展產生了重大的支撐及促進作用。
《MEMS產業現狀-2025版》
《壓電MEMS技術及市場-2025版》
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