據麥姆斯咨詢報道，2026年8月28日至8月30日，北京大學正高級工程師高成臣將參加《第82期“見微知著”培訓課程：MEMS壓力傳感器技術及應用》并進行授課，具體信息如下：
授課主題：面向工業應用的高精度MEMS電容式壓力傳感器
授課老師簡介：
高成臣，北京大學集成電路學院正高級工程師，國家卓越工程師榮譽稱號獲得者，國務院政府特殊津貼專家，原微米/納米加工技術全國重點實驗室副主任，全國氣象專用計量器具計量技術委員會分委會委員。他主要從事MEMS傳感器技術研究工作，先后開展了單晶硅壓阻式壓力傳感器、SOI壓阻式高溫壓力傳感器、硅-藍寶石壓阻式高溫壓力傳感器、硅電容壓力傳感器、三明治電容式加速度計、熱式氣體流量計、熱式聲矢量傳感器及新型紅外傳感器等方向的研究工作，主要成果包括研制出工作溫度可達150℃的高精度單晶硅壓阻式高精度壓力傳感器、工作溫度可達500℃的SOI硅壓阻式超高溫壓力傳感器和三熱線檢測原理聲矢量傳感器等，先后主持、參與完成二十余項項目及課題，獲省部級科技進步一等獎1項（R1）。
授課背景及內容：
MEMS壓力傳感器是工業過程控制、設備狀態監測和安全生產保障中的重要組件，廣泛應用于石油化工、水利水電、機械制造、軌道交通及航空航天等領域。隨著“工業4.0”和工業物聯網（IIoT）的快速發展，工業現場對MEMS壓力傳感器提出了更高的要求，包括更高測量精度、更好的長期穩定性、更寬的溫度適應范圍、更低功耗以及更高可靠性。相比壓阻式壓力傳感器，電容式壓力傳感器在精度、溫度穩定性、功耗、長期可靠性等方面具有優勢，其工作原理是：利用壓力引起敏感膜片形變，從而改變上下電極之間的電容值，通過檢測電容變化實現壓力測量。通過敏感結構設計、微納制造工藝、先進封裝技術和智能信號處理算法的協同優化，MEMS電容式壓力傳感器的性能和可靠性將持續提升，有望在工業應用領域發揮更加重要的作用，并成為推動工業智能感知技術發展的核心之一。本課程深入講解高精度MEMS電容式壓力傳感器關鍵技術，涵蓋設計、加工和封裝。
MEMS電容式壓力傳感器的截面圖
基于SOI的MEMS電容式壓力傳感器版圖
基于SOI的MEMS電容式壓力傳感器工藝流程
課程提綱：
1. MEMS電容式壓力傳感器簡介；
2. MEMS電容式壓力傳感器設計；
3. MEMS電容式壓力傳感器加工；
4. MEMS電容式壓力傳感器封裝；
5. MEMS電容式壓力傳感器總結與展望。
培訓詳情：
https://www.memstraining.com/training-82.html
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