又一突破|大尺寸金剛石基于微射流激光技術(shù)切片的實(shí)現(xiàn)

DT半導(dǎo)體材料 2023-04-27 19:24


金剛石作為超寬禁帶半導(dǎo)體材料的一員(禁帶寬度5.5eV),具有一系列優(yōu)異的物理和化學(xué)性質(zhì),如高載流子遷移率、高熱導(dǎo)率、高擊穿電場(chǎng)、高載流子飽和速率和低介電常數(shù)等,這使其在高新科技尖端領(lǐng)域中,特別是電子技術(shù)中得到廣泛關(guān)注,被公認(rèn)為是最具前景的新型半導(dǎo)體材料。基于這些優(yōu)勢(shì),使用超寬禁帶半導(dǎo)體材料可以使新一代電子器件變得更小、更快、更可靠且更高效。這有助于減少電子元件的質(zhì)量、體積以及生命周期成本,同時(shí)允許設(shè)備在更高的溫度、電壓和頻率下工作,也使得電子器件使用更少的能量卻可以實(shí)現(xiàn)更高的性能。

金剛石在高頻高壓條件下具有廣泛且不可替代的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)和前景,被認(rèn)為是制備下一代高功率、高頻、高溫及低功率損耗電子器件最有希望的材料,被業(yè)界譽(yù)為“終極半導(dǎo)體”。


?金剛石作為半導(dǎo)體材料的應(yīng)用存在問(wèn)題?


盡管金剛石在半導(dǎo)體材料應(yīng)用方面具有諸多優(yōu)勢(shì),但仍存在以下問(wèn)題亟需解決:

(一)缺乏大尺寸金剛石襯底,阻礙了大尺寸金剛石的生長(zhǎng),通過(guò)馬賽克法將小尺寸襯底拼接,可以制備出大尺寸單晶,但在拼接處存在缺陷,影響金剛石膜的質(zhì)量,并且采用拼接方法制備的大面積襯底并不能增加后續(xù)的器件工藝中單位面積的器件數(shù)量,阻礙了金剛石的應(yīng)用。

(二)需要更加深入的研究金剛石p型和n型摻雜。金剛石n型摻雜一直是困擾科學(xué)家們的難題,除了采用改變磷源和降低載流子濃度的方法外,還可以嘗試尋找比磷更合適的摻雜元素,以實(shí)現(xiàn)金剛石更好的n型導(dǎo)電性能。

(三)實(shí)驗(yàn)得到的金剛石器件的性能還未達(dá)到預(yù)期效果。這主要存在兩個(gè)問(wèn)題,其一是難以控制外延膜的摻雜,為了控制金剛石功率器件的電場(chǎng)和串聯(lián)電阻,需要精確控制選擇性區(qū)域的摻雜濃度;其二是器件制備工藝存在一定的困難。材料制備、器件設(shè)計(jì)及制造和應(yīng)用研究方面的緊密結(jié)合,可以將培育金剛石器件的研究推上一個(gè)新的臺(tái)階。

? 傳統(tǒng)切割技術(shù)??

目前,切割金剛石的主要方式有水刀切割、電火花切割和激光切割。采用傳統(tǒng)的機(jī)械和化學(xué)法很難對(duì)其進(jìn)行加工,目前較為成熟的的是激光切割。激光切割的過(guò)程為脈沖激光與金剛石表面的二級(jí)作用,光子以雙光子或多光子的方式與金剛石晶格作用,首先高功率激光束使材料聚焦處表面發(fā)生石墨化,之后石墨化的表面在下一束脈沖激光的作用下石墨化表面升華。從原理上可以看出,激光切割具有較其他方式獨(dú)特的優(yōu)勢(shì),即無(wú)接觸式加工、效率高、切縫小、熱影響區(qū)域小等優(yōu)點(diǎn)。雖然激光切割金剛石有很多優(yōu)點(diǎn),但由于金剛石對(duì)紫外光比紅外光的吸收比更高,這樣,波長(zhǎng)更短的準(zhǔn)分子激光用于金剛石切割更為可取。但目前還不能得到具有適合脈沖能量,光束質(zhì)量和脈沖重復(fù)率的準(zhǔn)分子激光器,而且準(zhǔn)分子激光器價(jià)格昂貴,不易商品化。同時(shí),但對(duì)于金剛石切割來(lái)說(shuō),金剛石吸收光的關(guān)鍵是在高溫時(shí)金剛石表面遭受到的石墨化效應(yīng),石墨化過(guò)程是金剛石有效燒蝕的過(guò)程,形成500μm所需材料,其激光損耗厚度約為1200μm,對(duì)材料本身的損耗相對(duì)較大,結(jié)合晶體材料本身超長(zhǎng)的生長(zhǎng)周期,以及成錠尺寸有限,其加工讓使用者頗為頭疼。

? 微射流激光切割??
晟光硅研推出微射流激光技術(shù)加工金剛石材料,基于技術(shù)的獨(dú)特性,在加工效率、加工損耗、成品面型、碳化影響等方面,得到了客戶的一致好評(píng),經(jīng)過(guò)打樣及承接缺口加工的技術(shù)積累迭代,已經(jīng)形成完備的可銷(xiāo)售標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)備,為金剛石客戶降本助力。


加工案例如下:

樣品描述及加工要求

圖1:金剛石來(lái)料尺寸形貌

如圖1所示,為客戶提供的原始金剛石樣品,樣品尺寸20 mm x 20 mm x 2.317 mm(長(zhǎng)*寬*厚),金剛石缺一角,四周邊緣存在多晶且有多條向內(nèi)部延伸的微裂紋,微裂紋長(zhǎng)度基本集中在2-5 mm。沿金剛石邊緣縱向切片,切割深度20 mm,切割單片厚度0.5-0.6 mm,盡量保證一次性切割成片,切割面滿足粗糙度檢測(cè)需求。

圖2:金剛石切片效果


將樣品固定在用于加工金剛石的特種夾具上,將其安裝微射流激光設(shè)備工作臺(tái)面進(jìn)行切割完成切片,共計(jì)切片數(shù)量4片,單片切割時(shí)長(zhǎng)3h左右,上圖2為切片的切割效果。

一次性實(shí)現(xiàn)20mm*20mm大尺寸的金剛石切割,切片過(guò)程中未產(chǎn)生新的裂紋,也未使原始裂紋發(fā)生延展。材料原始厚度2.317mm,共計(jì)成片四片,成片結(jié)果厚度單片為:0.56mm,整個(gè)切片過(guò)程中,共計(jì)損耗材料77μm。

粗糙度檢測(cè)

對(duì)加工完成的片子的切割面進(jìn)行了粗糙度檢測(cè),如圖3所示,粗糙度Ra=0.336 μm。
圖3:切割面粗糙度檢測(cè)情況

總結(jié):
1. 目前工藝可實(shí)現(xiàn)一次性切割20 mm*20 mm的大尺寸樣品;
2. 單片樣品的切割效率為3h,小尺寸樣品的切割效率更高;
3. 樣品切割面粗糙度檢測(cè)Ra=0.336 μm;
4. 目前打樣使用設(shè)備功率最高不超25W,未來(lái)若加工大尺寸樣品,可選大功率設(shè)備,來(lái)滿足更高加工效率的提升。

除上述案例外,我司還打樣和代工了其他金剛石材料,舉例如下:
?(鍍金膜金剛石)
?(傳統(tǒng)金剛石)
?(MPCVD單晶金剛石)

公司簡(jiǎn)介

晟光硅研在專(zhuān)注滾圓/切片/劃片設(shè)備及工藝定型之余,同時(shí)拓寬服務(wù)特種材料探索及代工,從碳化硅成熟應(yīng)用為起點(diǎn),打樣測(cè)試及代工包括但不局限于:氮化鎵晶體、超寬禁帶半導(dǎo)體材料(金剛石、氧化鎵)、航空航天特種材料、陶瓷復(fù)合材料、閃爍晶體等,解決硬、脆、貴材料加工瓶頸。

未來(lái),該項(xiàng)技術(shù)設(shè)備也將為航空發(fā)動(dòng)機(jī)熱端部件制造、航空器CFRP結(jié)構(gòu)件加工、CMC剎車(chē)片材料加工、大規(guī)模集成電路晶片切割等行業(yè)提供領(lǐng)先的解決方案。同時(shí),由于其在三代半切割領(lǐng)域具有獨(dú)創(chuàng)性、開(kāi)拓性與先導(dǎo)性,具有非常廣泛的推廣應(yīng)用價(jià)值也勢(shì)必引起全球范圍內(nèi)該領(lǐng)域的技術(shù)迭代。



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2023(第三屆)碳基半導(dǎo)體材料與器件產(chǎn)業(yè)發(fā)展論壇

2023年5月16-19日浙江·寧波


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DT半導(dǎo)體材料 聚焦于半導(dǎo)體材料行業(yè)的最新動(dòng)態(tài)
評(píng)論
  • 在前六期中,我們已經(jīng)分別討論了 CRA 的適用范圍、整體影響、漏洞通報(bào)義務(wù)、風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估與技術(shù)文檔證據(jù)鏈、第三方組件與 SBOM 供應(yīng)鏈治理,以及產(chǎn)品上市后的支持期、安全更新、用戶說(shuō)明和終止支持管理。到這里,企業(yè)已經(jīng)能夠回答幾個(gè)核心問(wèn)題:產(chǎn)品是否落入 CRA 適用范圍,產(chǎn)品由哪些組件構(gòu)成,企業(yè)如何證明自己在設(shè)計(jì)、開(kāi)發(fā)和上市前采取了必要的安全措施,以及產(chǎn)品上市后如何持續(xù)維護(hù)和安全下線。但對(duì)于真正準(zhǔn)備落地 CRA 合規(guī)的企業(yè)來(lái)說(shuō),還有一個(gè)更現(xiàn)實(shí)的問(wèn)題:CRA 的法規(guī)條文相對(duì)原則化,企業(yè)應(yīng)當(dāng)如何把“網(wǎng)絡(luò)安
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  •                                                                        
    廣州鐵金剛 2026-08-06 17:44 123161瀏覽
  • 做藍(lán)牙音箱的工程師大概都碰過(guò)這個(gè)局面。產(chǎn)品要連手機(jī)放歌,要本地播開(kāi)機(jī)提示音和按鍵音,還要接 App 做配網(wǎng)和狀態(tài)上報(bào)。三件事拆開(kāi),早先的常規(guī)做法是音頻藍(lán)牙一顆料、數(shù)傳藍(lán)牙一顆料、本地播放再掛一顆小 MCU 加一片 Flash。板子越畫(huà)越大,BOM 越算越貴,待機(jī)電流和固件工作量也跟著漲。WT2605C 出來(lái)以后,這套需求可以集成到一顆芯片,就是 WT2605C-32N,該芯片采用QFN32 封裝,4×4 毫米,把音頻藍(lán)牙、BLE 數(shù)傳和 MP3 本地播放三樣全包了。對(duì)藍(lán)牙音箱來(lái)說(shuō),最實(shí)在的好處就
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  • 導(dǎo)語(yǔ)在現(xiàn)代高速數(shù)字電路設(shè)計(jì)中,信號(hào)的完整性已不僅是理想波形推演,而是一場(chǎng)與物理非理想特性正面博弈的工程實(shí)踐。濾波器芯片作為凈化傳輸鏈路的關(guān)鍵屏障,其核心挑戰(zhàn)在于:能否有效識(shí)別并濾除那些隱匿在電平跳變過(guò)程中的亞納秒級(jí)瞬態(tài)脈沖干擾,這類(lèi)干擾持續(xù)極短,卻足以在高速鏈路中引發(fā)誤觸發(fā)。然而,傳統(tǒng)函數(shù)發(fā)生器受限于采樣率與邊沿速率,根本無(wú)法忠實(shí)復(fù)現(xiàn)如此狹窄且陡峭的異常波形。針對(duì)此困境,德思特TS-AWG7000系列任意波形發(fā)生器以17 GS/s采樣率與50 ps原生邊沿速度,為瞬態(tài)脈沖提供精細(xì)刻畫(huà),配合SPG
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  •     長(zhǎng)期專(zhuān)注WiFi領(lǐng)域,也算是行業(yè)老兵了!同行閑聊中,時(shí)不時(shí)能提起我和我們!從疫情起,國(guó)產(chǎn)替代風(fēng)生水起,起起落落,大浪淘沙,生存下來(lái)的都是強(qiáng)者!    WiFi模塊應(yīng)用廣泛,對(duì)于高端市場(chǎng)和特定市場(chǎng),要求WIFI模塊需要過(guò)CE/FCC之類(lèi)的認(rèn)證,也就是說(shuō)沒(méi)有認(rèn)證的模塊,不具備導(dǎo)入產(chǎn)品設(shè)計(jì).接下來(lái)就和大家聊聊認(rèn)證模塊選型參考!    WIFi模塊硬件方面主要考慮以下九點(diǎn)特性:    1
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  • 在EMC測(cè)試過(guò)程中,傳導(dǎo)發(fā)射(Conducted Emission,CE)超標(biāo)是工程師最常遇到的問(wèn)題之一。更令人頭疼的是,同樣的超標(biāo)曲線背后,可能對(duì)應(yīng)著完全不同的干擾機(jī)理:有的是差模噪聲沿電源回路傳播,有的是共模電流通過(guò)寄生路徑耦合,還有些問(wèn)題甚至并非來(lái)自電源本身,而是負(fù)載、電纜布局或接地結(jié)構(gòu)引起的連鎖反應(yīng)。 · 150kHz~1MHz 超標(biāo):多為差模噪聲為主,干擾沿火線-零線回路傳輸。 · 1MHz~30MHz 超標(biāo):通常共模噪聲占主導(dǎo),干擾通過(guò)火線/零線對(duì)地回路傳播。 如果條件允許,用電流探
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  • ?摘要:低價(jià)大流量卡正全面退市,政策收緊已成定局。面對(duì)傳統(tǒng)號(hào)卡的不確定性,隨身WiFi憑借穩(wěn)定連接、多設(shè)備共享、獨(dú)立設(shè)備和靈活套餐等優(yōu)勢(shì),成為務(wù)實(shí)可靠的備選方案。1、流量卡黃金時(shí)代要結(jié)束了通信行業(yè)正迎來(lái)一場(chǎng)前所未有的“地震式”調(diào)整——曾讓無(wú)數(shù)用戶追捧的低價(jià)大流量卡,正在全速退出各大平臺(tái)。這早已不是一次普通的競(jìng)合,而是一場(chǎng)趨勢(shì)性的行業(yè)洗牌。回望過(guò)去,19元200G的神卡,那時(shí)真是“睡著都能笑醒”,便宜到不敢相信,爽到忍不住炫耀。那些日子,好像隨便刷、隨便看,流量自由觸手可及。可如今,回頭再看,那種
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  • 摘要防爆自控系統(tǒng)同時(shí)布設(shè)本安信號(hào)、工業(yè)總線、動(dòng)力供電三類(lèi)線路,僅依靠標(biāo)識(shí)標(biāo)牌管控插接極易出現(xiàn)人為錯(cuò)插問(wèn)題,高壓動(dòng)力回路竄入本安弱電回路會(huì)突破安全柵限能標(biāo)準(zhǔn),產(chǎn)生點(diǎn)火風(fēng)險(xiǎn)。依托 A、D、K 標(biāo)準(zhǔn)化機(jī)械防呆編碼體系,搭配護(hù)套顏色區(qū)分管理,適配 3 針 3 孔免焊接冷壓增安型防爆航插、5PIN 總線防爆航空插頭、8 芯焊接防爆法蘭插座的選型使用,從物理結(jié)構(gòu)層面杜絕防爆接近開(kāi)關(guān)連接器、防爆傳感器航插接頭混用插接問(wèn)題,補(bǔ)齊防爆系統(tǒng)被動(dòng)安全防護(hù)體系。關(guān)鍵詞圓形防爆連接器,防呆編碼防爆航插,防爆航空插頭,防爆
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