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近年來,隨著世界范圍內(nèi)對電動交通工具大規(guī)模普及以及晶體技術(shù)的逐步成熟,新一代的半導(dǎo)體材料,?SiC、?GaN、Ga2O3等晶圓需求量快速增長,從去年的“未來應(yīng)用”迅速成為當(dāng)下“迫切需要”的半導(dǎo)體材料。
然而在市場化應(yīng)用的過程中卻遇到諸多阻礙。目前行業(yè)還沒有針對第三代半導(dǎo)體出具高效、快速、低成本的精密拋光工藝方案,大部分還是沿用以往單晶硅的工藝,并進(jìn)行一些改良,但由于SiC硬度高,以及其特殊的晶像特征,現(xiàn)有磨削拋光材料去除率低,易出現(xiàn)劃痕及亞表面和邊緣破損等和環(huán)境污染等問題。
02 課程簡介
本次DT新材料特別邀請到了國外Qualdiamond公司的CTO——Tong Liu先生分享《納米材料及納米金剛石均相拋光液在SiC 晶圓規(guī)模化生產(chǎn)的工藝開發(fā)及應(yīng)用》。
在這里,您將獲悉國內(nèi)外在SiC拋光工藝的嘗試及普遍遇到的問題,各類亞微米級金剛石懸浮液在SiC的切割,減薄,磨削上的應(yīng)用及問題,以及Qualdiamond研發(fā),生產(chǎn)的納米級金剛石穩(wěn)定分散懸浮液在碳化硅wafer規(guī)模化生產(chǎn)上的工藝開發(fā),以及相關(guān)工藝要求。
如果您是半導(dǎo)體領(lǐng)域的材料研發(fā)工程師、SiC/GaN晶圓生產(chǎn)及加工企業(yè)人員等,那么這節(jié)課程不容錯過!
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03 專家簡介
Tong Liu——Qualdiamond公司/CTO
2003-2006 ?
德州A&M University?Biochemistry & Biophysics ?博士后。
2007-2019 ?
UCSD,?La Jolla Institute of Immunology ?and?The Scripps Research Institute,研究員,高級科學(xué)家,新型納米免疫抗體庫,納米包裹體及相關(guān)納米材料開發(fā)以及應(yīng)用研究。
2019-2020? ?
Mitogen laboratories: CTO 納米材料及表面修飾產(chǎn)品開發(fā)。
2020年至今 ?
Qualdiamond的CTO?納米技術(shù)及納米拋光材料的研發(fā)生產(chǎn)及應(yīng)用。

Qual Diamond通過了ISO9001和ISO14001認(rèn)證并符合其所有要求。從原材料采購到成品生產(chǎn)的每一個環(huán)節(jié)都由自己控制。此外,Qual Diamond采用歐洲和美國的高精度儀器進(jìn)行粒度、元素分析和雜質(zhì)檢測,且具有環(huán)保和可回收的優(yōu)點(diǎn)。多年以來,Qual Diamond一直把客戶放在首位,力求成為先進(jìn)行業(yè)里一流的金剛石產(chǎn)品制造商和供應(yīng)商。

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