三星顯示引入ALD新工藝，LTPOOLED性能將飆升

三星顯示將為加強未來OLED技術能力做準備。據(jù)悉，為了適用比以往更精密的性能沉積工藝，主要合作公司AP系統(tǒng)的新ALD（原子層沉積）設備將很快運進。

據(jù)業(yè)界透露，三星Display計劃最早從今年第四季度開始引進用于工程評價的最新ALD設備。

ALD是以原子水平（0.1納米）的厚度多層沉積薄膜的技術。與現(xiàn)有的沉積方式CVD（化學氣相沉積）相比，生產(chǎn)速度有所下降，但適用于微細化工藝要容易得多。得益于此，在尖端半導體領域已經(jīng)得到了廣泛的應用。

三星Display為了將ALD設備用于OLED面板的制造，決定在天安的A1線上引進設備。A1線是生產(chǎn)4.5代（玻璃原板尺寸）OLED的地方。屬于較舊的生產(chǎn)線，開工率不高，被評價為適合測試新工藝。

ALD設備供應由三星顯示的主要合作公司AP系統(tǒng)負責。據(jù)悉，目前正在忙于準備在A1線上安裝相關設備。業(yè)界預測最早將在明年上半年內(nèi)完成安裝。

三星顯示器想要引入AP系統(tǒng)的ALD設備的原因是為了提高LTPO OLED面板的性能。

顯示面板需要一個具有開關角色的半導體設備，以調(diào)節(jié)像素的亮度，稱為TFT。根據(jù)材料和物理特性，將TFT分為基于LTPS和LTPO。

現(xiàn)有的顯示器行業(yè)一直利用LTPS TFT，但一直以智能手機等移動設備為中心推進LTPO的轉換。三星Display的主要客戶蘋果也在iPhone及iPad上增加LTPO OLED的比重。

因為LTPO的泄漏電流量比LTPS少。此外，不需要LTPS中使用的激光設備，因此它可以降低生產(chǎn)成本，并且有利于面板的擴大。

不過，LTPO與LTPS相比電子移動度較低，在實現(xiàn)高刷新率（屏幕切換速度）和分辨率方面存在困難。此時，利用ALD設備可以實現(xiàn)比現(xiàn)有CVD更精密的沉積，從而提高LTPO TFT的電氣特性和可靠性。

如果通過ALD成功完成Oxide TFT工程評估，三星Display有望將其正式應用于蘋果等主要客戶公司的OLED面板。AP系統(tǒng)也通過韓國國策課題正在開發(fā)8.6代ALD設備。8.6代OLED是三星Display為蘋果提供高端IT用OLED面板而在業(yè)界首次投資的新一代顯示器制造工藝。

來源：Wit OLED編譯