據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，2024年10月18日至20日，南京南智先進(jìn)光電集成技術(shù)研究院有限公司工藝總監(jiān)包曉清將參加《第66期“見微知著”培訓(xùn)課程：MEMS制造工藝》并進(jìn)行授課，具體信息如下：
授課主題：“薄膜壓電材料+X”異質(zhì)集成技術(shù)
授課老師簡介：
包曉清，博士，南京南智先進(jìn)光電集成技術(shù)研究院（江蘇省光電技術(shù)創(chuàng)新中心）工藝總監(jiān)，南京信息工程大學(xué)副研究員，四川省海外高層次留學(xué)人才。他長期專注于半導(dǎo)體工藝、光電化學(xué)以及MEMS應(yīng)用研究，曾任職于法國國家科研中心、歐盟國際伊比利亞納米技術(shù)實(shí)驗(yàn)室以及中科院光電所微細(xì)加工光學(xué)技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。他作為課題負(fù)責(zé)人和項(xiàng)目骨干參與了多項(xiàng)國家級(jí)與省部級(jí)項(xiàng)目，具有較為豐富的產(chǎn)業(yè)技術(shù)研發(fā)和工藝管理經(jīng)驗(yàn)。目前，他發(fā)表論文累計(jì)50余篇，論文被累計(jì)引用1800余次（Google Scholar），兩篇論文分別入選ESI高被引論文以及JMM亮點(diǎn)論文，擁有國內(nèi)外專利多項(xiàng)（含國際發(fā)明專利一項(xiàng)）。
授課背景及內(nèi)容：
南智光電是由中國科學(xué)院院士、南京大學(xué)教授祝世寧團(tuán)隊(duì)牽頭，南京大學(xué)與南京市“雙一流”共建的重點(diǎn)研發(fā)機(jī)構(gòu)、江蘇省光電技術(shù)創(chuàng)新中心建設(shè)單位，擁有5000平米潔凈產(chǎn)線及先進(jìn)的微納加工及檢測設(shè)備，建成并運(yùn)營“薄膜壓電材料（以鈮酸鋰為主）+X”（X代表硅、化合物半導(dǎo)體、低維材料等）異質(zhì)集成光電共性技術(shù)平臺(tái)，為企業(yè)和科研院所提供光電芯片及MEMS器件研發(fā)、驗(yàn)證和代工服務(wù)。目前，南智光電取得了多項(xiàng)國際領(lǐng)先的科研成果，例如成功生長出8英寸光學(xué)級(jí)鈮酸鋰晶棒，打破了技術(shù)壟斷；研制了高速調(diào)制光子芯片，制備了消色差超構(gòu)透鏡、納米級(jí)激光器等。本課程綜述“薄膜壓電材料+X”異質(zhì)集成技術(shù)，講解薄膜壓電微納工藝及典型的異質(zhì)集成器件，最后進(jìn)行技術(shù)總結(jié)與展望。
南智光電提供薄膜鈮酸鋰相關(guān)芯片定制化加工服務(wù)
課程提綱：
1. “薄膜壓電材料+X”異質(zhì)集成技術(shù)概述；
2. 晶圓級(jí)薄膜鈮酸鋰微納工藝及異質(zhì)集成器件；
3. 晶圓級(jí)薄膜氮化鋁微納工藝及異質(zhì)集成器件；
4. “薄膜壓電材料+X”異質(zhì)集成技術(shù)總結(jié)與展望。
培訓(xùn)詳情：
https://www.memstraining.com/training-66.html
