這篇是上一篇《LAM和電子束光刻》的姊妹篇：關于創新、勇氣、運氣和經營管理矛盾交織的故事。
一、
《光刻巨人》里有一個遺憾，就是對創始人Arthur Del Prado先生被迫退出ASML沒有心理描寫。
如果讀者有機會看一本關于他50年創業征程的厚達900多頁的書《Fortunes of High Tech》，將會感嘆Del Prado先生的一路坎坷。
今天ASM International(ASMI) 市值106億歐元，
ASM Pacific(ASM PT)市值465億港幣；
從ASM出走的ASML市值2226億美金，
BESI(含前ASM Fico)市值45億歐元。
這些神跡一樣的數字，背后又有怎樣的故事呢？
二、
荷蘭ASM(先進半導體材料)公司的早期生意也是從代理開始，“貿工技”并沒有什么可指摘的。
1970年ASM的CVD創新帶來黃金的1980年代上半期，這也是ASML誕生的物質基礎。在80年代中期，ASM是全球罕見的同時擁有光刻、沉積、離子注入和各種封裝設備的全系列半導體服務商。
而隨后資金的匱乏和短視的投資者給了Del Prado先生無盡的壓力和煩惱。
Del Prado先生骨子里的創新原動力，和股東要求短期的價值回報產生了激烈的沖突。
半導體行業的風雨動蕩，使得ASM從80年代后期到00年代一路顛簸。除ASML外，他還賣掉了離子注入(ASM Ion Implant)和芯片級封裝(ASM Fico)子公司。
接下來，我們重點看一下2007-2008金融危機時的ASM公司。
三、
ASM Pacific是ASM的亞太分支，包含中國和東南亞地區，而日本和韓國由于半導體強大所以有單獨的分支來負責。
考慮到亞洲的特殊文化，Del Prado先生從一開始就讓本土人主導管理，而結果是成功的。
那時候中國半導體還相對落后，所以ASM Pacific的主要目標是后端封裝和貼片設備。這帶來一個扎實的落腳點，并一路成功走到今天。
而總部的ASM International，卻由于產品競爭力落后于AMAT等公司，陷入生存的困境。
ASM的投資者要求剝離賺錢的ASM Pacific，他們其實希望虧損的總部早點關掉。但Del Prado希望Pacific補貼總部的半導體前端設備研發和運營。
而且Del Prado手中的一件大殺器正等待開花結果。
四、
由于各種PE股東的壓力，2008年老Prado選擇退休，但他力主傳位給兒子小Prado。這在東亞天經地義的做法，卻遭到投資機構的強烈反對，認為此舉違反現代公司治理原則。
由于半導體行業需要不斷燒錢引入外部投資，Prado家族當時只擁有ASM約35%的股份了。
股東Fursa(原紐約梅隆旗下的對沖基金)因為也投資了AMAT，兩家一起配合質疑Prado父子的管理能力，并要求分拆公司出售。
當年被迫放棄ASML的陰影使得Prado父子奮起反抗，成立基金會暫時保住了公司控制權。
然而，事情沒有結束。
AMAT隨后出價僅4-5億美元試圖購買ASM最核心的沉積業務。這時是2008年，大家還記得那時半導體業崩盤到什么情況吧。
幸運的是，正當ASM考慮斷臂求生時，似乎AMAT覺得在金融危機中花錢有所不妥撤回了報價。
但是，救命錢從哪里來呢？
五、
這要說到前文提到的大殺器了。
這就是ASM已經研發了10年的原子層沉積技術(ALD)。
45nm以下的先進制程中，傳統的氧化薄膜走到漏電的極限。而應用ALD的High-K金屬柵(HKMG)漏電少了一個數量級。
ALD是ASM手里的王炸，但現在牌拿在手里還炸不了，因為英特爾的主流量產還在65nm。
由于High-K/ALD是延續上個10年摩爾定律的重要技術，在2009年英特爾給了ASM救命錢。但是這個投資是保密的，所以幾乎沒有機構跟投，仍缺錢的ASM晶圓前端裁員1/4。
Fursa等外部投資者還在董事會在干擾公司運營，他們把控制權官司打到2012年。最高法院最終支持了Prado父子，小Prado也證明了自己是個合格的管理者。
直到2013年，靠ASM Pacific后端業務輸血近10年后，ASM的前端業務才恢復了盈利。
因為High-K終于成為主流。ASM International在巨頭夾攻中開辟了新的戰場并一路展翅高飛。
五、
老Del Prado是否功成名就退隱江湖了呢？
并沒有。
退休后他繼續把畢生所得投入了主攻電子束光刻的Mapper Lithography，掀起了對“逆子”ASML的最后一戰。
我們提到過，EUV在頭十幾年并不被看好，即使到了2015年包括英特爾臺積電在內的各路專家也沒覺得它能用。
Mapper公司是荷蘭代爾夫特大學的嫡子，看過《光刻巨人》的朋友應該知道這相當于荷蘭的清華。
Mapper的目標是用13260支電子束來提高“光”刻效率。Mapper不僅得到大量政府補貼，臺積電也有投資并積極地在Fab配合試驗。
浸入光刻先驅林本堅先生，是Mapper的擁護者。
檢測和制程控制之王KLA，也是Mapper的投資機構。
鑒于這么多大佬都認為電子束光刻可行，我們也不能想當然認為EUV是唯一的出路。只是電子束要燒多少錢才能做出HVM產品和形成產業生態，沒有人知道。
2016年老Del Prado同志與世長辭。Mapper失去了重要的行業影響大咖，他們的樣機只做到2000支電子束并且存在很多問題。
在EUV前景逐漸明朗的情況下，努力了近20年的Mapper公司難以繼續融資，并在2018年圣誕節后宣布破產。
僅一個月后，ASML迅速收購了Mapper的IP資產和收編了大多數研發人員，并關閉了這條產品線。雖說ASML也有電子束檢測設備，但此舉更像是對EUV曾經對手的斬草除根。
六、
今天，掛著“ASM”Logo的ALD設備生產的CPU，躺在我們大多數人的電腦或手機里。
ASM PT分拆獨立的聲音一直不絕于耳。作為一家扎根中國的香港上市公司，她為中國經濟建設也做出了突出的貢獻。
從二戰日本集中營生還的Arthur Del Prado先生，去世后的遺產仍然在影響著我們的生活。
這篇小文只是拋磚引玉，在半導體行業的傳奇英雄多如璀璨星辰。
