據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，2025年11月21日至11月23日，中國科學(xué)院微電子研究所研究員高航將參加《第75期“見微知著”培訓(xùn)課程：壓電材料制備及壓電MEMS器件》并進(jìn)行授課，具體信息如下：
授課主題：壓電MEMS超聲換能器及CMOS兼容的制造工藝
授課老師簡(jiǎn)介：
高航，博士，現(xiàn)任中國科學(xué)院微電子所正高級(jí)研究員、博士生導(dǎo)師，獲中科院引才項(xiàng)目支持，生物醫(yī)學(xué)工程學(xué)會(huì)醫(yī)學(xué)超聲工程分會(huì)委員。她主要從事MEMS聲傳感器的設(shè)計(jì)、制備和算法研究，開發(fā)面向各種應(yīng)用的超聲觸發(fā)/成像樣機(jī)和系統(tǒng)。她博士畢業(yè)于比利時(shí)荷蘭語魯汶大學(xué)，曾任歐洲微電子研究院（IMEC）研究員；主持國家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目、中科院人才項(xiàng)目以及比利時(shí)國家重大青年項(xiàng)目；作為負(fù)責(zé)人或核心成員，先后參與完成17項(xiàng)H2020地平線計(jì)劃等歐盟超重大科研項(xiàng)目和企業(yè)雙/多邊聯(lián)合項(xiàng)目；開發(fā)了用于超聲成像的MEMS可穿戴設(shè)備樣機(jī)和可產(chǎn)生隔空觸感的MEMS器件原型機(jī)，創(chuàng)業(yè)競(jìng)賽項(xiàng)目孵化了歐洲PM公司。她的研究成果曾獲得歐洲心臟協(xié)會(huì)青年科學(xué)家獎(jiǎng)提名、IEEE封裝協(xié)會(huì)論文獎(jiǎng)、比利時(shí)國家優(yōu)秀博士后基金和中國留學(xué)基金委頒發(fā)的優(yōu)秀海外自費(fèi)留學(xué)生獎(jiǎng)。
授課背景及內(nèi)容：
醫(yī)學(xué)超聲成像設(shè)備被廣泛應(yīng)用于人體健康診斷，超聲換能器是其中的核心部件，現(xiàn)階段普遍采用基于多晶或單晶壓電陶瓷及復(fù)合材料的超聲換能器，它們擁有高介電常數(shù)和高機(jī)電耦合系數(shù)，成為醫(yī)學(xué)成像的參考標(biāo)準(zhǔn)。然而，壓電陶瓷需經(jīng)高精度機(jī)械切割制成單個(gè)換能器元件，無法像半導(dǎo)體芯片一樣大規(guī)模制造且造價(jià)高，很難構(gòu)建大規(guī)模二維換能器陣列進(jìn)行三維成像，同樣也很難制造微型高頻植入式超聲換能器并進(jìn)行合適的聲阻抗匹配。這些因素限制了現(xiàn)階段超聲影像的使用范圍和受眾規(guī)模。基于壓電MEMS技術(shù)的新一代超聲換能器具有頻率控制靈活、無需添加聲阻抗匹配層、一致性好、集成度高（易于形成陣列并與IC集成）等優(yōu)點(diǎn)，單個(gè)探頭即可進(jìn)行全身通用成像及三維成像，與人工智能（AI）結(jié)合可進(jìn)行智能化診斷，非常適用于便攜式、手持式、穿戴式甚至是植入式應(yīng)用場(chǎng)景，具有跨越醫(yī)療級(jí)進(jìn)入消費(fèi)級(jí)市場(chǎng)的巨大發(fā)展?jié)摿Α１菊n程首先概述壓電MEMS超聲換能器基礎(chǔ)知識(shí)，然后深入講解壓電MEMS超聲換能器工作原理、技術(shù)現(xiàn)狀、器件設(shè)計(jì)、制造工藝，最后展望技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)與應(yīng)用前景。
醫(yī)學(xué)超聲成像診斷技術(shù)發(fā)展路線圖
imec開發(fā)的硅基半柔性醫(yī)學(xué)PMUT成像傳感器
課程提綱：
1. 壓電MEMS超聲換能器概述；
2. 壓電MEMS超聲換能器工作原理及技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀；
3. 壓電MEMS超聲換能器設(shè)計(jì)；
4. 壓電MEMS超聲換能器制造：CMOS兼容的制造工藝；
5. 新一代壓電MEMS超聲換能器技術(shù)展望。
培訓(xùn)詳情：
https://www.memstraining.com/training-75.html
延伸閱讀：
《壓電MEMS技術(shù)及市場(chǎng)-2025版》
《壓電MEMS傳感器和執(zhí)行器對(duì)比分析-2025版》
《微機(jī)械超聲換能器專利態(tài)勢(shì)分析-2023版》
