近期，深圳技術(shù)大學(xué)半導(dǎo)體微納加工中心與測試平臺正式落成。
深技大副校長鄧元龍代表學(xué)校，分別與清華大學(xué)深圳國際研究生院、深圳平湖實驗室、深圳國際量子研究院、南方科技大學(xué)深港微電子學(xué)院、深圳光峰科技股份有限公司、藍(lán)河科技(紹興)有限公司、騰璞顯示技術(shù)（深圳）有限公司、深圳市中科米格實驗室技術(shù)有限公司等科研院校及機構(gòu)代表完成集中簽約。簽約內(nèi)容涵蓋框架協(xié)議、聯(lián)合實驗室共建、員工互聘、校外實習(xí)實訓(xùn)基地共建及項目合作協(xié)議等多個關(guān)鍵領(lǐng)域。
圖片來源：SZTU光電芯
作為深圳市首個聚焦化合物半導(dǎo)體光電子領(lǐng)域的公共服務(wù)平臺，該平臺的投用填補了深圳市在“光載信息”和“智能傳感”半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域的空白，將為粵港澳大灣區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供關(guān)鍵支撐，筑牢深技大應(yīng)用研究型人才培養(yǎng)根基。
資料顯示，#深圳技術(shù)大學(xué) 半導(dǎo)體微納加工中心與測試平臺是國內(nèi)高校系統(tǒng)中獨立建成的規(guī)模最大、工藝最完整、運營職業(yè)化的#化合物半導(dǎo)體 光電芯片公共服務(wù)平臺之一。
中心建筑面積2600平方米，其中千級、百級及萬級潔凈區(qū)面積達(dá)2100平方米，配置120余臺套先進教學(xué)與研發(fā)工藝設(shè)備，構(gòu)建起覆蓋光刻、刻蝕、薄膜沉積、切磨拋及測試表征等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的全流程工藝體系，可提供“設(shè)計—加工—封裝—測試”一站式技術(shù)解決方案。
中心以“科研牽引、產(chǎn)業(yè)協(xié)同、人才培養(yǎng)”為使命，精準(zhǔn)對接深技大應(yīng)用研究型人才培養(yǎng)需求，致力于打造國際先進、國內(nèi)領(lǐng)先的產(chǎn)學(xué)研協(xié)同創(chuàng)新高地。依托深技大集成電路與光電芯片學(xué)院，組建了由50多名高層次科研人員構(gòu)成的核心團隊，已構(gòu)建起從基礎(chǔ)研究到工藝實現(xiàn)、從中試到產(chǎn)業(yè)化的完整創(chuàng)新鏈條。作為學(xué)院本碩博學(xué)生的核心實踐載體，將深度融合科研與教學(xué)，助力構(gòu)建實踐型人才培養(yǎng)體系，為產(chǎn)業(yè)輸送高素質(zhì)專業(yè)人才，實現(xiàn)教學(xué)、科研、產(chǎn)業(yè)三大目標(biāo)的精準(zhǔn)對接。
業(yè)界指出，當(dāng)前，深圳市在光載信息產(chǎn)業(yè)和智能傳感器系列產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域缺乏上游工藝芯片制造公共服務(wù)平臺，深圳技術(shù)大學(xué)半導(dǎo)體微納加工中心與測試平臺的落成彌補了這一空白，其產(chǎn)業(yè)服務(wù)線精準(zhǔn)對接深圳市“20+8”產(chǎn)業(yè)集群中的光載信息產(chǎn)業(yè)和智能傳感器系列產(chǎn)業(yè)，能滿足粵港澳大灣區(qū)在該領(lǐng)域的相關(guān)需求。未來，中心將進一步助力學(xué)校深化產(chǎn)教融合、推進新型研究型大學(xué)建設(shè)，為粵港澳大灣區(qū)建設(shè)產(chǎn)業(yè)科技策源地貢獻深技大力量。
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