據(jù)麥姆斯咨詢報道，近日，中國科學(xué)院微電子研究所（簡稱：微電子所）健康電子中心毛海央研究員團隊提出了一種基于8英寸晶圓級工藝的單片集成MEMS紅外光源（ANF-IRS）結(jié)構(gòu)，通過引入Al納米顆粒修飾的納米森林（ANF）作為高發(fā)射率輻射層，顯著提升了器件在目標波長的紅外發(fā)射能力。相關(guān)研究成果以“An Ultra-Low-Power and High-Temperature-Homogeneity Wafer-Scale Infrared Source”為題發(fā)表于國際著名期刊Energy & Environmental Materials上。微電子所博士研究生張起睿為該論文的第一作者，健康電子中心毛海央研究員、先導(dǎo)中心周娜高級工程師以及復(fù)旦大學(xué)李文武教授為該論文的通訊作者。
圖1 基于8英寸晶圓級工藝的紅外光源及其納米森林輻射層材料
這項研究展示了一種基于8英寸晶圓級工藝的單片集成的高性能MEMS紅外光源結(jié)構(gòu)。ANF輻射層在2.5–10 μm波段表現(xiàn)出高發(fā)射率，這歸因于化學(xué)鍵拉伸振動、鋁粒子的低聲波共振（LSPR）、腔模共振以及光捕獲效應(yīng)等。ANF材料具備卓越性能且易于大規(guī)模制造，為智慧農(nóng)業(yè)的發(fā)展提供了關(guān)鍵的技術(shù)支持和廣泛的應(yīng)用前景。這項研究得到了國家自然科學(xué)基金、國家重點研發(fā)計劃和中國科學(xué)院青促會項目等的支持。
https://doi.org/10.1002/eem2.70208
延伸閱讀：
《MEMS產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀-2025版》
《傳感器技術(shù)及市場-2026版》
《二氧化碳（CO?）氣體傳感器對比分析》
《氣體和顆粒物傳感器技術(shù)及市場-2024版》
《光纖激光器技術(shù)、應(yīng)用和市場趨勢-2025版》
《全球激光器技術(shù)、市場及應(yīng)用-2025版》
《硅光子及集成光路（PIC）技術(shù)及市場-2025版》
