中關村天合寬禁帶半導體技術創新聯盟在研標準項目情況

中關村天合寬禁帶半導體技術創新聯盟團體標準清單

序號

標準號

標準名稱

實施時間

1

T/IAWBS 001-2021

碳化硅單晶

2021.9.23

2

T/IAWBS 002-2017

碳化硅外延片表面缺陷測試方法

2017.12.31

3

T/IAWBS 003-2017

碳化硅外延層載流子濃度測定汞探針電容-電壓法

2017.12.31

4

T/IAWBS 004-2021

電動汽車用功率半導體模塊可靠性試驗通用要求及試驗方法

2021.09.23

5

T/IAWBS 005-2024

6-8英寸碳化硅單晶拋光片

2018.12.17

6

T/IAWBS 006-2022

碳化硅混合模塊測試方法

2022.12.22

7

T/IAWBS 007-2018

4H碳化硅同質外延層厚度的紅外反射測量方法

2018.12.17

8

T/IAWBS 008-2019

SiC晶片的殘余應力檢測方法

2019.12.31

9

T/IAWBS 009-2019

功率半導體器件穩態濕熱高壓偏置試驗

2019.12.31

10

T/IAWBS 010-2019

碳化硅單晶拋光片表面質量和微管密度檢測方法-激光散射檢測法

2019.12.31

11

T/IAWBS 011-2019

導電碳化硅單晶片電阻率測量方法-非接觸渦流法

2019.12.31

12

T/IAWBS 012-2019

碳化硅單晶拋光片表面質量和微管密度測試方法-共焦點微分干涉光學法

2019.12.31

13

T/IAWBS 013-2019

半絕緣碳化硅單晶片電阻率非接觸測量方法

2019.12.31

14

T/IAWBS 014-2021

碳化硅單晶拋光片位錯密度檢測方法

2021.9.22

15

T/IAWBS 015-2021

氧化鎵單晶晶片搖擺曲線的測試方法

2021.9.22

16

T/IAWBS 016-2022

碳化硅單晶片X射線雙晶搖擺曲線半高寬測試方法

2022.3.24

17

T/IAWBS 017-2022

金剛石單晶片X射線雙晶搖擺曲線半高寬測試方法

2022.12.22

18

T/IAWBS 018-2022

金剛石單晶拋光片位錯密度的測試方法

2022.12.22

19

T/IAWBS 019-2023

半導體設備前端模塊

2023.11.20

20

T/IAWBS 020-2024

碳化硅外延層深能級缺陷的測試瞬態電容法

2024.03.05

21

T/IAWBS 021-2024

碳化硅晶片邊緣輪廓檢測方法

2024.05.24

22

T_IAWBS 022-2024

SiC MOSFET閾值電壓測試方法——電流源單點測試法

2024.12.30

23

T_IAWBS 023-2025

金剛石單晶表面應力分布測定拉曼光譜法

2025.10.10

24

T_IAWBS 024-2025

金剛石單晶中石墨相含量的測定拉曼光譜法

2025.10.10

25

T_IAWBS 025-2025

碳化硅器件功率循環試驗方法

2025.10.10

26

-

碳化硅外延層載流子濃度測定-非接觸電容-電壓法

在研

27

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碳化硅柵氧的界面態測試方法-電容-電壓測試法

在研

28

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碳化硅平面場效應晶體管閾值電壓測試方法

在研

26

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碳化硅單晶拋光片堆垛層錯的測試方法

在研

27

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碳化硅單晶切割片

在研

28

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氧化鎵單晶位錯密度的測試方法

在研

29

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碳化硅用包材中金屬雜質含量的測定 電感耦合等離子體質譜法

在研

30

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碳化硅晶體生長用粉體

在研

31

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碳化硅單晶拋光片邊緣缺陷的自動化檢測方法 反射和透射偏振法

在研

32

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碳化硅單晶拋光片包裹物的自動化檢測方法 暗場成像法

在研

33

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立方碳化硅單晶片的(111)面和(111)面檢測方法

在研

34

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微射流激光技術加工碳化硅光波導片技術方法

在研

35

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碳化硅長晶用多孔石墨材料

在研

36

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金剛石單品位錯密度的測定 陰極熒光光譜法

在研

37

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金剛石單晶中氮含量的測定 電子順磁共振法

在研

38

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碳化硅光波導片

在研

39

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碳化硅晶片無損位錯檢測方法-X 射線衍射成像

在研

40

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碳化硅外延片表面缺陷測試-拉曼光譜法

在研