作者 | 郭輝
中微公司今日（4月1日）在臨港產(chǎn)業(yè)化基地舉行2025年度業(yè)績說明會。
中微公司董事長尹志堯表示，面對行業(yè)發(fā)展的新機遇與外部環(huán)境的新挑戰(zhàn)，中微公司始終站在先進制程工藝發(fā)展的最前沿，絕不抄襲和復制國外的標配設(shè)備，一直堅持“技術(shù)的創(chuàng)新”，“產(chǎn)品的差異化”和“知識產(chǎn)權(quán)保護”三項基本原則。中微公司堅持有機生長和外延擴展相結(jié)合的策略。產(chǎn)品覆蓋度持續(xù)提升，正穩(wěn)步邁入多樣化、平臺化和規(guī)?；陌l(fā)展新階段。
截至目前，中微公司已有37種成熟設(shè)備于生產(chǎn)線實現(xiàn)量產(chǎn)，并獲得批量訂單。具體來看，包括高能等離子體CCP刻蝕機、低能等離子體ICP刻蝕機、各類薄膜設(shè)備、寬禁帶半導體MOCVD設(shè)備。
據(jù)介紹，過去14年，中微公司設(shè)備已應用于全球170多個客戶的芯片及LED生產(chǎn)線，實現(xiàn)量產(chǎn)的機臺累計裝機數(shù)達到8000臺。14年中，在線積累臺數(shù)的年增長率始終保持在37%以上，年銷售增長率保持在35%以上。
尹志堯表示，近五年占公司銷售75%以上的等離子刻蝕設(shè)備，保持了超過51%的增長速度。“這是半導體產(chǎn)業(yè)史絕無僅有的增長速度。我們希望未來5到10年依然保持高速增長?！?/span>
據(jù)中微公司最新發(fā)布的財報，2025年全年實現(xiàn)營業(yè)收入123.85億元，同比增長36.62%，經(jīng)營業(yè)績創(chuàng)下歷史新高；歸屬于母公司所有者的凈利潤約21.11億元，較上年增加約4.96億元，同比增長約30.69%。
中微公司2025年研發(fā)投入占年銷售額的比例達到30.2%。
尹志堯表示，之所以保持高研發(fā)投入，一方面是因為公司研發(fā)能力大幅提升。據(jù)介紹，過去開發(fā)一款新設(shè)備可能需要三到五年甚至七年，現(xiàn)在一般只需18-20個月就能完成。在近兩年，中微公司每年同時推20余種新設(shè)備的研發(fā)，研發(fā)任務飽滿。另一方面，從市場發(fā)展趨勢來看，客戶對高端設(shè)備的需求日益迫切，要求其設(shè)備不僅能匹配國際先進水平，更要實現(xiàn)超越，“這也促使我們必須加大研發(fā)投入，以支撐公司的高速增長”。
中微公司目前已覆蓋300種不同的等離子刻蝕應用，其中CCP刻蝕機對應108種，ICP刻蝕機對應192種。
據(jù)尹志堯介紹，刻蝕工藝必須做到 “量身定制”。中微公司已開發(fā)出近300種不同的刻蝕應用，幾乎覆蓋了所有半導體刻蝕應用場景。目前該公司CCP刻蝕機95%以上的應用、ICP刻蝕機99%以上的應用，已形成大規(guī)模生產(chǎn)數(shù)據(jù)支撐或通過客戶驗證。
尹志堯表示，2025年中微公司的薄膜設(shè)備銷售迎來爆發(fā)式增長，營收同比大幅增長約224.23%，成為該公司業(yè)績增長的重要新引擎。
薄膜設(shè)備方面，中微公司已全面布局，在以半導體薄膜為主的薄膜設(shè)備領(lǐng)域，中微公司已啟動40多種設(shè)備的研發(fā)。截至2025年，已成功開發(fā)出鎢系列薄膜沉積設(shè)備、ALD氮化鈦、ALD鈦鋁、ALD氮化鉭等產(chǎn)品，以及鉬金屬沉積設(shè)備等?！?026年，我們還將開發(fā)更多薄膜設(shè)備，預計再過兩年，40多種薄膜設(shè)備將基本全部落地。”
據(jù)介紹，目前薄膜設(shè)備的全球市場規(guī)模與刻蝕設(shè)備相當，約250億至270億美元。
WSTS的最新數(shù)據(jù)顯示，預計2026年半導體芯片銷售額將強勢增長至9750億美元，相比去年同期增長23%。而全球晶圓廠設(shè)備的銷售額預計將超過1300億美元，將創(chuàng)歷史新高。而中國以463億美元的規(guī)模，有望繼續(xù)成為全球最大的集成電路前道設(shè)備市場，占全球前道市場的38%。
在業(yè)績會上，尹志堯表示，隨著中微公司在廣州和成都研發(fā)及生產(chǎn)基地建設(shè)的相繼啟動，中微公司未來廠房總面積將達到85萬平方米，將進一步增強產(chǎn)品研發(fā)與高端設(shè)備制造能力，全面深化在半導體及泛半導體產(chǎn)業(yè)鏈的戰(zhàn)略布局。
按照規(guī)劃，未來上海臨港基地將主要用于研發(fā)以及新產(chǎn)品的生產(chǎn)，南昌將主要用于成熟的刻蝕機和MOCVD生產(chǎn)，成都將主要用于CVD新品以及其他新產(chǎn)品的生產(chǎn)，廣州主要用于大平板設(shè)備生產(chǎn)。
尹志堯表示，屆時中微公司在全國各基地的產(chǎn)值總和將達到700億元人民幣的水平?！跋Ｍ?035年能夠滿足公司下游市場需求，同時在規(guī)模、產(chǎn)品競爭力、客戶滿意度方面，成為全球第一梯隊的半導體設(shè)備公司?！?/span>
