中微半導體設備(上海)股份有限公司董事長兼總經理尹志堯在央視財經《對話》節目中公開表示："我們現在已經有能力來做最先進的設備。"
尹志堯透露，2023年12月，中微決定進入大平板設備領域(此前大概有17種工藝設備全部依賴進口)。這種設備重達150噸，長15米寬15米，有兩層半樓高。
按照尹志堯的經驗，開發這樣的設備至少需要3-7年。但中微的精銳團隊只用12個月就從一張白紙做出了可運轉的設備，不到4個月就達到客戶下一代要求，18個月就運到生產線上并通過核準。
尹志堯被稱為"中國刻蝕機之父"，在美國深耕數十年，手握幾百項專利。這一突破標志著我國在半導體設備領域取得重大進展，為打破國外技術壟斷奠定了堅實基礎。
半導體設備是芯片制造的關鍵，長期以來我國在這一領域依賴進口。行業專家指出，中微半導體的突破不僅具有重要的技術意義，也具有重要的戰略意義，將有助于提升我國半導體產業的自主可控能力。
此次技術突破，展現了我國在高端裝備制造領域的實力，為推動半導體產業發展注入了新的動力。
