主辦單位：麥姆斯咨詢
協辦單位：上海傳感信息科技有限公司
一、課程簡介
光學MEMS（Optical MEMS），也稱為微光機電系統（MOEMS），是基于半導體制造技術在微米尺度上構建并集成機械結構、光學元件及電子電路的微系統，可以通過機械結構的運動或變形來實現對光信號的控制與處理。光學MEMS產品類型多種多樣，包括MEMS微鏡及其陣列、光學MEMS麥克風、光學MEMS慣性傳感器、光學MEMS氣體傳感器、微測輻射熱計探測器、MEMS法布里-珀羅（F-P）濾光器、MEMS自動對焦/光學防抖執行器、MEMS光柵調制器、可調諧MEMS VCSEL等。根據Yole發布的《光學MEMS產業現狀-2026版》報告顯示，光學MEMS技術正助力“光通信、光傳感、光顯示”三大領域發展，全球光學MEMS市場處于快速擴張階段，預計將從2025年的10億美元增長到2031年的23億美元，復合年增長率（CAGR）達到15%。該積極樂觀的發展勢頭主要得益于人工智能（AI）數據中心MEMS光路交換機（OCS）、車載激光雷達（LiDAR）和抬頭顯示（HUD）、工業三維/光譜傳感與成像設備，以及諸如增強現實（AR）眼鏡、激光電視等新興消費電子應用領域的強勁需求。
光學MEMS/MOEMS說明圖
2025 ~ 2031年全球光學MEMS市場預測
全球光學MEMS產業呈現高度分散的格局，這是由于多數技術方案針對特定應用定制化開發而成。許多公司僅活躍于一兩個細分領域，導致其營收高度依賴于特定市場的動態變化。光學MEMS產業主要參與者情況：德州儀器（Texas Instruments）憑借數字微鏡器件（DMD）及其數字光處理（DLP）技術在整體市場中占據領先地位，從投影顯示到機器視覺皆有其身影；谷歌（Google）、Lumentum、DiCon，以及初創公司云智光聯（獲得芯動聯科投資）為AI數據中心及電信應用提供MEMS微鏡解決方案，助力MEMS光路交換機量產應用；Preciseley、中科米微主攻光通信MEMS微鏡及光開關/光衰減器/可調光濾波器；速騰聚創（RoboSense）及其子公司希景科技、MicroVision自研MEMS微鏡并實現車規級MEMS激光雷達批量出貨；知微傳感、知象光電、微視傳感、知芯傳感、中科融合均在MEMS微鏡及三維傳感與成像領域布局，其中部分公司開啟了面向光路交換機的MEMS微鏡陣列產品路線；麥鍇科技針對“激光通信、激光雷達、激光投影”三大應用領域開發了多系列MEMS微鏡產品；英唐智控通過收購日本先鋒微技術，從而切入MEMS微鏡賽道；Si-Ware Systems、優尼科（Unispectral）、海譜納米（Hypernano）瞄準微型光譜儀及光譜相機市場；sensiBel則在光學MEMS麥克風領域深耕并開啟高保真音頻新紀元。
光學MEMS技術發展路線圖
目前，光學MEMS市場發展主要由MEMS微鏡技術驅動，相關產品包括一維掃描微鏡、二維掃描微鏡及微鏡陣列等形態。MEMS微鏡可以采用不同的驅動機制（靜電、電磁、壓電、電熱）實現運動控制，基于各種驅動機制的MEMS微鏡在響應速度、運動范圍、驅動電壓、功耗、制造與封裝復雜性等方面各有優劣勢，需要根據具體應用需求進行綜合權衡。例如，靜電驅動機制在性能、功耗與可擴展性之間實現了良好的平衡，同時具備成熟的結構設計與制造工藝，尤其適用于MEMS微鏡陣列及相關應用；電磁驅動機制憑借大掃描角度和大光學孔徑的優勢，在激光雷達和激光束掃描（LBS）等領域具有顯著競爭力；壓電驅動機制相比靜電驅動機制，具有驅動力大、驅動電壓低、機電轉換效率高等優勢，在未來光學MEMS系統中展現出廣闊的發展前景，然而，受制于壓電MEMS制造工藝成熟度有待提升，其大規模產業化應用仍面臨一定挑戰。
MEMS微鏡的驅動機制
為了緊抓光學MEMS技術及應用趨勢，滿足廣大從業人員對知識的渴求，麥姆斯咨詢特開設本次培訓課程，邀請知名高校和研究院所專家及企業高管，為大家講授：（1）光學MEMS技術及應用綜述；（2）光學MEMS微鏡技術及應用；（3）MEMS微鏡及微鏡陣列設計、制造及應用；（4）壓電MEMS微鏡和壓電MEMS變形鏡；（5）面向激光束掃描應用的壓電MEMS掃描鏡；（6）高性能MEMS掃描微鏡技術及應用；（7）二維/三維MEMS掃描鏡及激光雷達和光通信應用；（8）面向光通信的MEMS光衰減器及MEMS光開關；（9）與CMOS工藝兼容的CMOS-MEMS數字微鏡陣列；（10）面向空間光通信的光學MEMS器件；（11）集成光開關發展現狀及關鍵技術；（12）結合超構表面的近零功耗MEMS光熱開關；（13）基于光學MEMS的光譜/偏振成像技術及其應用；（14）MEMS可調諧F-P腔濾光芯片及光譜成像；（15）光學MEMS器件可靠性分析。
二、培訓對象
本課程主要面向光學MEMS產業鏈上下游企業的技術人員和管理人員，以及高校師生，同時也歡迎其他希望學習光學MEMS技術及應用知識的非技術背景人員參加，例如銷售和市場人員、投融資機構人員、政府管理人員等。
三、培訓時間
2026年7月24日至26日
授課結束后，為學員頒發麥姆斯咨詢的結業證書。
四、培訓地點
無錫市（具體地點以培訓前一周的郵件通知為準）
五、課程內容
課程一：光學MEMS技術及應用綜述
老師：山東大學 教授 陶繼方
光學MEMS是一種將微機械、微電子與光學技術深度融合形成的微系統。典型光學MEMS器件的組成包括微機械執行機構、驅動與控制電路、光學功能結構（反射鏡、光柵、濾波器、波導等）、信號檢測單元、封裝與光學接口。在傳感應用領域，光學MEMS麥克風和光學MEMS氣體傳感器已經成功實現商業化。傳統MEMS麥克風采用電容式檢測原理，而光學MEMS麥克風利用光學干涉、光強變化或光纖調制機制檢測聲壓引起的振膜位移，在靈敏度、信噪比、動態范圍等性能指標方面更勝一籌。傳統MEMS氣體傳感器主要采用金屬氧化物半導體（MOS）技術路線，而光學MEMS氣體傳感器利用氣體特征吸收光譜進行檢測，具有更高選擇性和長期穩定性。此外，可調諧激光器也是光學MEMS的代表性發展方向之一，其通過改變激光腔長度、反射波長或濾波特性，實現激光輸出波長連續調節，可應用于FMCW激光雷達、3D傳感與成像、光學相干層析成像、先進光通信。本課程從光學MEMS器件設計基礎出發，詳細講解三類器件（光學MEMS麥克風、光學MEMS氣體傳感器、光學MEMS可調諧激光器）關鍵技術，并展望未來發展趨勢。
課程提綱：
1. 光學MEMS器件設計基礎；
2. 光學MEMS麥克風；
3. 光學MEMS氣體傳感器；
4. 光學MEMS可調諧激光器；
5. 光學MEMS技術發展趨勢與未來展望。
課程二：光學MEMS微鏡技術及應用
老師：中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所 研究員 沈文江
光學MEMS微鏡憑借微型化、低功耗、高可靠性及易于集成等優勢，已成為現代光電子系統中的關鍵器件，在信息獲取、信息傳輸和信息顯示等領域發揮著重要作用。在信息獲取（光傳感）領域，MEMS微鏡是激光雷達（LiDAR）和3D相機的核心掃描器件之一，通過高速、精確地控制光束方向，實現環境感知與三維成像。在信息傳輸（光通信）領域，MEMS微鏡賦能AI數據中心光路交換機（OCS），可實現光鏈路的快速、精準切換，提供靈活高效的光互連能力，有助于降低系統功耗、提升網絡帶寬利用率以及增強算力集群的性能與穩定性。在信息顯示（光顯示）領域，MEMS微鏡廣泛應用于微型激光投影儀、AR/VR近眼顯示器、車載抬頭顯示器（HUD）和智能車燈系統，通過對光束的精確調控，實現高亮度、高分辨率和動態顯示，為新一代沉浸式影音娛樂與智能座艙技術的發展提供重要支撐。本課程首先概述光學MEMS微鏡技術，然后詳解MEMS微鏡在光傳感、光通信、光顯示領域的應用情況，最后進行技術總結與展望。
課程提綱：
1. 光學MEMS微鏡技術概述；
2. MEMS微鏡在光傳感領域應用；
3. MEMS微鏡在光通信領域應用；
4. MEMS微鏡在光顯示領域應用；
5. 光學MEMS微鏡技術總結與展望。
課程三：MEMS微鏡及微鏡陣列設計、制造及應用
老師：北京理工大學 教授 謝會開
MEMS微鏡指利用微納加工技術，把微型光反射鏡與MEMS驅動器集成于一體的光學執行器，其通過靜電驅動、電磁驅動、壓電驅動、電熱驅動等方式實現反射鏡面的角度偏轉（轉動）、位移調節（平動）或形貌變形，從而實現對光束傳播方向、相位、強度及波前的動態控制。MEMS微鏡兼具微電子技術的批量制造優勢和微機械結構的運動控制能力，具有體積小、重量輕、功耗低、易于集成等特點，是光學MEMS最具代表性的器件。按照陣列規模劃分，MEMS微鏡可分為單片、一維線陣、二維面陣等類型；按照運動自由度劃分，MEMS微鏡可分為一維運動、二維運動、三維運動等類型。MEMS微鏡及微鏡陣列（例如德州儀器DMD）已經實現商業化并獲得廣泛應用，包括投影儀、光譜儀、激光雷達、3D相機、AR/VR顯示器、智能車燈、光通信、光刻機、OCT內窺鏡等。本課程詳細講解MEMS微鏡及微鏡陣列原理、設計與制造，深入闡述MEMS微鏡及微鏡陣列技術發展及應用現狀，并展望未來趨勢。
課程提綱：
1. MEMS微鏡及微鏡陣列概述：定義、原理、分類等；
2. MEMS微鏡及微鏡陣列設計與制造；
3. MEMS微鏡技術發展及應用現狀；
4. MEMS微鏡陣列技術發展及應用現狀；
5. MEMS微鏡及微鏡陣列總結及展望。
課程四：壓電MEMS微鏡和壓電MEMS變形鏡
老師：華中科技大學 教授 余洪斌
壓電MEMS微鏡是一種利用壓電薄膜材料的逆壓電效應實現微型反射鏡姿態控制的光學器件——它通過壓電MEMS驅動器產生機械變形，帶動微型反射鏡完成轉動、平移或復合運動，可以實現光束偏轉、掃描、調制等功能。近些年，壓電MEMS技術發展迅猛，產業界建立了多種壓電薄膜制備能力，例如通過“磁控濺射法”或“溶膠-凝膠法”在硅晶圓上沉積氮化鋁（AlN）、氮化鋁鈧（AlScN）、鋯鈦酸鉛（PZT）等壓電薄膜，正在加速壓電MEMS微鏡的商業化落地。相比靜電MEMS微鏡，壓電MEMS微鏡具有驅動電壓低、驅動能力強（推力大）、運動行程大、響應速度快、無吸合效應等優點，有望在激光雷達（LiDAR）、光路交換機（OCS）、自由空間光通信、微型激光投影儀、生物醫學成像等應用領域發揮重要作用。本課程從MEMS微鏡驅動技術分析出發，詳解壓電MEMS微鏡和MEMS變形鏡工作原理、器件設計和制造實例。
課程提綱：
1. MEMS微鏡基本概念及驅動技術特性分析；
2. 壓電MEMS微鏡技術發展現狀及其面臨的問題和解決方案；
3. 壓電MEMS微鏡器件設計和制造實例；
4. 自適應光學基本概念和工作原理；
5. 壓電MEMS變形鏡技術發展現狀及其面臨的問題和解決方案；
6. 壓電MEMS變形鏡器件設計和制造實例。
課程五：面向激光束掃描應用的壓電MEMS掃描鏡
老師：上海麥鍇科技有限公司 首席執行官（CTO） 王櫟皓
激光束掃描（Laser Beam Scanning，LBS）是利用光束掃描器件改變激光傳播方向，從而實現空間信息獲取、顯示或通信的一種光學操控技術。作為激光束掃描的核心器件之一，MEMS掃描鏡采用硅基半導體工藝制造，具有微型化、高精度、高頻率、低功耗、低成本及易于批量生產等優點，徹底改變了傳統的機械式光學掃描架構。目前，MEMS掃描鏡已經被應用于汽車激光雷達（LiDAR）、增強現實（AR）頭戴式顯示器、微型激光投影儀、空間激光通信、生物醫療成像等領域。上海麥鍇科技有限公司（簡稱：麥鍇科技）孵化自中國科學院上海微系統所傳感技術國家重點實驗室，團隊具有豐富的MEMS產品研發與量產經驗，擁有壓電MEMS微鏡設計、制造、封裝與測試等全套核心技術，量產依托國內領先、國際先進的8英寸MEMS代工平臺，產品應用覆蓋激光通信、激光雷達、激光投影領域。本課程由麥鍇科技CTO王櫟皓講解壓電MEMS掃描鏡及激光束掃描應用。
課程提綱：
1. MEMS掃描鏡及激光束掃描（LBS）概述；
2. 基于壓電驅動的MEMS掃描鏡；
3. 諧振態壓電MEMS掃描鏡及應用；
4. 準靜態壓電MEMS掃描鏡及應用。
課程六：高性能MEMS掃描微鏡技術及應用
老師：四川大學 特聘副研究員 夏園林
MEMS掃描微鏡是一種基于MEMS技術實現光束掃描功能的微型光學執行器。近些年，隨著激光雷達（LiDAR）、增強現實（AR）、空間激光通信、光學相干斷層掃描（OCT）等應用的發展，對光束掃描能力提出了更高要求，推動了MEMS掃描微鏡技術的不斷進步。高性能MEMS掃描微鏡設計通常需要兼顧“掃描角度、鏡面口徑、響應速度、諧振頻率、鏡面平整度、功耗”等性能指標，并且還需考慮抗沖擊和抗振動能力，以保證器件的長壽命與高可靠性。尤其是隨著MEMS掃描微鏡進入工業、汽車、航空航天和軍事國防領域，其可靠性已成為產業化應用的重要挑戰。本課程首先講解高性能MEMS掃描微鏡設計和可靠性增強技術，然后闡述MEMS掃描微鏡典型應用，包括眼動追蹤、激光雷達和視覺雷達，最后介紹柔性MEMS掃描微鏡技術及應用。
課程提綱：
1. 高性能MEMS掃描微鏡設計；
2. MEMS掃描微鏡可靠性增強技術；
3. 基于MEMS掃描微鏡的眼動追蹤；
4. 基于MEMS掃描微鏡的激光雷達；
5. 基于MEMS掃描微鏡的視覺雷達；
6. 柔性MEMS掃描微鏡技術及應用。
課程七：二維/三維MEMS掃描鏡及激光雷達和光通信應用
老師：浙江大學 教授 車錄鋒
MEMS掃描鏡是當前光學MEMS領域最具產業化價值的核心器件之一，其主要由反射鏡面、支撐結構、微型驅動器及控制器組成，反射鏡面通常鍍有一層高反射系數的金屬薄膜材料，例如鋁（Al）、金（Au）。相比傳統的機械振鏡、多棱鏡掃描器和聲光偏轉器，MEMS掃描鏡具有體積小、重量輕、功耗低、響應速度快、易于批量制造及光電集成等優點。按照運動自由度，MEMS掃描鏡可分為一維運動、二維運動、三維運動等類型。一維MEMS掃描鏡主要用于條碼掃描儀、光譜儀等領域；二維MEMS掃描鏡則成為固態激光雷達（LiDAR）及3D傳感系統的主流掃描方案；三維MEMS掃描鏡進一步融合掃描、聚焦和波前調控功能，為下一代智能感知及光通信系統提供更強的光控能力。本課程深入講解二維/三維MEMS掃描鏡原理、設計、制造、性能指標，并闡述MEMS掃描鏡在激光雷達和光通信領域的應用。
課程提綱：
1. MEMS掃描鏡概述：背景與意義、分類與原理；
2. MEMS掃描鏡驅動技術；
3. 二維/三維MEMS掃描鏡設計與制造；
4. MEMS掃描鏡關鍵性能指標；
5. MEMS掃描鏡在激光雷達中的應用；
6. MEMS掃描鏡在光通信中的應用；
7. MEMS掃描鏡技術挑戰與發展趨勢。
課程八：面向光通信的MEMS光衰減器及MEMS光開關
老師：遼寧工程技術大學 教授 翟雷應
隨著5G通信、云計算、人工智能（AI）和超大規模數據中心的快速發展，光通信網絡對帶寬容量、傳輸速率和網絡靈活性的要求不斷提高。MEMS光衰減器（VOA）和MEMS光開關（OSW）憑借低插損、低功耗、高可靠性以及易于大規模集成等優勢，已成為現代光通信系統中的關鍵基礎器件。MEMS光衰減器是一種基于MEMS技術實現的可調諧光功率控制器件，其能夠根據系統需求對光信號進行實時衰減，用于補償光鏈路損耗差異、平衡多信道光功率、保護光接收器以及提高光通信系統的動態范圍和穩定性。MEMS光開關是一種基于MEMS技術實現的光路切換器件，其能夠在不改變光信號載波特性的情況下完成光路重構與交換，是實現全光交換網絡的重要器件。當前，基于MEMS光開關的光路交換機（OCS）正被超大規模數據中心運營商加速采用，例如谷歌（Google）在數據中心網絡架構中引入MEMS光路交換機，用于動態配置機器學習訓練集群之間的高速光連接。通過采用光路交換機替代傳統電子分組交換機（EPS），數據中心能夠在保持高帶寬互連能力的同時顯著降低網絡能耗，并提高大規模AI計算任務的通信效率。本課程首先分析光通信對光學MEMS的需求，然后重點講解MEMS光衰減器和MEMS光開關的關鍵技術，并解析MEMS光路交換機方案，最后進行技術總結與展望。
課程提綱：
1. 光通信對光學MEMS的需求分析；
2. MEMS光衰減器（VOA）設計與制造；
3. MEMS光開關（OSW）設計與制造；
4. MEMS光路交換機（OCS）方案解析；
5. 面向光通信的光學MEMS技術總結與展望。
課程九：與CMOS工藝兼容的CMOS-MEMS數字微鏡陣列
老師：中國科學院上海技術物理研究所 副研究員 程正喜
CMOS-MEMS數字微鏡陣列是一種由大量可獨立控制的MEMS微鏡組成的二維陣列開關，可以實現靈活（可編程）的空間光調制功能，廣泛地應用于顯示和投影、無掩膜光刻、三維成像、光譜成像、共焦測量等領域。CMOS-MEMS數字微鏡陣列通常采用靜電驅動方式，制造工藝較為成熟，易于實現大規模集成，其基本單元包括反射鏡面、扭轉梁、支撐結構、驅動電極、CMOS控制電路，每個鏡面能夠圍繞扭轉軸進行雙穩態翻轉（傾斜角一般為±10°至±17°），從而實現“開（ON）”或“關（OFF）”狀態。數字微鏡陣列最成功的商業化產品是德州儀器（Texas Instruments）開發的DMD（Digital Micromirror Device），其市場占有率長期超過90%。本課程講解CMOS-MEMS數字微鏡技術及應用，重點剖析核心的制造工藝。
課程提綱：
1. 為什么研究CMOS-MEMS數字微鏡陣列？
2. CMOS-MEMS數字微鏡陣列簡介；
3. CMOS-MEMS數字微鏡陣列制造工藝；
4. 德州儀器DMD及相關微鏡陣列器件；
5. 基于標準CMOS工藝的數字微鏡陣列；
6. CMOS-MEMS數字微鏡陣列總結與展望。
課程十：面向空間光通信的光學MEMS器件
老師：西北工業大學 教授 黎永前
空間光通信是利用光波（通常為激光）作為信息載體，在自由空間中直接進行信息雙向傳遞的無線通信技術。與傳統的無線電頻率（RF）通信相比，空間光通信具有帶寬大、速率高、功耗低、抗電磁干擾能力強和保密性好等優勢，已成為未來天地一體化信息網絡的重要組成部分。作為空間光通信系統的核心組件，空間光調制器（SLM）可以實現光波振幅、相位、偏振和方向控制。根據工作原理和物理結構，空間光調制器主要劃分為液晶和MEMS兩大技術路線，其中MEMS技術路線可進一步劃分為MEMS光柵、數字微鏡器件（DMD）、MEMS掃描鏡/反射鏡等。當前，光學MEMS正在從傳統的光纖通信領域逐步擴展至星間通信、深空通信和衛星互聯網領域，并有望成為下一代空間光通信系統實現小型化、低功耗和高性能的重要支撐技術。本課程介紹空間光通信發展及現狀、空間光調制器分類及特性，重點講解光學MEMS器件原理、設計、制備及性能表征。
課程提綱：
1. 空間光通信發展歷程及現狀分析；
2. 空間光調制器分類及特性；
3. 光學MEMS器件分類及特性；
4. MEMS光柵原理及設計；
5. MEMS光柵調制器制備與性能；
6. MEMS光柵調制器在空間光通信領域應用；
7. 其它光通信MEMS器件及應用；
8. 光通信MEMS器件總結與展望。
課程十一：集成光開關發展現狀及關鍵技術
老師：上海交通大學 教授 周林杰
隨著網絡傳輸數據流量的爆炸性增長，數據中心內部機柜之間的數據傳輸量激增，傳統電交換由于其有限的帶寬和高功耗將很難滿足網絡帶寬發展需求。光交換能夠直接在光域上完成光信道間信息的交換，具有高速、寬帶、透明、低功耗等諸多優點，可以滿足下一代全光交換網絡、人工智能（AI）數據中心和高性能計算機光互連網絡建設的迫切需求。本課程介紹集成光開關的發展現狀及核心技術，包括采用MEMS微鏡、二氧化硅PLC平面波導、III-V族半導體材料和硅基光電子集成等技術路線。其中，硅基集成光開關具有結構緊湊、功耗低、成本低，以及與CMOS工藝兼容的優勢，適合大規模光開關制作和量產，具有潛在的巨大市場商用價值。本課程重點講解實現硅基光開關的核心單元器件及幾種代表性光開關陣列，并對光開關狀態監控和調節以及光電封裝進行闡述。
課程提綱：
1. 光交換技術發展背景與基礎；
2. 集成光開關材料平臺；
3. 集成光開關核心器件與拓撲架構；
4. 集成光開關控制與光電封裝技術；
5. 集成光開關系統應用與未來挑戰。
課程十二：結合超構表面的近零功耗MEMS光熱開關
老師：華中科技大學 研究員 賴建軍
隨著物聯網（IoT）技術在各行各業的廣泛應用以及各類智能終端設備的快速普及，市場對智能傳感器的需求持續增長。然而，大規模部署的智能傳感器節點對能源供應提出了嚴峻的挑戰，尤其是在無人值守場景下，如何保障智能傳感器長期穩定運行已成為制約物聯網發展的關鍵問題之一。這一挑戰促使研究人員不斷探索智能傳感器節能降耗及近零功耗技術。為此，華中科技大學賴建軍團隊提出一種結合U型熱雙材料懸臂梁結構和超構表面（Metasurface）的MEMS光熱開關，用于構建近零功耗紅外感知系統，以達到根據目標紅外輻射特征譜能量直接驅動開關動作的目的。由于該MEMS光熱開關能夠檢測和判別多光譜特征的紅外目標，并可在無需持續電能消耗的情況下實現事件觸發，因此為新一代自主運行、長壽命物聯網傳感器節點提供了一種具有應用前景的解決方案。本課程首先介紹MEMS光熱開關需求，然后綜述MEMS光熱開關研究進展并講解設計與制造技術，重點剖析“結合超構表面的近零功耗MEMS光熱開關”，最后進行技術總結與應用展望。
課程提綱：
1. 低功耗MEMS光熱開關需求；
2. MEMS光熱開關研究進展；
3. MEMS光熱開關設計與制造；
4. 結合超構表面的近零功耗MEMS光熱開關；
5. MEMS光熱開關技術總結與應用展望。
課程十三：基于光學MEMS的光譜/偏振成像技術及其應用
老師：西北工業大學 教授 虞益挺
傳統的光學成像系統受限于單一的光強信息記錄，難以全面表征目標的物化屬性與結構特征。通過引入光譜和偏振成像技術，多維度光學信息的捕獲使成像系統實現了從“視覺呈現”向“智能理解”的跨越，大幅提升了目標識別、環境感知以及定量分析能力。隨著光學MEMS技術的不斷發展，MEMS可調諧濾波器、MEMS微鏡、MEMS光柵和MEMS偏振調制器逐漸成為實現光譜和偏振成像系統的核心器件，助力實現多維度信息的高效獲取。展望未來，借助MEMS與CMOS集成技術，可以實現光學MEMS、光電探測器及控制電路的單片集成，再通過深度融合人工智能（AI），從而打造超小型多維信息感知系統，賦能各種移動設備和可穿戴設備。本課程概述光學MEMS技術，介紹光學MEMS器件設計與制造，深入講解基于光學MEMS的光譜/偏振成像技術及其應用。
課程提綱：
1. 光學MEMS技術概述；
2. 典型光學MEMS器件設計與制造；
3. 基于光學MEMS的光譜成像技術及其應用；
4. 基于光學MEMS的偏振成像技術及其應用；
5. 基于光學MEMS的光譜/偏振成像技術展望。
課程十四：MEMS可調諧F-P腔濾光芯片及光譜成像
老師：優尼科（青島）微電子有限公司 研發副總 方鵬程
MEMS可調諧法布里-珀羅（F-P）腔濾光芯片通過調節驅動電壓，控制F-P腔間隙，實現諧振透射波長的連續調諧，從而對不同波長的光譜信息進行選擇性透射和分離，具備寬光譜覆蓋范圍下的窄帶濾光能力。相比傳統的光柵、棱鏡等分光器件，MEMS可調諧濾光芯片具有體積小、功耗低、調諧速度快等優勢，其響應時間可達到亞毫秒甚至微秒量級，同時兼具良好的CMOS工藝兼容性和批量制造能力，是新一代微型光譜相機的核心器件。優尼科（Unispectral）自主研發的MEMS可調諧濾光芯片環境適應性強，擁有完善的閉環回路補償系統。低成本的紅外攝像頭借助這種MEMS可調諧濾光芯片可以實現700～950 nm快照式光譜成像功能（經過多次曝光，每一幀捕捉一個特定波長光譜，形成多光譜數據集），適用于人臉支付設備、智能手機、智能家電、智能駕駛等大眾消費市場。本課程概述微型光譜成像技術，重點講解MEMS可調諧濾光芯片原理與技術，并介紹MEMS光譜相機及典型應用案例。
課程提綱：
1. 微型光譜成像技術概述；
2. MEMS可調諧F-P腔濾光芯片原理與方案；
3. MEMS光譜芯片與計算光譜技術；
4. 從MEMS光譜芯片到光譜相機；
5. MEMS光譜成像應用案例與發展趨勢。
課程十五：光學MEMS器件可靠性分析
老師：東南大學 副教授 王磊
光學MEMS器件可靠性是決定其產業化成功與否的核心因素，科學的評價體系與分析手段是識別、定位及預防器件失效的工程基礎。由于光學MEMS器件同時涉及力學、光學、電學和材料學等多個科學領域，因此其可靠性問題遠比傳統IC器件復雜，失效機理涵蓋機械疲勞、結構蠕變、殘余應力釋放、接觸粘附、電荷俘獲、電學擊穿、材料退化、光學損傷、環境影響和封裝失效等眾多方面。提升光學MEMS器件的可靠性必須貫穿于“設計-制造-封裝-測試-應用”的全生命周期。本課程詳解光學MEMS器件失效機理、工程分析與可靠性評價，并以MEMS微鏡為例闡述失效問題，給出可靠性策略建議。
課程提綱：
1. 光學MEMS器件失效機理；
2. 光學MEMS器件工程分析與可靠性評價；
3. 光學MEMS微鏡失效案例簡析；
4. 光學MEMS器件可靠性策略建議。
六、培訓費用和報名咨詢
報名咨詢：請發送電子郵件至PENGLin@MEMSConsulting.com，郵件題目格式為：報名+光學MEMS技術培訓+單位簡稱+人數。
報名網站：
https://www.memstraining.com/training-81.html
培訓贊助：請致電聯系彭女士（17368357393），或麥姆斯咨詢固話（0510-83481111）。
麥姆斯咨詢
聯系人：彭女士
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