據(jù)麥姆斯咨詢介紹，全球微電子工程公司邁來芯（Melexis）的Triphibian MLX9083x系列（包括MLX90830、MLX90833、MLX90834）MEMS壓力傳感器能夠測量氣體和液體壓力的微小變化，可用于電動汽車電池的熱管理系統(tǒng)以及AI數(shù)據(jù)中心的液體冷卻散熱系統(tǒng)。
開發(fā)該系列低壓傳感器的Melexis產(chǎn)品線總監(jiān)Karel Claesen表示，隨著各種系統(tǒng)的功率密度不斷提高，冷卻散熱技術(shù)對于系統(tǒng)性能和可靠性至關(guān)重要。在電動汽車電池冷卻和AI數(shù)據(jù)中心機架冷卻等應(yīng)用中，壓力測量有助于驗證冷卻液循環(huán)是否正常，并支持故障診斷。通過檢測原本可能被忽視的故障，MEMS壓力傳感器有助于防止代價高昂的停機，并保護高價值組件免受不可逆的損壞。
用于電動汽車逆變器、電池儲能系統(tǒng)（BESS）和AI數(shù)據(jù)中心機架的液冷系統(tǒng)通常在較低壓力下運行（一般為2至4 bar），其挑戰(zhàn)在于如何在這些條件下精確檢測極微小的壓力變化。據(jù)Melexis聲稱，傳統(tǒng)的MEMS壓力傳感器難以針對氣體、液體以及可能結(jié)冰的流體（例如電子設(shè)備冷卻中使用的水-乙二醇及其它冷卻液混合物）提供可靠的壓力測量。
Triphibian MLX9083x系列專為檢測此類微小壓力變化而設(shè)計，通過將Melexis首創(chuàng)的能夠測量氣體、液體和冷凍介質(zhì)壓力的傳感技術(shù)引入工作范圍為2或4 bar的應(yīng)用中，成功解決上述挑戰(zhàn)。該MEMS壓力傳感器采用緊湊的、出廠已校準的SOIC-16寬體封裝，封裝尺寸為10.4 mm × 10.3 mm × 2.3 mm，將獨特的懸臂梁式MEMS壓力敏感元件與信號處理、調(diào)理和輸出驅(qū)動器相結(jié)合，在整個使用壽命期間均能保持±0.5%的測量精度。
Triphibian MLX9083x系列MEMS壓力傳感器
MLX90834中的MEMS芯片（紅外成像圖）
來源：《邁來芯MEMS絕對壓力傳感器MLX90834產(chǎn)品分析》
該系列MEMS壓力傳感器提供模擬輸出或數(shù)字輸出（以及其它多種選項），專為直接接觸氣體、液體和其它冷卻液而設(shè)計，從而降低了將其集成到服務(wù)器及其它高密度封裝系統(tǒng)中的復(fù)雜性。這些具備SPI和I2C輸出接口的壓力傳感器將于2027年推出，支持片上溫度感測；當(dāng)需要在監(jiān)測壓力的同時監(jiān)測熱量時，還可選擇連接外部NTC溫度傳感器。
在電動汽車的熱泵系統(tǒng)中，精確監(jiān)測制冷劑的壓力與溫度至關(guān)重要。為有效避免系統(tǒng)中高昂組件受損，必須防止液體介質(zhì)進入壓縮機。因此，系統(tǒng)必須確保制冷劑在到達蒸發(fā)器出口時保持完全過熱的氣體狀態(tài)。這可以通過在同一位置精確監(jiān)測蒸發(fā)器與壓縮機之間的壓力和溫度來實現(xiàn)，從而使系統(tǒng)能夠利用智能膨脹閥精確計算和調(diào)節(jié)流體的過熱程度。
Karel Claesen補充道：“無論是驅(qū)動下一代汽車系統(tǒng)，還是為AI數(shù)據(jù)中心提供支持，我們的Triphibian壓力傳感技術(shù)都能提供確保硬件持續(xù)運行所需的關(guān)鍵監(jiān)測能力?！?/span>
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