
功率半導體行業有著三個獨有的行業特性,分別為:
非尺寸依賴型工藝,專注于結構和技術改進以及材料迭代;
商業模式以IDM為主,利于技術積累和迭代;
細分需求多樣化,依賴特色工藝平臺的全面性和深度性。


從功率半導體產業鏈流程來看,設計、制造工藝和封裝集成均十分重要。功率半導體以晶圓、光刻板、襯底材料等半導體材料為基礎,經過設計、制造、封裝后形成細分終端產品。其中,除了設計之外,功率半導體的制造工藝和封裝工藝亦十分關鍵:
在制造工藝中,需要涉及外延工藝、光刻工藝、減薄、背面金屬化等制造工藝,制造工藝是影響器件性能的核心因素之一;
在封裝工藝中,裸片會進行器件封裝或模組封裝或集成封裝,裸片若經過器件封裝會形成功率分立器件,若經過模組封裝會形成功率模組。由于功率半導體工作環境極端,對可靠性和壽命等要求較高,因此封裝技術同樣是影響器件性能的核心因素之一。
最后成型的功率器件會用于各類終端,功率分立器件主要用于消費電子、家用電器等,功率IC多用于電源管理芯片,適用于工業控制、網絡通信等,功率模組可承受更高壓環境,則主要用于軍工航天、軌道交通等產業內的DC/AC逆變器、整流器、驅動控制電路方面。
行業特性一:非尺寸依賴型工藝,專注結構與材料特性
集成電路技術的發展主要分為三個技術方向:尺寸依賴的先進工藝,非尺寸依賴的特色工藝以及先進封裝工藝。
在縱向的先進工藝中,業界追求特征線寬的縮小、工作電壓的降低、開關頻率的提高等。它主要追趕摩爾定律,不斷實現更高密度的技術,從130nm到3nm工藝,晶體管的集成度越來越高,成本大幅下降,芯片的價格也不斷下降。
在橫向的特色工藝中,強調器件特征多樣化,專注于芯片如何在不同場景下承受高電壓、輸出高電流,以及如何提高電路線性特征,降低噪聲。特色工藝追求的不完全是器件的縮小,而是根據不同的物理特性,做出不同的產品,比如射頻器件、模擬器件、無源器件、高壓功率半導體、傳感器等。第三個方向為先進封裝工藝方向,利用特種的封裝進行高密度的組裝做出更高價值產品。

功率半導體屬于特色工藝產品,非尺寸依賴型,在制程方面不追求極致的線寬,不遵守摩爾定律。數字芯片更加注重制程的升級,目前處理器等高端數字芯片的先進制程基本在14nm以下,高端產品更是達到了5nm制程,算力發展速度較快。而對于功率半導體而言,性能發展速度較慢,制程基本穩定在90nm-0.35μm之間,其發展關鍵點主要包括制造工藝、封裝技術、基礎材料的升級。

發展關鍵點1:制造工藝。功率半導體制造工藝的具體難點在于溝槽工藝以及背面工藝(晶圓減薄、高劑量離子注入)等。以IGBT為例,自上世紀80年代被推出后,每一次的性能升級都離不開表面結構及背面工藝的進步。

溝槽工藝:目前中高端的功率器件(MOSFET和IGBT)均使用溝槽工藝。IGBT的表面結構發展曾歷經平面柵工藝到溝槽柵工藝的演變。第一代和第二代的IGBT采用平面柵工藝,由于pbase與擴散區形成球面PN結,產生JFET效應,導致導通壓降較大。英飛凌在第三代IGBT中采用溝槽柵結構,使得P型發射區的反型溝道垂直于硅片表面,有效消除JFET效應,增加了表面溝道密度,降低了器件導通損耗。
另外,最新的IGBT7對溝槽工藝進一步升級,采用MPT結構將微溝槽柵和FS組合并應用低壓MOS技術,進一步大幅提高了溝道密度,從而實現更大的器件性能控制范圍。相比于平面柵,溝槽柵結構性能得到了顯著的提升,所以對于IGBT器件而言,表面結構升級也是產品高端化的必經之路。
制備溝槽型器件工藝壁壘高,設計-制造環節須歷經長期技術沉淀。溝槽柵IGBT的溝槽寬度僅有1-2μm,而溝槽深度要達到4μm以上。因此,通過酸腐蝕工藝制備溝槽時,須對溝槽的寬度和深度實現精確控制。此外,溝槽壁亦要盡可能光滑以提升良率。
同時,IGBT溝槽底部的倒角亦須圓潤、均一以免影響器件耐壓。而溝槽形貌與設備條件、刻蝕工藝和后處理有著十分緊密的聯系,須大力協調三者之間關系才可規模量產溝槽形貌良好的IGBT產品。因此,功率半導體的制造工藝壁壘較高,需要晶圓廠與芯片設計部門長期合作,對器件的設計及制造技術長期打磨及優化。

背面工藝:對良率、成本影響顯著,減薄和背金是關鍵。同以IGBT為例,背面工藝主要包括正面貼膜、背面減薄、背面清洗、背面P注入、激光退火、背面B注入、背面金屬化、烘烤等。IGBT4相較于3進一步減薄了背面結構,使得開關損耗進一步降低,同時最高工作結溫也從125℃提升至150℃,但相應的背面工藝復雜度也顯著提升,主要體現在晶圓減薄、注入及金屬化等工藝中。

在背面工藝易產生碎片。在晶圓被減薄至100-200μm后,后續的摻雜以及背面金屬化的過程中,亦會因為工藝控制及搬運不慎帶來碎片的風險。因此,在wafer尺寸超過8寸后,背面工藝難度提升,對IGBT良率影響也顯著放大,目前能夠規模量產12英寸IGBT的晶圓廠較少。此外,使用場截止技術時,亦對背面摻雜工藝提出更高要求,須綜合考量深度、濃度、分布以及與集電極的匹配等影響因素,涉及的變量較多,優化難度大。
發展關鍵點2:封裝工藝。由于功率半導體工作環境極端,對可靠性和壽命等要求較高,因此封裝工藝同樣是功率半導體的主要關注點。封裝工藝主要從三種途徑進行改進:
①提高芯片面積與占用面積之比;
②將封裝的電阻和熱阻減至最小;
③將寄生電阻和電感減至最小。
TOLL可以被應用于離散型功率器件封裝。以TOLL封裝為例,它是一種高效節省空間的封裝,具有極低的寄生電阻和強大的熱性能,非常適合于高電流和高壓應用。根據EEWORLD,TOLL封裝引線設計中潤濕性側翼,在汽車領域競爭力明顯,是汽車應用中的常用技術。

車規級IGBT模塊封裝技術壁壘更高,封裝質量及散熱重要性突出。車規級IGBT模塊是功率半導體封裝技術壁壘最高的產品之一。車規級封裝是保障高溫運行、高功率密度、高可靠性的關鍵因素,不僅僅涉及到芯片表面互連、貼片互連、端子引出、散熱等關鍵技術工藝。參考旺材芯片的報道,下表列示了主要可靠性試驗的失效機理,可以看到IGBT模塊的穩定性不僅僅與芯片本身可靠性息息相關,更多依賴于封裝模塊的可靠性。

直接液冷是目前車規IGBT模塊的主流散熱方案。對于模塊散熱設計而言,其結構設計難度大,需要廠商對熱力學及材料體系有較為深入的理解。早期車規IGBT模塊采用基于銅基板的三明治結構,該設計散熱性能差且結構笨重,限制模塊功率進一步提升。為提升散熱能力,針翅直接水冷散熱結構以及更為先進的雙面散熱被提出并廣泛采用,目前日本電裝、日立以及英飛凌的雙面散熱模塊已實現商業化。
根據《中國電力》雜志報道,盡管雙面散熱模塊熱阻較單面液冷更低,是下一代功率IGBT發展趨勢,但單面液冷方案憑借其較為簡單的制造工藝,未來一段時間仍將是高性能、高可靠性IGBT模塊的主流方案。

發展關鍵點3:材料迭代。功率半導體還專注于材料的迭代,現有第三代半導體材料可有效提升原有硅基材料的性能,突破原有器件性能天花板。以SiC、GaN等第三代半導體材料為基礎的功率半導體可在更高頻、更高壓的環境下工作,性能上超過原有Si基IGBT和Si基MOSFET,且原有的成本問題也不斷得到了優化。
以SiC材料為例,英飛凌的SiC開關相較于Si-二極管可減少80%的損耗,其從2017年開始,SiC的芯片成本和系統成本不斷降低,芯片成本不斷趨近于Si,系統成本在某些頻率下甚至可以低于Si。


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