如今，電子設(shè)備的體積越來(lái)越小。在即將到來(lái)的物聯(lián)網(wǎng)時(shí)代中，通過(guò)微型傳感器可以研發(fā)出在科幻小說(shuō)中才有的科技應(yīng)用。然而，微電子設(shè)備的運(yùn)行依舊需要電能，其運(yùn)行電力主要來(lái)自微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）對(duì)機(jī)械振動(dòng)等環(huán)境能量的收集。
傳統(tǒng)的MEMS能量采集器（圖片來(lái)源:Tokyo Institute of Technology）
MEMS能量采集技術(shù)
無(wú)線(xiàn)傳感器網(wǎng)絡(luò)、嵌入式系統(tǒng)、射頻識(shí)別(RFID) 、無(wú)線(xiàn)通訊等技術(shù)發(fā)展迅速。在由這些技術(shù)組成的網(wǎng)絡(luò)和系統(tǒng)中 ,微型傳感器等無(wú)線(xiàn)元器件得到廣泛應(yīng)用。?
這些元器件一般數(shù)目龐大、位置分散、體積微小。因此 ,相應(yīng)元器件要求其供電部分具有體積小 、集成度高、壽命長(zhǎng)甚至無(wú)需更換 、無(wú)人看管等特點(diǎn) 。傳統(tǒng)電池體積大、質(zhì)量大 、供能壽命有限，能量耗盡需更換或反復(fù)充電 。?
近年來(lái) ,微型高能電池蓬勃發(fā)展 ,它可以滿(mǎn)足對(duì)無(wú)線(xiàn)元器件供能的需求 ,但是它的能量密度及供能壽命仍然有限 。另外 ,對(duì)于一些需要長(zhǎng)時(shí)間 (工作時(shí)間以年為單位)工作的分散式、嵌入式元器件而言 ,更換電池極大地增加了成本 ,尤其是元器件數(shù)目較多 ,甚至由于位置偏遠(yuǎn)或難以觸及 (比如戰(zhàn)場(chǎng)、人體內(nèi)) 的原因而無(wú)法更換。
為了擺脫對(duì)電池的依賴(lài)而實(shí)現(xiàn)對(duì)無(wú)線(xiàn)元器件供能的要求 ,研究人員提出了微能量采集技術(shù)。微能量采集技術(shù)是利用某種效應(yīng)把周?chē)h(huán)境中的某種形式的能量轉(zhuǎn)換成電能 ,為嵌入式系統(tǒng)和無(wú)線(xiàn)傳感網(wǎng)絡(luò)中的MEMS器件供能 。?在各種能量源中 ,振動(dòng)機(jī)械能廣泛存在 ,且能量密度大 ,因此在微能量采集技術(shù)中 ,是一種比較好的選擇。
振動(dòng)機(jī)械能轉(zhuǎn)換為電能的方法有三種：電磁式 、靜電式、壓電式，其中壓電式換能方式結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于MEMS加工，能量采集密度大，且無(wú)需啟動(dòng)電壓，在實(shí)際應(yīng)用中滿(mǎn)足嵌入式系統(tǒng)和無(wú)線(xiàn)傳感網(wǎng)絡(luò)的要求 。?
壓電式振動(dòng)能量采集器
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壓電式能量采集器的研究已經(jīng)取得了一些進(jìn)展 。一種基于MEMS技術(shù)制作，工作于低頻振動(dòng)環(huán)境 (頻率小于 1 000 Hz) 的壓電微能量采集器，通過(guò)一種能量采集電路完成了測(cè)試。?
1、基本原理
壓電能量采集器的基本工作原理是壓電效應(yīng)，即壓電材料在外界振動(dòng)的激勵(lì)下發(fā)生形變，引起材料內(nèi)部偶極子的不對(duì)稱(chēng), 發(fā)生極化現(xiàn)象 , 同時(shí)在材料的外表面上出現(xiàn)正負(fù)相反的電荷 。
壓電方程可以簡(jiǎn)單表達(dá)為?
式中 :σ為應(yīng)力 ;α為應(yīng)變;ε為介電常數(shù) ;E 為電場(chǎng)強(qiáng)度;D 為電位移 ;c 為楊氏模量;dxx為壓電常數(shù) 。
從式 (1)可以看出 , 壓電材料的電輸出和應(yīng)力應(yīng)變存在著緊密的聯(lián)系, 這種機(jī)電耦合機(jī)制也正是壓電材料能將機(jī)械能轉(zhuǎn)化為電能的基礎(chǔ) 。?
壓電式能量采集器工作時(shí)引起壓電材料內(nèi)部發(fā)生應(yīng)變的原因是:特定的結(jié)構(gòu) (一般是梁結(jié)構(gòu))將外界的振動(dòng)激勵(lì)轉(zhuǎn)化為結(jié)構(gòu)自身的振動(dòng), 并由此帶動(dòng)壓電材料的形狀發(fā)生變化 , 從而輸出電能。?
2、物理模型
研究人員最早提出利用彈簧-質(zhì)量塊阻尼振動(dòng)模型來(lái)解決振動(dòng)能與電能的轉(zhuǎn)換問(wèn)題,該模型基于線(xiàn)性系統(tǒng)理論而且與具體的換能機(jī)制(壓電式 、 靜電式或電磁式)無(wú)關(guān), 其典型的物理模型如圖 1 所示, 主要包括彈簧、 質(zhì)量塊 、 阻尼器和基座。當(dāng)基座在外界激勵(lì)的作用下發(fā)生振動(dòng)時(shí), 質(zhì)量塊隨之振動(dòng), 從而把外界的振動(dòng)能轉(zhuǎn)化為電能。?
模型的數(shù)學(xué)表達(dá)式為?
式中：x 為彈簧的形變量；y 為環(huán)境振動(dòng)的輸入位移量 ；m 為質(zhì)量塊的質(zhì)量 ;be 和 bm 分別表示電阻尼系數(shù)和機(jī)械阻尼系數(shù) ;k 為彈簧的彈性常數(shù)。
3、能量采集器結(jié)構(gòu)及工藝
壓電效應(yīng)有兩種 : d31 和 d33 模式。這里介紹一種采用 d33 模式制作的復(fù)合懸臂梁式結(jié)構(gòu)。它由 Pt/ Ti 叉指電極 , PZT 壓電層 , ZrO2 , SiO2和 Si 層組成 ,在梁的自由端加一鎳質(zhì)量塊 ,如圖2。
其中叉指電極可以產(chǎn)生 d33 模式的響應(yīng)電場(chǎng) ; ZrO2層作為絕緣層可以阻擋 PZT 層產(chǎn)生的電荷泄漏 ;鎳質(zhì)量塊是用來(lái)降低梁的諧振頻率 ,以實(shí)現(xiàn)工作在低頻的環(huán)境 。?
這種懸臂梁結(jié)構(gòu)的制作工藝如圖3。首先 ,在N 型 < 100 > 約 500 μm 厚的硅片上雙面熱氧化生長(zhǎng)約 2. 2μm 厚的 SiO2 層。接著 ,在 SiO2 層上先制備 ZrO2 薄膜 , 再利用 sol - gel 技術(shù)在其上涂覆PZT 薄膜。在其上依次濺射 Ti 、Pt 。采用 H F 溶液在背面刻蝕出 SiO2 窗口 ,純 Ar 氣體進(jìn)行離子轟擊使叉指電極圖形化 , PZT 和 ZrO2 層則采用專(zhuān)門(mén)的PZT 刻蝕液使其圖形化。然后 ,采用 RIE 工藝正面刻蝕 SiO2 / Si 層。采用專(zhuān)門(mén)夾具保護(hù)正面 , KO H 溶液刻蝕背面硅。需預(yù)留較薄一層硅 ,以防止過(guò)刻蝕 。RIE 從背面刻蝕硅直至刻穿釋放出懸臂梁 。最后 ,在梁末端加寬度和懸臂梁一致的 Ni 質(zhì)量塊。
能量收集器的一些應(yīng)用
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1、能量收集器應(yīng)用于環(huán)境
密歇根大學(xué)教授開(kāi)發(fā)出一種能量收集器，通過(guò)一種壓電裝置，利用綠花金龜（Green June Beetle）飛行過(guò)程中翅膀的震動(dòng)來(lái)發(fā)電，使每只甲蟲(chóng)輸出的總體電功率達(dá)到45毫瓦。機(jī)器昆蟲(chóng)能作為微型飛行器來(lái)使用，執(zhí)行搜尋與救援、跟蹤、監(jiān)控危險(xiǎn)環(huán)境、探測(cè)爆炸物等任務(wù)。
能量收集器收集昆蟲(chóng)飛行過(guò)程中翅膀的震動(dòng)能量
此前收集昆蟲(chóng)能量的方法包括用熱電偶收集昆蟲(chóng)體熱，或用共振磁性裝置收集振動(dòng)能量。但不同甲蟲(chóng)翅膀震動(dòng)的頻率有很大不同，同一只甲蟲(chóng)在不同條件下的震動(dòng)頻率也不同，所以非共振裝置才能有效收集各種振動(dòng)產(chǎn)生的能量。
2、能量收集器應(yīng)用于軍事領(lǐng)域
如今，在國(guó)防領(lǐng)域中能量收集器的主要應(yīng)用于飛機(jī)和直升機(jī)的健康和使用監(jiān)控系統(tǒng)（HUMS）。不過(guò)，對(duì)于民用和軍用市場(chǎng)，HUMS系統(tǒng)都是新興的應(yīng)用。此外，HUMS微型版本也在研發(fā)之中：用于無(wú)人機(jī)。
近20年來(lái)的使用證明，HUMS系統(tǒng)在直升機(jī)的廣泛使用，帶來(lái)很大的功效：提高了直升機(jī)的安全性，減小了使用維護(hù)費(fèi)用，能防止因操作失誤而引發(fā)的事故。由于HUMS具有故障檢測(cè)隔離的作用，現(xiàn)在人們將HUMS視為機(jī)械系統(tǒng)的自檢測(cè)系統(tǒng)。
HUMS包含各種傳感器用來(lái)監(jiān)測(cè)直升機(jī)或旋翼飛機(jī)的外部狀態(tài)。
目的：關(guān)鍵組件的診斷和預(yù)知（采用加速度計(jì)）+ 環(huán)境遙感（溫度讀數(shù)）。
相比傳統(tǒng)的HUMS系統(tǒng)使用有線(xiàn)傳感器，現(xiàn)在的HUMS采用無(wú)線(xiàn)電傳輸數(shù)據(jù)的無(wú)線(xiàn)傳感器，并利用能量收集器收集轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的振動(dòng)能量。
3、能量收集器應(yīng)用于電力電路
電力電路正在采用一種全新的理念，即能量收集（energy Scavenging）。該技術(shù)能夠利用太陽(yáng)能電池，壓電發(fā)電機(jī)、以及其他能量轉(zhuǎn)換設(shè)備來(lái)收集能量，然后將其轉(zhuǎn)換為電能，并存儲(chǔ)在電容器中，以備使用。很多情況下，傳感器電路不需要持續(xù)運(yùn)行，因此，在傳感器停止工作期間，能量即可以得到補(bǔ)充。
由于各種條件的制約 ,這種基于MEMS技術(shù)的振動(dòng)能量采集器提供的能量一般較低?(μW 級(jí)別) ,除了一些特殊場(chǎng)合 ,這些能量還不能滿(mǎn)足大多數(shù)電子設(shè)備的需求 。
因此 ,微能量采集技術(shù)應(yīng)該在以下方向取得突破?: (1)?發(fā)展低功耗電子技術(shù)及先進(jìn)電源管理技術(shù) ,降低微型電子器件的功耗。?(2)?設(shè)計(jì)新的采集器結(jié)構(gòu)或研究新材料 ,提高能量轉(zhuǎn)換效率和功率。?(3)?在同一電子器件中 ,不同能量采集方式的結(jié)合 ,將會(huì)極大地提高采集能量的能力。?
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