芯片制程之戰(zhàn):最燒錢(qián)的技術(shù)戰(zhàn)!

濾波器 2020-07-05 00:00
作者:吳老師   來(lái)源: 吳老師(ID:ccnu_5G)

吳導(dǎo)有言

2020年伊始,全球半導(dǎo)體先進(jìn)制程之戰(zhàn)已然火花四射。從華為和蘋(píng)果打響7nm旗艦手機(jī)芯片第一槍開(kāi)始,7nm芯片產(chǎn)品已是百花齊放之勢(shì),5nm芯片也將在下半年正式首秀。這些逐漸縮小的芯片制程數(shù)字,正是全球電子產(chǎn)品整體性能不斷進(jìn)化的核心驅(qū)動(dòng)力。


通往更先進(jìn)制程的道路猶如攀登高峰,極高的技術(shù)難度和研發(fā)成本將大多數(shù)芯片選手?jǐn)r在半山腰,目前全球唯有臺(tái)積電、英特爾、三星還在向峰頂沖刺。三星成功研發(fā)3nm芯片,臺(tái)積電3nm芯片晶體管密度達(dá)2.5億/mm2,英特爾官宣制程回歸。

在全球備戰(zhàn)更先進(jìn)制程的關(guān)鍵節(jié)點(diǎn),本文圍繞晶體管五大關(guān)鍵環(huán)節(jié),探討先進(jìn)制程沖刺戰(zhàn)中的核心技術(shù)及玩家格局。


芯片制程描述的是芯片晶體管柵極寬度的大小,納米數(shù)字越小,晶體管密度越大,芯片性能就越高。

各家對(duì)制程工藝的命名法則不同,在相同納米制程下,并不能對(duì)各制程技術(shù)做直觀(guān)比較。比如英特爾10nm的晶體管密度與三星7nm、臺(tái)積電7nm的晶體管密度相當(dāng)。

從制程進(jìn)展來(lái)看,一邊是三星臺(tái)積電在5nm/3nm等制程上你追我趕,另一邊是英特爾循序漸進(jìn)地走向7nm。

5nm方面,臺(tái)積電已經(jīng)拿到蘋(píng)果和華為的手機(jī)芯片訂單。三星的5nm制程相對(duì)落后,正在與谷歌合作開(kāi)發(fā)Exynos芯片組,將搭載于谷歌的Chrome OS設(shè)備、Pixel智能手機(jī)甚至中心數(shù)據(jù)服務(wù)器中。

3nm方面,臺(tái)積電預(yù)計(jì)2021年開(kāi)始試生產(chǎn),2022年開(kāi)始量產(chǎn)。三星原計(jì)劃2021年量產(chǎn)3nm工藝,但受當(dāng)前疫情影響,不量產(chǎn)時(shí)間可能會(huì)推遲。

為什么挺進(jìn)先進(jìn)制程的玩家選手屈指可數(shù)呢?主要源于兩大門(mén)檻:資本和技術(shù)。制程工藝的研發(fā)和生產(chǎn)成本呈指數(shù)上漲,單從資金數(shù)目來(lái)看,很多中小型晶圓廠(chǎng)就玩不起。

更高的研發(fā)和生產(chǎn)對(duì)應(yīng)的是更難的技術(shù)挑戰(zhàn)。每當(dāng)制程工藝逼近物理極限,芯片性能天花板就取決于晶體管結(jié)構(gòu)、光刻、沉積、刻蝕、檢測(cè)、封裝等技術(shù)的創(chuàng)新與協(xié)同配合。
晶體管在芯片中起到開(kāi)關(guān)作用,通過(guò)影響相互的狀態(tài)傳遞信息。

幾十年來(lái),基于平面Planar晶體管芯片一直是市場(chǎng)熱銷(xiāo)設(shè)備。然而制程技術(shù)發(fā)展到后期,平面晶體管開(kāi)始遇到漏極源極間距過(guò)近的瓶頸。3D鰭式場(chǎng)效晶體管(FinFET)成為延續(xù)摩爾定律的革命性技術(shù),為工藝技術(shù)創(chuàng)新做出了核心貢獻(xiàn)。
2011年,英特爾轉(zhuǎn)向22nm FinFET。相比平面晶體管,F(xiàn)inFET在工藝節(jié)點(diǎn)減小時(shí),電壓縮放、切換速度和電流密度均顯著提升。


FinFET已經(jīng)歷兩個(gè)工藝世代,臺(tái)積電5nm FinFET晶體管工藝的芯片也將在下半年問(wèn)世。

隨著深寬比不斷拉高,F(xiàn)inFET也逼近了物理極限,為了制造出密度更高的芯片,環(huán)繞式柵極晶體管(GAAFET,Gate-All-Ground FET)成為新的技術(shù)選擇。不同于FinFET,GAAFET的溝道被柵極包圍,溝道電流比FinFET更加順暢,能進(jìn)一步改善對(duì)電流的控制,從而優(yōu)化柵極長(zhǎng)度的微縮。
三星名為多橋通道FET(MBCFET,Multi-Bridge Channel FET)的 GAA技術(shù),用納米片替換納米線(xiàn)周?chē)臇艠O,實(shí)現(xiàn)每堆更大的電流。
與現(xiàn)有GAAFET不一樣的是,在forksheet FET中,nFET和pFET都集成在同一結(jié)構(gòu)中,間距小并減少密集縮放, forksheet具有的接觸柵極間距均低于Nanosheet 的接觸柵極間距。
Complementary FET(CFET)是另一種類(lèi)型的GAA器件,由兩個(gè)單獨(dú)的FET組成,消除了n-p分離的瓶頸,減少電池有效面積。
英特爾的3nm也將采用CFET。 但CFET及相關(guān)的晶體管存在散熱等問(wèn)題,需要在各環(huán)節(jié)更新技術(shù)和設(shè)備。


雕刻電路圖案的核心制造設(shè)備是光刻機(jī),它的精度決定了制程的精度。 光刻機(jī)的運(yùn)作原理是先把設(shè)計(jì)好的芯片圖案印在掩膜上,用激光穿過(guò)掩膜和光學(xué)鏡片,將芯片圖案曝光在帶有光刻膠涂層的硅片上,涂層被激光照到之處則溶解,沒(méi)有被照到之處保持不變,掩膜上的圖案就被雕刻到芯片光刻膠涂層上。


目前193nm浸沒(méi)式光刻是 最成熟、應(yīng)用最廣的技術(shù),等到7nm及更先進(jìn)的技術(shù)節(jié)點(diǎn)時(shí),則需要波長(zhǎng)更短的極紫外(EUV)光刻技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)制程。


Imec和ASML成立了聯(lián)合研究實(shí)驗(yàn)室,專(zhuān)注于3nm節(jié)點(diǎn)的元件制造藍(lán)圖, 根據(jù)ASML年報(bào),他們將采用high-NA技術(shù)研發(fā)下一代極紫外光刻機(jī),產(chǎn)品將有更高的分辨率、數(shù)值孔徑和覆蓋能力。值得一提的是,英特爾與ASML的光刻機(jī)設(shè)備的量產(chǎn)時(shí)間相吻合,大約在2024年前后。


Imec重點(diǎn)投入的研發(fā)領(lǐng)域包括光罩的防塵薄膜技術(shù)、光阻技術(shù)、工藝優(yōu)化。一方面,更高的光阻劑往往會(huì)增加缺陷率,另一方面,光罩防塵薄膜發(fā)展相對(duì)緩慢。
為了將微電子器件造的更小,必須把越來(lái)越多的電路放進(jìn)更小的薄膜結(jié)構(gòu)中,與半導(dǎo)體工藝兼容的刻蝕和沉積技術(shù)也需要隨著提升。在硅片襯底上生成特定薄膜層的工藝就是薄膜沉積,所沉積的薄膜可以是導(dǎo)體、絕緣材料或半導(dǎo)體材料??涛g機(jī)根據(jù)印上去的圖案刻蝕,留下剩余的部分,芯片圖案就可以從光刻膠涂層轉(zhuǎn)移到了硅片上。

將材料以單原子膜形式一層一層的鍍?cè)谝r底表面就是所謂的原子層沉積(ALD)技術(shù)可將,選擇性沉積是一種先進(jìn)的自對(duì)準(zhǔn)圖案化技術(shù),將化學(xué)方法與MLD工具結(jié)合在一起,可減少流程中的光刻和刻蝕步驟。從理論上講,選擇性沉積可用于沉積金屬或沉積電介質(zhì)。不過(guò)目前區(qū)域選擇性沉積仍存在一定挑戰(zhàn),有待持續(xù)研發(fā)。

嵌段共聚物視是生產(chǎn)緊密圖案化表面的一種方式。嵌段共聚物將性質(zhì)不同的聚合物鏈段連在一起,制成一種線(xiàn)型聚合物,得到性能更為優(yōu)越的聚合物材料。 這種刻蝕技術(shù)可以選擇性去除MLD層,不會(huì)影響到附近的ALD層,精確控制了納米級(jí)材料的幾何形狀。

芯片進(jìn)入量產(chǎn)前需要 對(duì)芯片進(jìn)行檢測(cè),就是使用各種系統(tǒng)來(lái)查找芯片的缺陷。晶圓檢測(cè)分為兩類(lèi):光學(xué)和電子束。光學(xué)檢查速度快,但分辨率受限;電子束檢測(cè)分辨率更好,但速度偏慢。
因此很多公司均在開(kāi)發(fā)多光束電子束檢測(cè)系統(tǒng),最好能以較高的速度發(fā)現(xiàn)最不顯眼的缺陷。ASML開(kāi)發(fā)了一種具有9條光束的電子束檢測(cè)工具。


芯片制造商還使用各種量測(cè)系統(tǒng)來(lái)測(cè)量芯片結(jié)構(gòu)。微距量測(cè)掃描式電子顯微鏡(CD-SEM)進(jìn)行自上而下的量測(cè),光學(xué)CD系統(tǒng)則使用偏振光來(lái)表征結(jié)構(gòu)。
被稱(chēng)為臨界尺寸小角X射線(xiàn)散射(CD-SAXS)的X射線(xiàn)量測(cè)技術(shù) 是一種無(wú)損量測(cè)技術(shù),使用小光束尺寸的可變角度透射散射來(lái)量測(cè),其優(yōu)點(diǎn)是能提供更高的分辨率,避免了OCD參數(shù)相關(guān)性問(wèn)題,且計(jì)算更加簡(jiǎn)單。但X射線(xiàn)是由R&D的大型同步加速器存儲(chǔ)環(huán)產(chǎn)生的,這對(duì)晶圓廠(chǎng)來(lái)說(shuō)很不切實(shí)際。CD-SAXS需要緊湊的X射線(xiàn)源,問(wèn)題在于X射線(xiàn)源有限且速度慢,影響吞吐量,其成本也是一個(gè)問(wèn)題,該技術(shù)仍處于概念階段,X射線(xiàn)強(qiáng)度還將面臨挑戰(zhàn)。
封裝技術(shù)能讓內(nèi)存更接近邏輯處理單元,提升信號(hào)傳輸速率和互聯(lián)密度。傳統(tǒng)方法是縮小節(jié)點(diǎn)上不同的芯片功能,并將它們封裝到一個(gè)單片芯片上。通過(guò)封裝可以低功耗并增加內(nèi)存帶寬。在研發(fā)先進(jìn)的封裝技術(shù),以增加晶體管速度,從而提高整個(gè)系統(tǒng)性能的道路上,英特爾主推EMIB工藝,臺(tái)積電主推CoWoS工藝,三星主推FOPLP。


小芯片chipset是一種實(shí)現(xiàn)異構(gòu)集成的新形式,通過(guò)在特定空間堆疊多種芯片,實(shí)現(xiàn)更快的開(kāi)發(fā)速度和更高的計(jì)算力。臺(tái)積電采用COWOS封裝技術(shù)和LIPINCON互連技術(shù),將大型多核設(shè)計(jì)劃分成多個(gè)小芯片,實(shí)現(xiàn)更高的良率和更好的經(jīng)濟(jì)性。英特爾將不同IP、不同工藝的方案封裝在一起,從而省去漫長(zhǎng)的再制作過(guò)程。


隨著 摩爾定律的推進(jìn)節(jié)奏逐漸趨緩,半導(dǎo)體制程的不斷發(fā)展,想要延續(xù)摩爾定律的生命力需要技術(shù)和設(shè)備的創(chuàng)新突破。半導(dǎo)體行業(yè)大約每隔20年,就會(huì)有新的危機(jī)出現(xiàn),20年前,大家一度非常悲觀(guān),看不清如何才能將芯片做得更好。如今半導(dǎo)體行業(yè)到了20年周期的危機(jī)循環(huán)節(jié)點(diǎn),誰(shuí)都不知道未來(lái)半導(dǎo)體行業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展路在何方?
這個(gè)問(wèn)題的答案,也許藏在 5G、AI等新興技術(shù)里,也許藏在半導(dǎo)體的新模式、器件和技術(shù)里,半導(dǎo)體行業(yè)在不斷探索前行。無(wú)論未來(lái)誰(shuí)是創(chuàng)新風(fēng)暴的引領(lǐng)者,最終受益的都是享用更高性能電子產(chǎn)品的每一個(gè)人。

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評(píng)論
  • 在物聯(lián)網(wǎng)從“萬(wàn)物互聯(lián)”邁向“萬(wàn)物智聯(lián)”的進(jìn)程中,LTE Cat.1憑借其在速率、成本與網(wǎng)絡(luò)覆蓋之間的完美平衡,正成為中低速物聯(lián)網(wǎng)市場(chǎng)的絕對(duì)主力。隨著2G/3G網(wǎng)絡(luò)的逐步退網(wǎng)以及新國(guó)標(biāo)對(duì)終端設(shè)備智能化、定位功能的強(qiáng)制要求,Cat.1模組迎來(lái)了爆發(fā)式的增長(zhǎng)窗口。在這一關(guān)鍵節(jié)點(diǎn),基于華為海思Hi2131芯片設(shè)計(jì)的LTE Cat.1模組,憑借其在能效、射頻、架構(gòu)及物理規(guī)格上的底層創(chuàng)新,成功打破了“高性能必高功耗”的傳統(tǒng)魔咒,為行業(yè)提供了極具競(jìng)爭(zhēng)力的連接最優(yōu)解。核心技術(shù)優(yōu)勢(shì):重塑Cat.1能效與連接標(biāo)桿海
    用戶(hù)1778981989717 2026-08-05 21:04 206瀏覽
  • 產(chǎn)品使用18V供電,配套4串鋰離子電池,需要設(shè)計(jì)一個(gè)充電器。因?yàn)檩斎?8V,電池最高 16.8V,壓差僅 1.2V。因?yàn)閴翰钐?。使用開(kāi)關(guān)型的充電控制芯片不穩(wěn)定。嘗試自行設(shè)計(jì)一個(gè)。整體采用分立三極管 + TL431架構(gòu),分4個(gè)功能單元:使能控制回路、限流環(huán)路、TL431 精密恒壓反饋環(huán)路、PNP 功率管主功率輸出回路;實(shí)現(xiàn)完整鋰電池充電邏輯。使能控制回路按鍵按下:5V 電壓經(jīng) R12 (2kΩ) 送入 NPN 管 Q3 基極,Q3 飽和導(dǎo)通,對(duì)地拉低 R1、R2 組成的分壓控制節(jié)點(diǎn)電位;該節(jié)點(diǎn)直
    southcreek 2026-08-07 13:45 489瀏覽
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  •                                                                        
    廣州鐵金剛 2026-08-06 17:44 216487瀏覽
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  • 讓微弱脈沖信號(hào)更清晰——鎖相放大器集成Boxcar平均器在脈沖激光、泵浦-探測(cè)、時(shí)間分辨光譜、飛行時(shí)間質(zhì)譜等實(shí)驗(yàn)中,真正需要測(cè)量的信號(hào)往往只出現(xiàn)在一個(gè)很短的時(shí)間窗口內(nèi),卻被淹沒(méi)在遠(yuǎn)大于它的噪聲和背景之中。 針對(duì)這類(lèi)穩(wěn)定重復(fù)的微弱脈沖與瞬態(tài)信號(hào),賽恩科儀為OE2052雙通道數(shù)字鎖相放大器帶來(lái)全新的Boxcar Averager功能升級(jí):在鎖相檢測(cè)之外,進(jìn)一步提供從周期波形觀(guān)察、門(mén)控測(cè)量到多周期平均的完整數(shù)字Boxcar測(cè)量鏈路。 Boxcar平均器,如何從噪聲中“截取”目標(biāo)信號(hào)?Boxcar平均器
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  •        很多人只見(jiàn)過(guò)封裝在SMD外殼里的小尺寸晶振,卻不知道一顆2016、1612甚至1210封裝的微型石英晶振,從一塊巴掌大的石英原礦,到最終能穩(wěn)定起振的成品,要經(jīng)過(guò)十幾道精密工序。它內(nèi)部的石英晶片厚度最薄不到20微米,比普通A4紙的1/5還薄,整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程里哪怕0.1微米的誤差,都會(huì)直接廢掉整批產(chǎn)品,這也是小尺寸晶振過(guò)去長(zhǎng)期依賴(lài)進(jìn)口,國(guó)內(nèi)廠(chǎng)商花了十幾年才啃下量產(chǎn)硬骨頭的核心原因。1. 原石定向切割:0.01度的角度誤差都不能有小尺寸晶振的第一步,
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