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近年來,隨著世界范圍內對電動交通工具大規模普及以及晶體技術的逐步成熟,新一代的半導體材料, SiC、 GaN、Ga2O3等晶圓需求量快速增長,從去年的“未來應用”迅速成為當下“迫切需要”的半導體材料。
然而在市場化應用的過程中卻遇到諸多阻礙。目前行業還沒有針對第三代半導體出具高效、快速、低成本的精密拋光工藝方案,大部分還是沿用以往單晶硅的工藝,并進行一些改良,但由于SiC硬度高,以及其特殊的晶像特征,現有磨削拋光材料去除率低,易出現劃痕及亞表面和邊緣破損等和環境污染等問題。
02 課程簡介
本次DT新材料特別邀請到了國外Qualdiamond公司的CTO——Tong Liu先生分享《納米材料及納米金剛石均相拋光液在SiC 晶圓規模化生產的工藝開發及應用》。
在這里,您將獲悉國內外在SiC拋光工藝的嘗試及普遍遇到的問題,各類亞微米級金剛石懸浮液在SiC的切割,減薄,磨削上的應用及問題,以及Qualdiamond研發,生產的納米級金剛石穩定分散懸浮液在碳化硅wafer規模化生產上的工藝開發,以及相關工藝要求。
如果您是半導體領域的材料研發工程師、SiC/GaN晶圓生產及加工企業人員等,那么這節課程不容錯過!
請鎖定8月15日(周二)上午10點30-11點30的材視在線課堂直播!快來轉發海報,免費參加吧!
03 專家簡介
Tong Liu——Qualdiamond公司/CTO
2003-2006 ?
德州A&M University?Biochemistry & Biophysics ?博士后。
2007-2019 ?
UCSD,?La Jolla Institute of Immunology ?and?The Scripps Research Institute,研究員,高級科學家,新型納米免疫抗體庫,納米包裹體及相關納米材料開發以及應用研究。
2019-2020? ?
Mitogen laboratories: CTO 納米材料及表面修飾產品開發。
2020年至今 ?
Qualdiamond的CTO?納米技術及納米拋光材料的研發生產及應用。

Qual Diamond通過了ISO9001和ISO14001認證并符合其所有要求。從原材料采購到成品生產的每一個環節都由自己控制。此外,Qual Diamond采用歐洲和美國的高精度儀器進行粒度、元素分析和雜質檢測,且具有環保和可回收的優點。多年以來,Qual Diamond一直把客戶放在首位,力求成為先進行業里一流的金剛石產品制造商和供應商。

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