2023年8月13日,由中國機械工程學會微納制造技術分會、中國微米納米技術學會微納米制造及裝備分會主辦,明石創新產業技術研究院、西安交通大學(煙臺)智能傳感技術與系統研究院、陜西省機械工程學會、教育部微納制造與測試技術國際合作聯合實驗室承辦的“第二屆微納傳感與智能制造學術會議”在煙臺城市黨建學院中心順利圓滿召開。

會議開始,趙立波總干事總結了中國機械工程學會微納制造技術分會、中國微米納米技術學會微納米制造及裝備分會在過去一年里的主要工作,并對接下來一年內的工作進行了安排,特別介紹了委員換屆工作的要求、章程,并對后續工作進行了規劃。接著,中國機械工程學會副理事長兼秘書長陸大明研究員致辭,他對分會過去一年的工作給予了肯定和褒獎,明確表示“明石杯”微納傳感技術與智能應用賽近年來進步突出,已經成為目前國內的頂尖大學生競賽項目,并希望再接再勵。在此之后,南京航空航天大學單忠德院士致辭,他肯定了分會在微納傳感賽方面的貢獻,希望各位委員可以把科研和人才培育同時推進。最后,蔣莊德院士致辭,對分會工作、賽事組織等給予了肯定,并希望分會委員能再接再厲,面向國家急需,解決重大問題。

隨后進入學術報告環節,8位來自不同領域的專家對其研究內容與研究進展進行學術交流與報告,并與參會人員展開了熱烈的討論。蔣莊德院士、單忠德院士、陸大明副理事長首先為大會報告人頒發了特邀報告證書。

北京大學王瑋教授做了關于“MEMS規模制造良率分析方法”的專題報告。王老師首先分析對比了MEMS與IC開發的工藝周期差異,闡述了MEMS器件批量化良率制造的重要意義;接著,介紹了制造良率優化的關鍵技術方法,通過人工神經網絡分析方法,提取了優化的工藝參數,實現流片的高良率制造。
通用技術機床研究院的吳東旭高級工程師帶來了關于“超精密機床高可靠性關鍵運動部件設計與制造方法”的專題報告。吳工程師首先介紹了通用技術機床研究院的發展歷程;接著,介紹了超精密加工對深空探測、對地觀測、慣性約束聚變、武器系統等的重大需求;隨后,詳細介紹了國內外超精密加工機床的發展現狀、關鍵技術、關鍵部件等;最后,介紹了通用技術研究院在機床方面的關鍵技術和突出貢獻。

中國科學院微電子研究所的焦斌斌研究員隨后帶來了“集成電路封裝中的熱、應力傳感器”的專題報告。焦研究員首先介紹了摩爾定律下的集成電路發展趨勢,點出了封裝在集成電路后續發展中的重要作用;接著,詳細分析了集成電路封裝中的熱/應力問題的來源、危害等,并詳細介紹了相關防護的關鍵技術與方法;最后,介紹了開發的系列芯片與封裝熱、應力測試方法和平臺。
第四位報告人是來自西安交通大學的康城瑋教授,他的學術報告題目是“復雜結構鈦合金零件精密加工機理與技術”。首先,康教授概述了難加工材料復雜構件的精密加工機理與技術的概念,接著介紹了鈦合金在航空航天、生物植入材料的廣泛應用需求,點明了鈦合金加工難點;隨后,介紹了鈦合金加工過程中的關鍵技術,開發了各類技術方法和磨床,解決了鈦合金加工的部分難題;最后,展望了鈦合金加工的后續發展趨勢與關鍵技術。
大連理工大學的孫吉安教授帶來了“先進微納表界面設計與制造”的專題報告。孫教授首先介紹了表界面的過程理論、重要研究意義和科學問題;接著,介紹了表面微納織構、表面功能涂層的兩大類表界面工程技術方法,針對現有研究進展進行了詳細的加工方法介紹,并開展了具體在生物抗菌、防磨損等方面的實際應用;隨后,展望總結了表界面工程的發展。

中南大學的鄭煜教授做了“微納光功能結構設計、制造及其應用”的專題報告。鄭教授以5G技術為切入點,介紹了了光功能結構的機遇與挑戰,明確了MEMS光芯片設計與制造中存在的問題;接著,以Y功分結構設計與優化為例,介紹了光芯片的關鍵技術方法,通過數據分析迭代了插損等關鍵指標,說明了批量加工制造中的難題和部分解決方法;最后,介紹了所研制的光芯片的應用與產業化實例。
華南理工大學的張仕偉教授做了“相變熱控器件微納功能結構加工技術及應用”的專題報告。首先,張教授介紹了其研究團隊,深入分析了超薄化熱控技術在電子器件領域的重要研究意義;接著,介紹了相變熱控器件技術和復雜表面熱功能結構技術的結合,通過提高散熱比表面積,增強散熱效率;隨后,介紹了吸液芯微納功能結構的加工方法、性能測試等;最后,詳細介紹了吸液芯微納功能結構在相變熱控器件領域的應用案例。
最后,西安交通大學的林啟敬副研究員做了“耐高溫光纖傳感器及其關鍵技術研究”的專題報告。林研究員首先介紹了高溫測量的重要研究意義,點明了光纖傳感器在高溫測量領域的獨特優勢;接著,介紹了近年來其課題組使用光纖技術實現了高溫、振動、壓力等的測量實例,包括具體解決的關鍵技術、應用案例等;最后,對光纖傳感技術進行了總結與展望。





