智芯公司等聯盟成員單位入選MEMS器件可靠性試驗創新聯合體首批成員單位

近日，MEMS器件可靠性試驗創新聯合體（以下簡稱“聯合體”）成立大會在京召開，北京智芯微電子科技有限公司（以下簡稱“智芯公司”）、中科院微電子所、中科院空天研究院等4家中國傳感器與物聯網產業聯盟（以下簡稱“聯盟”）成員入選聯合體首批成員單位，國家市場監管總局、北京市科委相關領導出席成立大會并講話。

MEMS器件可靠性試驗創新聯合體成立大會

聯合體由TC336（全國微機電標委會）秘書處單位中國機械總院集團基礎制造技術研究院（以下簡稱“中機研”）發起成立，成員單位涵蓋北京大學、清華大學、哈工大、中電科三十八所等科研院所、高校及國內傳感器頭部企業。聯合體將重點圍繞MEMS器件設計仿真分析、基礎材料研發、標準工藝設計、測試技術、MEMS器件產品研發與中試驗證等領域開展技術攻關，加速MEMS器件研發創新與孵化。未來，聯合體將充分發揮各成員單位資源優勢，以實際行動踐行國資委“要加快發展戰略性新興產業，支持中央企業牽頭建立創新聯合體，加快打造原創技術策源地，強化關鍵核心技術攻關”要求。

聯盟成員單位智芯公司長期致力于磁敏、壓力、超聲等MEMS芯片可靠性機理研究及產品研制，承擔了多項國家科技部、工信部的MEMS相關重大科技項目。作為TC336成員單位，智芯公司牽頭TC336能源領域MEMS技術標準研究組工作，組織預研的《微機電系統(MEMS)技術 MEMS磁傳感器技術規范》《微機電系統(MEMS)技術 車規級MEMS半導體氣體傳感器技術規范》2項國家標準提案正在國標委立項公示，預計今年5月底正式立項。 同時，在聯盟能源專委會標準工作方面，與中機研緊密合作，共同組織專委會成員單位開展標準預研工作，已發布4項團標，正在起草4項行標。

MEMS器件可靠性試驗創新聯合體成員單位授牌

下一步，聯盟成員單位將積極參與聯合體建設，深度研究MEMS器件測試技術，實現對MEMS器件在線檢測和封裝后的檢測，并依托聯合體懷柔創新基地重點實驗室及MEMS研發平臺，面向MEMS器件典型應用場景，開展產品研發與中試驗證。同時充分聯合各單位開展科技項目合作，加強能源領域傳感器的基礎技術和應用研究，推進我國智能傳感器的國產化進程，為新質生產力發展提供技術引擎。

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