據(jù)麥姆斯咨詢報道，2024年5月24日至26日，中國科學院空天信息創(chuàng)新研究院助理研究員熊興崟（鄒旭東研究員課題組）將參加《第61期“見微知著”培訓課程：慣性傳感器及應用》并進行授課，具體信息如下：
授課主題：MEMS諧振式加速度計及傾角傳感器
授課老師簡介：
熊興崟，博士，中國科學院空天信息創(chuàng)新研究院“傳感技術國家重點實驗室（北方基地）”助理研究員，鄒旭東研究員課題組成員。他本科畢業(yè)于中央民族大學，獲得電子信息工程專業(yè)學士學位，研究生畢業(yè)于中國科學院大學，獲得地球與空間探測技術專業(yè)博士學位。2018年至2021年，在中國科學院空天信息創(chuàng)新研究院“傳感技術國家重點實驗室（北方基地）”從事博士后研究工作，2021年全職加入中國科學院空天信息創(chuàng)新研究院，任助理研究員。他長期從事微機電系統(tǒng)（MEMS）、高精度微慣性傳感器以及微慣性傳感器接口電路等研究工作。自2018年至今，他承擔了國家自然科學基金、國家重點研發(fā)計劃、國防科技創(chuàng)新特區(qū)、中科院“從0到1”原始創(chuàng)新項目等科研項目。研究成果在MEMS傳感器領域內(nèi)著名期刊及國際會議上共發(fā)表論文40余篇，授權發(fā)明專利20余項，曾獲中國發(fā)明協(xié)會發(fā)明創(chuàng)新獎。
中國科學院空天信息創(chuàng)新研究院“傳感器技術重點實驗室”鄒旭東研究員課題組自2016年起專注于MEMS諧振式加速度計、陀螺儀和傾角傳感器的研究，在國家級基金和項目的支持下，成功研發(fā)了高性能的MEMS諧振式加速度計。鄒旭東研究員課題組在這一領域積累了豐富的研究經(jīng)驗并擁有強大的研究團隊，為傾角傳感器和加速度計的研究提供了堅實的理論基礎和技術支持。
授課背景及內(nèi)容：
諧振式加速度計將待測的加速度信號轉(zhuǎn)化為頻率信號，通過檢測諧振器諧振頻率變化來反推外界加速度的大小和方向。諧振式加速度計采用頻率調(diào)制檢測機制，對低頻噪聲不敏感，抗干擾能力強，頻率測量精度高。按照器件的材料特性，諧振式加速度計主要分成硅諧振式和石英諧振式兩大類。與傳統(tǒng)的石英諧振式加速度計相比，采用MEMS技術的硅諧振式加速度計具有以下優(yōu)點：（1）單晶硅的雜質(zhì)濃度極低，是一種比較理想的彈性結(jié)構(gòu)材料；（2）MEMS工藝能夠制造尺寸非常小的諧振器結(jié)構(gòu)，可以有效地隔離其它器件產(chǎn)生的應力；（3）基于電容結(jié)構(gòu)的諧振器的驅(qū)動和檢測在設計上要比壓電石英技術更加靈活。國內(nèi)科研機構(gòu)對于硅諧振式加速度計的研究進展迅速，目前正在向產(chǎn)業(yè)化階段邁進，主要有清華大學、南京理工大學、華中科技大學、浙江大學、中國科學院等。本課程詳解MEMS諧振式加速度計核心技術，從設計與制造到測試與校準，并傳授MEMS諧振式傾角傳感器知識。
課程提綱：
1. 高精度MEMS慣性傳感器概述；
2. MEMS諧振式加速度計設計；
3. MEMS諧振式加速度計制造；
4. MEMS諧振式加速度計測試與校準；
5. MEMS諧振式傾角傳感器；
6. MEMS諧振式加速度計總結(jié)與展望。
培訓詳情：
https://www.memstraining.com/training-61.html
