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隨著全球半導體市場的持續回暖,進入2024年,全球半導體設備市場也將迎來全面的增長,其中中國半導體設備市場規模仍將位居全球第一。根據SEMI預計2024年半導體設備市場銷售額為1,053億美元,同比增長增4%。2025年預計將大幅增長18%至1,240億美元,將超越2022年的1,074億美元,創下歷史新高紀錄。SEMI也指出,截至2025年為止,中國大陸的半導體設備采購額有望持續增長、維持首位。
此前,根據中國電子專用設備工業協會統計,2022年,國內77家規模以上半導體設備制造商銷售收入累計完成593億元,與2021年386億元相比,同比增長53.6%。其中,2022年前十家設備制造商完成銷售收入438億元,占77家合計收入73.9%。目前我國半導體設備及零部件企業的數量也已經超過200家。
同時該協會預測了2023年國產半導體設備銷售收入增長38%左右,將達到817億元。其中,集成電路設備預計增長40%,達到450億元;其次第二大細分板塊太陽能電池片設備預計增長35%,達到310億元。

全球方面,在過去的三年里,全球半導體設備市場經歷了顯著的增長。根據國際半導體產業協會(SEMI)的數據顯示,2021 年全球半導體設備市場規模達到 1026.4 億美元,同比增長 44%;2022 年市場規模進一步增長至 1076 億美元,同比增長 4.8%。
2023年受整個消費電子市場需求下滑的影響,全球半導體市場出現了同比12%的萎縮(IDC數據),眾多的半導體制造商紛紛大幅削減半導體設備的資本支出以控制過多的產能增長,導致2023年全球半導體設備同比下滑6.1%至1,009億美元(SEMI數據),這也是近4年來該市場首度陷入萎縮。

從地區分布來看,亞洲地區一直是全球半導體設備市場的主要增長區域。其中,韓國、中國大陸和中國臺灣是全球前三大半導體設備市場。韓國在存儲器領域的大規模投資推動了其半導體設備市場的快速增長;中國大陸作為全球最大的半導體消費市場,隨著國內半導體產業的崛起,對半導體設備的需求也在不斷增加;中國臺灣則憑借在晶圓代工領域的領先地位,成為全球重要的半導體設備市場。
本土企業乘勢崛起,北方華創新簽訂單超300億
2023年半導體行業仍處于周期底部,盡管有需求強勁的中國市場作為支撐,身為半導體產業鏈“賣鏟人”的全球設備廠商紅利期依舊不再,包括泛林、東京電子、科磊、愛德萬、泰瑞達在內的設備廠商均出現業績下滑。
反觀國內市場,自2020年以來,中國大陸已經成為全球最大半導體設備市場,在國產替代的黃金浪潮推動下,除測試設備外,本土半導體設備廠商業績均呈現出高增長的趨勢,其中不少企業的新增訂單也頗為亮眼。
根據各半導體設備公司公布的財報數據,國內前3大半導體設備供應商分別為:北方華創、中微公司、盛美上海。

其中,北方華創作為國內最大的半導體設備供應商,設備種類較為豐富,市場認可度不斷提高,2023年應用于高端集成電路領域的刻蝕、薄膜、清洗和爐管等數十種工藝裝備實現技術突破和量產應用,新簽訂單超過300億元,其中集成電路領域占比超70%。
排名第二的中微公司2023年營業收入約62.6億元,同比增長約32.1%。其中用于集成電路生產線的CCP和ICP等離子體刻蝕設備是中微公司的主打設備,也是半導體前道核心設備之一,2023年實現營業收入約47億元,同比增長約49.4%。2023年中微公司的新增訂單金額約83.6億元,同比增長約32.3%,其中來自刻蝕設備的新訂單金額約69.5億元,同比增長約60.1%。
排名第三的盛美上海則主要從事半導體清洗設備、半導體電鍍設備、立式爐管設備和先進封裝濕法設備,2023年營收大約為36.5至42.5億元,同比增長27%至45%;預計2024年營業將在50至58億之間。
每一次技術的革新,都將為其所在行業帶來實質性的改變。在工藝技術方面,國產半導體設備廠商在刻蝕、沉積、清洗、涂膠顯影、CMP、離子注入以及測試機、分選機、探針臺等核心工藝環節已取得長足進步,與包括東京電子(Tokyo Electron)、泛林半導體(Lam Research)、應用材料(Applied Materials)等海外傳統廠商形成了初步的技術對標。

以國產半導體設備龍頭大廠北方華創為例,其產品管線布局完整,涵蓋ICP刻蝕、PVD、熱處理、ALD、外延(EPI)、LPCVD、清洗、UV cure、PECVD、CCP刻蝕等工藝等諸多環節。
2023年以來,北方華創相繼推出12英寸晶邊刻蝕機、12英寸去膠機等新產品,同時各類標桿產品相繼達到銷量里程碑(12英寸深硅刻蝕機累計銷量達到100腔,12英寸立式爐累計出廠500臺)。截至三季度末,在刻蝕裝備方面,公司面向12英寸邏輯、存儲、功率、先進封裝等客戶,ICP刻蝕產品出貨累計超過2000腔;應用于提升芯片良率的12英寸CCP晶邊刻蝕機已進入多家生產線驗證。
薄膜裝備方面,突破了物理氣相沉積、化學氣相沉積和原子層沉積等多項核心關鍵技術,廣泛應用于集成電路、功率器件、先進封裝等領域,累計出貨超3000腔,支撐了國內主流客戶的量產應用。立式爐裝備方面,累計出貨超過500臺,憑借優異的量產穩定性獲邏輯、存儲、功率、封裝、襯底材料等領域主流客戶的認可。外延裝備方面,累計出貨近千腔,覆蓋集成電路、功率器件、硅材料、第三代半導體等領域應用需求。清洗裝備方面,擁有單片清洗、槽式清洗兩大技術平臺,主要應用于12英寸集成電路領域。并在多家客戶端實現量產,屢獲重復訂單。
北方華創的產品主要面向國內市場,其客戶客戶均為世界級半導體巨頭。包括但不限于中芯國際、長江存儲、京東方(LCD世界第一)、隆基股份(光伏世界第一)、三安光電(LED世界第一)等。其中半導體的集成電路板塊的主要客戶包括:中芯、華虹、長存、華潤、長鑫等幾乎國內所有主流晶圓廠。完成了對下游客戶的全覆蓋。
國內半導體設備需求占全球約1/3,整體國產化率還有較大提升空間
國產半導體設備進一步發展,還亟需解決關鍵設備國產化率低等。雖然國產半導體設備在諸多領域實現了從0到1的突破,但是關鍵設備、零部件以及滿足特殊工藝生產需求的國產半導體設備依舊缺乏,良率、穩定性等還待進一步提升,在全球半導體設備市場的規模依舊偏小。
以半導體晶圓制造設備為例,當前的國產設備對成熟制程的工藝覆蓋度日趨完善,并積極推進高端制程的工藝突破,產品正處于驗證密集通過、開啟規模化起量的成長階段。

根據SIA數據,2024年中國大陸為全球半導體的最大需求市場,占比約29.5%;但是根據半導體研究機構Knometa Research數據,截至2023年末,中國大陸在全球晶圓生產份額約為19%,其中,來自中國大陸本土企業的份額僅為11%,其余為外資公司在中國大陸建設的產能。且本土制造企業產能多為成熟工藝,先進工藝的占比更小。因此國內半導體產業具有巨大的產能缺口,預計將長期持續擴產,短期加速帶來更多增量。
隨著半導體設備訂單量的增長,國內各半導體晶圓廠擴產預期,預計2024年半導體設備需求增速超20%。但根據中國電子專業設備提供的數據,從2013年至2021年,半導體設備國產化率穩定維持在15%至20%之間,且該比率處于非線性增長區間。
自2022年開始,美國為首的西方國家針對中國半導體產業進行持續的打壓,外部限制之下半導體設備國產化率有望快速提升。而中國國際招標網數據統計顯示,2023年國內半導體設備整體國產率僅為20%左右。截止2024年初仍有不少半導體設備國產化率不超過20%。因此,國產化空間大,未來國產設備有望加速滲透。

專家表示,中國設備產業未來10年,第一步將迎接中國半導體產業對設備投資需求成倍地增長,同時目標將國產化率從平均5%~10%,提升到70%~80%以上甚至更高;第二步中國設備技術能力與國際廠商同臺競技之后,實現打開國門走向世界。
“三霸多強”格局,頭部企業營收占比超60%
全球半導體產業的快速發展使得半導體設備行業面臨著巨大的投資機會。一方面,晶圓制造、封裝測試等環節的產能擴張對半導體設備的需求不斷增加,為半導體設備企業帶來了廣闊的市場空間;另一方面,國家政策的大力支持,以及資本市場的青睞,為半導體設備企業的發展提供了充足的資金支持。
雖然目前半導體設備行業一定程度上受到了國外供應鏈的影響,但同時國產替代進程提速,疊加下游新能源車、風光電伏、5G等產業發展預測,半導體設備行業發展狀況仍然樂觀,且處于起步階段。

半導體設備上游代表上市企業有華亞智能、富創精密。產業鏈中游主要包括光刻機、刻蝕設備、薄膜沉積設備等各類半導體設備,代表上市企業有北方華創、長川科技、至純科技、中微公司等。半導體設備產業鏈下游為半導體制造,包括富樂德、聯動科技、金海通等上市企業。
根據中商產業研究院的數據,2023年,18家半導體設備上市公司營業收入合計507.20億元,歸母凈利潤為97.45億元。其中,一半上市公司的營業收入超十億元,分別為北方華創、中微公司、盛美上海、至純科技、拓荊科技、華海清科、富創精密、長川科技、芯源微。
2024年4 月29 日,北方華創發布了2023 年報和2024 年一季報。公司2023年實現營收220.79 億元,同比增長50.32%;2024 年Q1公司實現營收58.59 億元,同比增長51.36%。
盛美上海今年1月9日公告,2023年營業收入36.5億元-42.5億元,同比增長27.04%-47.93%。綜合近年來的業務發展趨勢,以及目前的訂單等多方面情況,公司預計2024年全年的營業收入將在50億至58億之間。
該公司自主研發的單片兆聲波清洗技術、單片槽式組合清洗技術、電鍍技術、無應力拋光技術和立式爐管技術等,具備國際競爭力。并且其產品也得到眾多國內外主流半導體廠商的認可,包括其主要客戶SK海力士、中芯國際、華虹集團、長江存儲等。
同年3月18日晚間,中微公司發布年度報告稱,2023年實現營業收入為62.64億元,同比增長32.15%;公司實現歸屬于上市公司股東的凈利潤17.86億元,同比增長52.67%。
在業務覆蓋上,中微公司與走“全面路線”的北方華創不同。其半導體的業務相對“專一”,深耕刻蝕機領域,主要產品是介質刻蝕機與MOCVD(金屬有機化合物氣相外延)。客戶也以外企為主,包括長江存儲、歌華電子、臺積電、SK hynix、格羅方德、意法半導體、博世等。
此外,通過對全球半導體設備市場競爭格局的分析可知,位居頭部的營收在百億美金量級的半導體設備龍頭公司,其業務結構基本覆蓋了半導體設備細分市場規模前三大的品類:刻蝕、光刻和沉積。

鑒于此,對于本土半導體設備廠商而言,在光刻、刻蝕和沉積等“大賽道”深入布局的公司,如北方華創、中微公司、盛美上海。其具備更為廣闊的遠期收入空間,在投資領域也更值得關注。
部分資料參考:
1、智通財經《中信證券:24年國內半導體設備市場繼續引領全球 關注新品拓展和先進產能增量》
2、中商產業研究院《2023年中國半導體設備市場規模及國產化率預測分析》
3、芯智訊《回首2023:半導體設備國產化進展如何?》
4、集微網《2023年半導體設備企業營收排行榜出爐,北方華創躋身全球前十!》
5、證券時報網《國產半導體設備嶄露頭角 全年訂單有望穩步增長》
6、中商產業研究院《2024年半導體設備行業上市公司全方位對比分析(企業分布、經營情況、業務布局等)》
7、界面新聞《盛美上海:2023年營收同比增長27.04%-47.93%,預計2024年營業收入50億元-58億元》
8、新浪財經《北方華創(002371)2023年年報2024年一季報點評:營收持續高增 平臺型設備龍頭全面發展》
9、新浪財經《中微公司2023年營收、凈利潤雙增 但合同負債下降超六成》
10、和訊網《深度金選|兩大半導體設備龍頭對決!北方華創遇上勁敵中微,誰更勝一籌?》
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