MEMS慣性傳感器設計與工藝
南京理工大學
1
成果簡介
針對高精度、高性能MEMS加速度計、陀螺儀的全國產化設計與制造需求，在高精度、高性能加速度計、陀螺儀的結構設計、晶圓級制造工藝檢測、先進封裝、專用集成電路等方面開展研究，突破了全自主、全國產中高端MEMS慣性器件流片工藝，核心指標接近甚至部分超越國際主流產品，解決“卡脖子”問題。主要產品及技術參數如下：
1）MEMS陀螺儀：具有<1%地球轉速分辨能力，定向精度優于1°，零偏不穩定性及尋北精度接近以Honeywell HG7930為代表的國際最高水平；
2）MEMS諧振式加速度計：尺寸8.8mm×8.8mm，量程±30g，偏值不穩定性<1μg；通過-40~60℃全溫區、13.8grms隨機振動、150g跌落、3000g沖擊響應譜等模擬環境驗證。零偏與標度穩定性與Honeywell的石英基產品QA3000持平，抗沖擊能力更優。
2
應用領域
無人系統、自動駕駛、高端工業、電子產品等領域。
3
市場前景
MEMS慣性傳感器成果已在多家重點企業加速度計、陀螺儀項目得到應用，并且憑借自身成本、體量、功耗、可靠性等綜合性能進入其他運動感知傳感器市場。預計2023至2026年中國MEMS慣性傳感器行業市場規模年復合增長率將達到11.15%，到2026年能夠增長至362.58億元。目前中高端產品被國外寡頭壟斷，國產替代機會空間豐厚；下游新需求、新應用拉動，中國MEMS慣性傳感器市場增速將領先全球。
4
知識產權
已獲批多項專利，均為成果單位單獨持有。
