據麥姆斯咨詢報道，2024年10月18日至20日，愛發科（蘇州）技術研究開發有限公司研究員龔立強將參加《第66期“見微知著”培訓課程：MEMS制造工藝》并進行授課，具體信息如下：
授課主題：PZT壓電薄膜制備工藝
授課老師簡介：
龔立強，愛發科（蘇州）技術研究開發有限公司研究員，日本新潟大學MEMS專攻碩士學歷，研究領域為壓電MEMS觸覺傳感器。目前，主要工作方向為壓電MEMS及非制冷紅外相關薄膜工藝開發。在高可靠性非制冷紅外材料及外延PZT相關領域有多項技術成果及發明專利。
授課背景及內容：
壓電薄膜沉積技術是實現壓電MEMS傳感器和執行器從概念到產品的重要環節。目前，產業界應用最廣泛的壓電薄膜材料是氮化鋁（AlN）和鋯鈦酸鉛（PZT），其中，PZT壓電薄膜主要制備方法是濺射法（Sputtering）和溶膠-凝膠法（Sol-gel）。以濺射法為例，PZT壓電薄膜器件在硅襯底上形成五層：黏附層、下電極層、緩沖層、壓電（PZT）層和上電極層，上述薄膜層在單晶圓濺射系統中形成，才能保證硅襯底不暴露在大氣中，從而實現壓電MEMS器件的高產量和高可靠性。ULVAC（愛發科）作為全球領先的PZT薄膜量產設備廠商，已積累了豐富的產業經驗，并為我國多條MEMS中試線和代工廠提供制造設備和技術支持。在本課程中，老師將為學員分享PZT薄膜制備方法、常見問題和解決方案，并結合典型壓電MEMS器件講解制造工藝流程。
課程提綱：
1. PZT壓電薄膜材料特性分析；
2. PZT壓電薄膜制備方法：溶膠凝膠法 vs. 濺射法；
3. 濺射法壓電薄膜工藝設備及參數控制、常見問題和解決方案；
4. 高可靠性PZT壓電薄膜量產技術；
5. 基于PZT壓電薄膜的典型器件（如超聲波換能器、噴墨打印頭、麥克風、揚聲器等）制造工藝流程。
培訓詳情：
https://www.memstraining.com/training-66.html
