安徽省MEMS技術產業創新研究院
產研院實行理事會領導下的院長和專家委員會負責制，下設業務部門、管理部門和秘書處等3個職能部門。業務部門下設設計研發技術部、工藝制造技術部、組裝封裝技術部、測試標定技術部、篩選試驗及可靠性技術部；管理部門下設綜合管理辦公室、產業創新推進辦公室、財務管理部。滿足MEMS產研院的科研、產業轉化、人才培養、質量管理、行政及財務、信息技術管理、市場推廣與公關、國際合作與交流、戰略規劃與發展等方面的需求。
產研院聚焦安徽省智能汽車、智能裝備、智慧醫療、智慧城市等人工智能產業發展對MEMS器件與微系統的迫切需求，建設集技術創新、成果轉化、產業孵化、技術服務、人才交流培養、產業化協同為一體的綜合性創新平臺，聚力解決MEMS共性關鍵技術瓶頸，奮力提升全省MEMS技術研制水平和產業化水平。聚焦慣性、壓力、氣體、聲學、光電、多參數感知等核心MEMS傳感器與微系統專業領域，通過聯合業界知名高校、研究所、企業開展傳感器研發設計、關鍵技術攻關、成果轉化、行業服務、人才培養、國際合作，實現產學研協同創新。
產研院在建設期間牽頭承擔科技部國家重點研發計劃“基礎科學條件與重大科學儀器設備研發”專項的電容式微機械超聲波換能陣列項目、“制造基礎技術與關鍵部件”專項的動力電池組控制安全傳感器開發及示范應用項目及“智能傳感器”專項的MEMS超聲換能器元件及傳感器項目等，參與國家智能傳感器12項重點研發計劃關鍵技術攻關，承擔省級科技攻關項和產業攻關項目8項，自主立項項目20項，授權發明專利32項、主持制定國家標準8項、新引進培養博士高層次人才26人。這些科技創新工作的開展，使產研院始終保持MEMS技術科技創新走在國內發展前列，為產業化發展打下良好基礎。
產研院擁有為行業發展提供戰略咨詢、共性技術、中試服務、生產制造、檢驗檢測、成果應用等服務的能力。
（1）擁有微納加工與傳感測試技術研究平臺，配備了完善的MEMS芯片加工與檢測設備，具有完備的MEMS/NEMS器件設計、加工和檢測能力，可以為行業發展提供有力的軟、硬件、人才資源支持，是MEMS前沿技術成果孵化培育基地。
（3）擁有先進的MEMS芯片產業化平臺，具有先進的工藝制程、工藝制造能力、產能匹配等優勢，可為MEMS智能傳感器核心器件提供大批量、低成本、高可靠代工與技術服務。
（4）具備傳感器器件與微系統檢驗驗證平臺，擁有為各類型從事汽車、工業裝備高性能精密傳感器提供試用和檢驗平臺。能夠提供傳感器科技成果轉化為符合市場需求的產品或服務，提升傳感器科技創新成果的商業化應用的能力。
產研院由安徽北方微電子研究院集團有限公司牽頭，成功引進了華東光電集成器件研究所、安徽華鑫微納集成電路有限公司、西安交通大學、合肥工業大學、安徽大學、蚌埠學院、安徽天康（集團）股份有限公司、安徽博泰微電子有限公司，安徽奧飛聲學科技有限公司等多家高校科研院所、上下游企業的資深專家和一流科研團隊，目前固定人員數量143人，其中碩博及正高級工程師以上科研技術人員共128人，占比90%，成果轉化人員15人。產研院整合5家企業、4所高校及1家科研院所10家單位人才優勢力量，形成一支以MEMS器件與微系統方向為核心，涵蓋MEMS器件與微系統設計、工藝制造、組封裝、測試、可靠性分析和產品應用驗證全鏈條的科研人才隊伍，其中國家級領軍人才6名、行業和省級領軍人才15名。
1. 全國產化自主可控的高性能MEMS工藝平臺與技術體系
針對MEMS領域自主可控需求，建立了國內領先、國際先進的6/8英寸體硅MEMS工藝技術平臺，平臺提供高度開放化與客制化工藝服務，依托先進的技術平臺，開發了4套對標國際先進且全自主可控的MEMS工藝技術體系，形成了國內唯一且最多的標準化的MEMS工藝技術體系，垂直全不等高梳齒、高真空度晶圓級封裝、多層硅硅直接堆疊鍵合、多層復合薄膜盈利匹配等關鍵工藝技術達到國際先進水平，工藝體系可服務于慣性MEMS、光MEMS、環境感知MEMS、微系統集成等領域，有效支撐了我國自主可控高性能MEMS智能傳感器核心器件的研制，打通高性能MEMS制造關鍵環節，實現產業鏈制造端全自主可控，提升MEMS產業鏈安全韌性。
2. 導航級高性能MEMS陀螺儀
3.?超高精度MEMS諧振式壓力傳感器
為解決航空航天高端裝備、石油化工、高端工業測控等惡劣環境領域氣壓、油壓檢測需求，產研院核心團隊自主研發了超高精度諧振式壓力傳感器，性能指標達到滿量程精度小于0.02%FS，量程范圍110kPa-50MPa，性能水平國內第一，實現完全自主可控，打破了西方對我國超高精度壓力傳感器領域技術封鎖，系列產品廣泛應用于航空航天、醫療器械、氣象環境監測等領域，助推安徽省低空經濟、人工智能等領域戰略發展需求。
4.?形成“科研產業一體化”的MEMS產業基地，打造中國（蚌埠）傳感谷產業集群
產研院依托全自主可控的6英寸MEMS研發平臺、8英寸量產平臺“鏈核”地位，發揮紐帶作用，聚集了多家智能傳感器上下游高校、科研院所、頭部企業等優勢機構，打通智能傳感器研發設計、晶圓制造、封裝測試、集成應用全產業鏈關鍵“堵點”，形成了國內MEMS智能傳感器唯一“研產合一”的產業化平臺，形成了集聚效應，并以此契機融入安徽省人工智能“三谷”之一的中國（蚌埠）傳感谷的發展。致力于成為全國自主可控芯體最多，智能傳感器種類最全的創新高地與產業基地，全力打造以高端MEMS傳感器芯片國產化為核心的微納制造產業集群，帶動智能傳感器產業集群發展，有效地促進了產業鏈上下游協同創新、融合發展，培育和發展了智能傳感器新質生產力。
產研院積極響應國家戰略需求，打破美西方MEMS核心技術封鎖，提升自主創新能力，從而建設集技術創新、成果轉化、產業孵化、技術服務、人才交流培養、產業化協同為一體的綜合性創新平臺。誠摯邀請MEMS產業相關高校及上下游企業的資深專家及技術團隊與我院聯系，洽談合作相關事項，推動8英寸微系統集成與量產線建設。熱烈歡迎智能傳感器上下游優勢機構與技術團隊共開展技術攻關與產品孵化工作，特別在醫用超聲診療核心器件超聲換能器開展研發與產業化攻關，車用智能傳感器的集成應用，腦機接口芯片、系統及集成應用以及3D微系統集成應用領域開展合作，為早日實現MEMS智能傳感器自主可控芯體最多、品種最齊全產業集聚地貢獻微納力量。
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