面向電-光神經(jīng)接口的透明超薄金μECoG電極陣列

MEMS 2025-05-08 00:01

透明電-光神經(jīng)接口技術能夠同時實現(xiàn)高空間分辨率的顯微成像以及高時間分辨率的電記錄與刺激。然而,制造具有出色電化學性能的透明、柔性和機械性能穩(wěn)定的神經(jīng)電極仍面臨挑戰(zhàn)。

據(jù)麥姆斯咨詢報道,近日,韓國大邱慶北科學技術院(DGIST)、首爾大學(Seoul National University)和澳大利亞新南威爾士大學(UNSW Sydney)等機構的研究人員組成的團隊使用六邊形金屬-聚合物配體與EDTA/PSS種子層鍵合,制備了透明(波長為570 nm時透射率達到72.7%)、機械性能穩(wěn)定(50k彎曲循環(huán)后電阻變化為0.05%)的超薄金(Au)微電極陣列(圖1a),用于微皮層腦電圖(μECoG)。這些透明的μECoG電極陣列由生物相容性金制成,具有出色的電化學性能(0.73?Ω·cm2),可長期穩(wěn)定地記錄和刺激神經(jīng)。研究人員進行了體內(nèi)腦表面波記錄,在急性和兩周的記錄中保持了低基線噪聲和高信噪比(SNR)。此外,研究人員還在激光功率密度為7.32?mW/mm2的條件下成功地進行了無光誘導偽影的光遺傳調(diào)控(圖1c)。該方法在數(shù)字醫(yī)療系統(tǒng)中的可擴展植入式神經(jīng)電極和可穿戴光電設備方面展現(xiàn)出巨大潛力。上述研究成果以“Hexagonal metal complex based mechanically robust transparent ultrathin gold μECoG for electro-optical neural interfaces”為題發(fā)表于npj Flexible Electronics期刊。


圖1 應用于電-光神經(jīng)接口的基于EDTA/PSS聚合物種子層的超薄金μECoG電極陣列示意圖

利用金與乙二胺四乙酸/聚苯乙烯磺酸鹽(EDTA/PSS)種子層之間的強六邊形鍵合,研究人員成功制備了超薄金電極(圖2a)。當研究人員在未涂覆該聚合物種子層的柔性PEN襯底上沉積8 nm厚的金時,金會形成不導電的孤立的島狀結(jié)構(圖2c)。然而,當PEN襯底上預先涂覆有EDTA/PSS時,同樣厚度(8 nm)的金能夠形成具有較少晶界的連續(xù)薄膜,從而展現(xiàn)出優(yōu)異的導電性能(圖2d)。金薄膜的透射率會隨著其6–15?nm厚度不同而變化(圖2g)。不同厚度超薄金薄膜的電-光性能表現(xiàn)出薄片電阻與透射率之間的權衡關系(圖2h)。最終,研究人員選定8 nm為最優(yōu)厚度,其在530?nm波長下具有73%的透射率和8?Ω/sq的薄片電阻。


圖2 基于EDTA/PSS種子層的透明導電超薄金薄膜

為了將所制備的8 nm Au/(EDTA/PSS)/PEN薄膜應用于體內(nèi)神經(jīng)記錄,研究人員通過進行應力分析、拉伸應變?nèi)嵝詼y試和循環(huán)彎曲試驗驗證了超薄金薄膜的機械性能的穩(wěn)定性(圖3)。


圖3 透明超薄金薄膜的機械性能的穩(wěn)定性

研究人員以預先表征的8 nm Au/(EDTA/PSS)/PEN超薄薄膜為基礎,制備了兩種版本的透明16通道μECoG電極陣列,用于記錄腦表面的局部場電位(LFP)。首先,基于8 nm Au/(EDTA/PSS)結(jié)構制備了直徑為100 μm的僅含金材料的超薄μECoG電極陣列。其次,為了在保持光學透明的同時進一步提升電化學特性,研究人員在8 nm Au/(EDTA/PSS) μECoG陣列的16個微電極上采用噴墨打印技術印刷了透明的導電聚合物PEDOT:PSS(圖4a和4b)。

研究人員對上述兩種版本μECoG電極陣列的電化學特性進行了表征。結(jié)果表明,500?nm PEDOT:PSS/8?nm Au/(EDTA/PSS) μECoG在提供光學透明的同時仍然屬于性能最好的一組。


圖4 μECoG電極陣列的電化學特性

利用體內(nèi)腦記錄信號進行波形分析對于預測和分析動物對外部刺激和神經(jīng)系統(tǒng)疾?。ㄈ绨柎暮D习Y和帕金森氏癥)的行為反應非常重要。為了測試使用經(jīng)過優(yōu)化的透明、柔性、超薄金μECoG電極的可行性,研究人員進行了體內(nèi)腦表面記錄。他們將透明的500 nm PEDOT:PSS/8 nm Au/(EDTA/PSS) μECoG電極陣列放置在小鼠大腦的頂葉皮層上,然后記錄皮層表面信號,同時對μECoG電極陣列下方的腦血管進行光學成像(圖5a)。相比之下,使用不透明的200 nm鉑μECoG電極陣列無法進行光學成像(圖5b)。將μECoG電極陣列與商用電生理記錄系統(tǒng)集成后,研究人員比較了兩種μECoG電極陣列的阻抗,在100 Hz和1 kHz頻率下,8 nm Au/(EDTA/PSS)和500 nm PEDOT:PSS/8 nm Au/(EDTA/PSS) μECoG電極陣列的單位面積歸一化阻抗分別比200 nm鉑μECoG電極陣列低3.4倍和75.3倍(圖5c)。


圖5 μECoG電極陣列體內(nèi)腦皮層記錄

接下來,研究人員通過彩色映射功率譜密度(PSD)對500?nm PEDOT:PSS/8?nm Au/(EDTA/PSS) μECoG電極陣列和200?nm鉑μECoG電極陣列記錄的信號進行了分析。在進行為期60秒的體內(nèi)記錄過程中,兩種μECoG電極陣列均檢測到了400至800 μV的自發(fā)峰-峰值信號,并展現(xiàn)出優(yōu)異的信噪比(約43.28?dB)。

為了驗證透明μECoG電極陣列在體內(nèi)的長期穩(wěn)定性和記錄性能,研究人員使用透明和不透明的μECoG電極陣列進行了為期2周的記錄實驗(圖5g)。結(jié)果表明,兩種μECoG電極陣列都顯示出穩(wěn)定的腦電波記錄性能,即使在2周后,均方根(RMS)噪聲水平的下降也非常小。

最后,研究人員使用透明μECoG電極陣列對轉(zhuǎn)基因小鼠進行了光遺傳調(diào)控實驗,證實其具有無光誘導偽影的優(yōu)勢。

綜上所述,通過在EDTA/PSS與超薄8 nm金薄膜之間引入六邊形化學鍵合,這項研究成功制備了柔性、透明、導電且機械性能穩(wěn)定的超薄金μECoG電極陣列。在μECoG接口上直接噴墨打印PEDOT:PSS之后,μECoG電極的阻抗性能及其在水溶液中的長期穩(wěn)定性得到了有效提升,同時保持了光學透明。該μECoG電極成功地記錄了大腦皮層表面的神經(jīng)信號,其波形與商用的200 nm鉑μECoG電極相似,并展現(xiàn)出高信噪比和良好的長期穩(wěn)定性(兩周的記錄過程)。最后,研究人員使用轉(zhuǎn)基因小鼠進行了光遺傳調(diào)控實驗。與不透明電極相比,該透明μECoG電極在相同的激光功率密度下實現(xiàn)了更高效的光遺傳刺激效果,且未產(chǎn)生光誘導偽影。通過簡便的晶圓級制造工藝,8 nm超薄金電極陣列有望成為柔性透明生物電子器件(例如植入式神經(jīng)探針)的核心技術,并可擴展至柔性透明光電子器件。

論文鏈接:
https://doi.org/10.1038/s41528-025-00403-w

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