據麥姆斯咨詢報道，2025年8月22日至8月24日，中山大學教授李楊將參加《第73期“見微知著”培訓課程：薄膜鈮酸鋰技術及光子學器件》并進行授課，具體信息如下：
授課主題：集成鈮酸鋰光子學：從通信到精密測量
授課老師簡介：
李楊，博士，中山大學電子與信息工程學院教授、博士生導師、國家級青年人才。2012年博士畢業于美國愛荷華州立大學，2013至2018年在哈佛大學任博士后研究員，隨后在清華大學精密儀器系任副教授，2025年入職中山大學電子與信息工程學院。他主要致力于基于集成光學的精密測量研究，在Nature Photonics、Nature Communications、Advanced Materials、eLight、Light: Science & Applications、Optica等高影響力期刊發表論文數篇，7次被選為封面故事，1篇入選ESI熱點論文，2篇入選ESI高被引論文，SCI單篇最高他引260余次。他曾獲清華大學優秀班主任一等獎、IEEE Transactions on Antennas and Propagation期刊青年最佳論文提名獎、IEEE天線與傳播學會博士研究獎等榮譽。
授課背景及內容：
鈮酸鋰晶體因其在400 nm至5 μm波段具有低吸收損耗、高折射率、大電光系數、高化學和熱穩定性，被廣泛應用于光纖通信系統的電光調制器。近年來，絕緣體上薄膜鈮酸鋰（LNOI）及其脊波導的微納加工技術取得了巨大突破，從而實現了半波電壓長度積低至~1V·cm、3 dB帶寬超過100 GHz的高性能集成電光調制器，以及重頻可調諧的集成鈮酸鋰電光頻率梳。在此基礎上，中山大學李楊教授團隊取得了一系列研究進展：（1）基于集成鈮酸鋰電光頻率梳，實現了無模糊距離、精度可達百微米量級、刷新率可達兆赫茲量級的絕對距離測量系統；（2）基于集成鈮酸鋰電光相位調制器，實現了16通道光學相控陣（OPA）及在24° × 8°視場內的二維掃描。此外，為了實現高品質、低成本集成鈮酸鋰光子學器件的量產，李楊教授團隊還自主研發了基于濕法刻蝕的薄膜鈮酸鋰微納加工技術，實現了固有品質因數超千萬的微環腔。本課程首先概述集成鈮酸鋰光子學，然后介紹薄膜鈮酸鋰微納加工工藝，詳解集成鈮酸鋰電光調制器及其精密測量應用（距離測量和頻率測量），最后講授集成鈮酸鋰光學相控陣技術及應用。
基于光學微腔的鈮酸鋰片上電光頻率梳
薄膜鈮酸鋰晶圓濕法刻蝕工藝流程
濕法刻蝕后TFLNOI脊波導截面（未去除掩模）掃描電鏡圖
課程提綱：
1. 集成鈮酸鋰光子學概述；
2. 基于濕法刻蝕的薄膜鈮酸鋰微納加工工藝；
3. 集成鈮酸鋰電光調制器；
4. 基于集成鈮酸鋰電光頻梳的精密測距；
5. 基于集成鈮酸鋰電光頻梳的精密動態頻率測量；
6. 集成鈮酸鋰光學相控陣。
培訓詳情：
https://www.memstraining.com/training-73.html
