據麥姆斯咨詢報道，2025年11月21日至11月23日，愛發科（蘇州）技術研究開發有限公司研究員龔立強將參加《第75期“見微知著”培訓課程：壓電材料制備及壓電MEMS器件》并進行授課，具體信息如下：
授課主題：PZT壓電薄膜制備工藝
授課老師簡介：
龔立強，愛發科（蘇州）技術研究開發有限公司研究員，日本新潟大學MEMS專攻碩士學歷，研究領域為壓電MEMS觸覺傳感器。他目前是愛發科MEMS薄膜團隊負責人，深耕半導體薄膜制造多年，憑借對半導體物理與設備工藝的深刻理解，成功構建覆蓋設備調試、工藝開發到量產導入的全流程技術體系，在高可靠性非制冷紅外材料及外延PZT薄膜相關領域累計攻克多項關鍵技術瓶頸并取得多項技術成果及發明專利；未來將持續聚焦壓電MEMS方向，帶領團隊致力于新材料、新工藝、新設備方向的研發，為壓電MEMS產業蓬勃發展注入新動力。
授課背景及內容：
壓電薄膜沉積技術是實現壓電MEMS傳感器和執行器從概念到產品的關鍵環節。目前，MEMS產業界應用最廣泛的壓電薄膜材料是氮化鋁（AlN）/氮化鋁鈧（AlScN）、鋯鈦酸鉛（PZT）、聚偏氟乙烯（PVDF），其中，PZT最受MEMS執行器的青睞。PZT壓電薄膜主要制備方法是濺射法（Sputtering）和溶膠-凝膠法（Sol-gel）。以濺射法為例，PZT壓電薄膜器件在硅襯底上形成五層：黏附層、下電極層、緩沖層、壓電（PZT）層和上電極層，上述薄膜層在單晶圓濺射系統中形成，才能保證硅襯底不暴露在大氣中，從而實現壓電MEMS器件的高產量和高可靠性。愛發科（ULVAC）作為全球領先的PZT壓電薄膜量產設備廠商，與意法半導體（ST）、新加坡科技研究局微電子研究所合作建立了“Lab-in-Fab”模式，積累了豐富的產業經驗，并為我國多條MEMS中試平臺和量產代工廠提供制造設備和技術支持。在本課程中，愛發科龔立強研究員將為學員們講解PZT壓電薄膜制備方法、常見問題和解決方案，并結合典型壓電MEMS器件講解制造工藝流程。
PZT壓電薄膜在執行器和換能器領域的應用
溶膠-凝膠法（Sol-gel）vs. 濺射法（Sputtering）
基于PZT壓電薄膜的MEMS微鏡制造工藝流程示例
課程提綱：
1. PZT壓電薄膜材料特性分析；
2. PZT壓電薄膜制備方法：溶膠凝膠法vs.濺射法；
3. 濺射法壓電薄膜工藝設備及參數控制、常見問題和解決方案；
4. 高可靠性PZT壓電薄膜量產技術；
5. 基于PZT壓電薄膜的典型器件（例如MEMS超聲換能器、噴墨打印頭、麥克風、揚聲器等）制造工藝流程。
培訓詳情：
https://www.memstraining.com/training-75.html
延伸閱讀：
《壓電MEMS技術及市場-2025版》
《壓電MEMS傳感器和執行器對比分析-2025版》
