據麥姆斯咨詢報道，2026年3月27日至3月29日，魯汶大學高級研究員王晨將參加《第77期“見微知著”培訓課程：MEMS慣性傳感器技術》并進行授課，具體信息如下：
授課主題：MEMS慣性傳感器及接口電路
授課老師簡介：
王晨，博士，現任比利時魯汶大學（KU Leuven）微納系統研究組高級研究員。他于2013年6月在安徽大學獲得學士學位，2018年6月在浙江大學取得博士學位，2021年10月在比利時列日大學（University of Liège）獲得第二個博士學位，兩篇博士學位論文分別聚焦光學、微機電系統（MEMS）領域，研究內容與成果相互獨立。他的主要研究方向包括MEMS設計與優化、MEMS器件閉環控制系統、MEMS壓力傳感器、MEMS慣性傳感器、紅外傳感器和諧振器等。截至目前，他已發表期刊論文56篇（其中光學領域14篇、MEMS領域42篇）、會議論文62篇，獲授權專利8項；近四年累計主持或承擔各類科研項目經費超150萬歐元。他曾榮獲美國國際光學工程學會（SPIE）卓越研究獎、2014年日本IMEKO國際會議最佳報告獎、2018年MEMS設計競賽三等獎、華為歐洲芯片設計大賽二等獎，并入圍2022年IEEE MEMS、2024年UFFC-JS最佳論文獎。他擔任2025/2026 IEEE MEMS、2025 Transducer、2020 IEEE Sensors、2022 Eurosensors等多個國際頂級MEMS會議技術程序委員會委員，同時擔任2025 Transducer會議分會主席，并應邀在新加坡A*STAR、澳門大學、北京大學及中國科學院上海微系統與信息技術研究所、中國科學院微電子研究所等多家單位做特邀學術報告。
授課背景及內容：
MEMS慣性傳感器工作原理基于微機械結構在慣性作用下產生的可測物理量變化，再通過電容、壓阻、壓電或光學等換能方式轉化為電信號，最終實現對加速度或角速度的測量。就系統本質而言，MEMS慣性傳感器是一個“機-電耦合的動態系統”，其性能由機械結構參數（質量、剛度、阻尼）與接口電路協同決定。電容式MEMS慣性傳感器的檢測模式包括開環與閉環兩大類：（1）開環檢測優點是電路簡單、功耗低，適用于消費電子領域；（2）閉環檢測優點是線性度高、動態范圍大、抗沖擊能力強，適用于工業及慣性導航領域。當前，MEMS慣性傳感器技術發展趨勢已由“單純機械結構設計”轉向“機電深度協同設計”。機電Σ-Δ調制架構成為高性能MEMS慣性傳感器的核心技術路線，其階數提升、帶通設計與閉環靜電力反饋技術共同推動精度向導航級邁進。本課程詳細闡述電容式MEMS慣性傳感器技術，深入講解傳感器接口電路知識，探討如何通過實施先進的控制算法和智能接口來增強MEMS慣性傳感器的性能和功能。
基于機電Σ-Δ調制架構的MEMS陀螺儀示例
課程提綱：
1. MEMS慣性傳感器的敏感機理；
2. MEMS慣性傳感器的檢測模式：開環與閉環；
3. MEMS慣性傳感器的靜電力反饋；
4. MEMS慣性傳感器的接口電路：機電Σ-Δ調制器；
5. 二階機電Σ-Δ調制器；
6. 高階機電Σ-Δ調制器；
7. 用于MEMS陀螺儀的帶通Σ-Δ調制器；
8. MEMS慣性傳感器優化。
培訓詳情：
https://www.memstraining.com/training-77.html
《下一代MEMS技術及市場-2025版》
《博世AI智能慣性傳感器BHI360產品分析》
《汽車級MEMS慣性傳感器對比分析-2025版》
《汽車級MEMS慣性測量單元（IMU）產品對比分析-2024版》
