項(xiàng)目名稱：高精度硅微諧振式加速度計(jì)
項(xiàng)目簡(jiǎn)介：
硅微諧振式加速度計(jì)屬于先進(jìn)微納傳感器技術(shù)領(lǐng)域，以其高精度，大動(dòng)態(tài)范圍，準(zhǔn)數(shù)字化輸出等優(yōu)點(diǎn)，成為新一代高性能MEMS加速度計(jì)技術(shù)發(fā)展方向。由于較高的工藝復(fù)雜度和接口電路設(shè)計(jì)難度，目前國(guó)內(nèi)外鮮有相關(guān)產(chǎn)品，2022年美國(guó)霍尼韋爾公司最新推出了MV60型硅諧振式加速度計(jì)，其關(guān)鍵指標(biāo)屬于禁運(yùn)范疇。
在國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃等項(xiàng)目的支持下，中國(guó)科學(xué)院空天信息創(chuàng)新研究院（簡(jiǎn)稱：中科院空天院）實(shí)現(xiàn)了高精度加速度計(jì)MEMS芯片與接口電路ASIC芯片設(shè)計(jì)制造的完全自主可控，傳感器綜合指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平：動(dòng)態(tài)范圍>130dB，帶寬 >400Hz，分辨率<10??g/√Hz，零偏<10??g。該款高精度硅微諧振式加速度計(jì)可用于慣性導(dǎo)航系統(tǒng)、高精度傾角與振動(dòng)測(cè)量等領(lǐng)域。
硅微諧振式加速度計(jì)MEMS芯片
全國(guó)產(chǎn)化6英寸晶圓級(jí)真空封裝MEMS加速度計(jì)晶圓
自主設(shè)計(jì)的MEMS加速度計(jì)接口電路ASIC芯片
