
隨著傳統硅基晶體管逐漸逼近物理極限,面向2納米及以下工藝節點的新型器件成為全球半導體領域競爭的焦點。其中,互補場效應晶體管(Complementary FET,CFET)因能夠將N型和P型晶體管進行垂直堆疊,在相同芯片面積下進一步提升晶體管密度,被國際器件與系統路線圖(IRDS)列為后FinFET、GAAFET時代的重要器件架構,也是未來2 nm以下先進制程的重要技術方向。
近日,北京大學電子學院梁學磊教授團隊在這一前沿領域取得突破性進展,成功研制出全球首個基于全碳納米管(Carbon Nanotube,CNT)的互補場效應晶體管(CFET)數字邏輯電路,填補了國際上碳納米管CFET器件及電路研究的空白,為后硅時代高密度三維集成和新型計算架構提供了新的技術路徑。

近年來,隨著硅基MOSFET尺寸不斷縮小,器件性能提升逐漸受到短溝道效應、功耗增加以及制造復雜度提升等問題制約,學術界和產業界開始積極探索新的溝道材料。
碳納米管因具有超高載流子遷移率、接近彈道輸運能力、優異的電學性能以及低溫制造兼容性,被認為是最具潛力的后硅溝道材料之一。同時,碳納米管能夠采用較低溫度制備,更適合實現多層三維集成,這也是未來CFET架構的重要優勢。
不過,盡管近年來碳納米管晶體管、邏輯電路和環形振蕩器等研究不斷取得進展,真正基于碳納米管構建CFET器件與數字電路此前始終未能實現,成為國際研究中的一項重要空白。
實現全碳納米管CFET,最大的難點來自上下兩層晶體管的一致性控制。
一方面,碳納米管P型與N型晶體管長期存在驅動能力不匹配的問題,難以構建性能均衡的CMOS電路;另一方面,在制造上層器件過程中,高溫工藝容易影響底層器件性能,使整體電路性能下降。
針對上述挑戰,梁學磊團隊提出了無摻雜CMOS(Doping-Free CMOS)設計策略,通過優化器件結構設計,使頂層N型場效應晶體管和底層P型場效應晶體管在保持相同占位面積的情況下,實現了驅動能力的高度匹配,并有效避免了制造過程中對底層器件性能的影響。
基于這一設計,研究團隊成功制備出全碳納米管CFET反相器。測試結果顯示,該器件在0.2 V至1 V寬工作電壓范圍內均表現出優異的軌到軌(Rail-to-Rail)傳輸特性,同時具備低功耗優勢。
其中,在1 V工作電壓下,器件峰值電壓增益達到164,刷新了目前公開報道中低維半導體CFET反相器的最高紀錄,表明該器件已經具備構建復雜數字邏輯系統的能力。
在實現高性能CFET器件基礎上,團隊進一步驗證了該架構在數字電路中的應用能力。
研究人員成功構建了包括或非門(NOR)、或門(OR)、與非門(NAND)、與門(AND)等基礎邏輯單元,以及四晶體管靜態隨機存儲器(4T SRAM)單元。
更具代表性的是,團隊還首次實現了全球首個基于全碳納米管CFET架構的五級環形振蕩器(Ring Oscillator),標志著該技術已從單個器件邁向完整數字邏輯系統,為未來復雜集成電路的發展奠定了基礎。
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