來源：中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會MEMS分會
蘇州求是未來微系統(tǒng)技術(shù)有限公司（簡稱：求是未來）作為一家聚焦MEMS傳感器研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化的創(chuàng)新企業(yè)，求是未來圍繞MEMS慣性傳感器、紅外熱電堆傳感器和氣體傳感器等方向持續(xù)布局，逐步構(gòu)建起從MEMS芯片設(shè)計到模組及算法開發(fā)的自主研發(fā)體系。近日，中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會MEMS分會走進求是未來，并就國產(chǎn)替代、核心技術(shù)創(chuàng)新以及公司發(fā)展規(guī)劃等話題與相關(guān)負(fù)責(zé)人進行了深入交流。
問：面對新興市場需求，求是未來的MEMS慣性傳感器產(chǎn)品具備哪些競爭優(yōu)勢？
求是未來：在人形機器人、低速無人駕駛、光電吊艙等關(guān)鍵賽道，高端慣性傳感器是兼具高價值與高技術(shù)壁壘的核心零部件，這一市場長期被海外大廠壟斷。為填補國內(nèi)產(chǎn)業(yè)空白，求是未來經(jīng)過不斷的攻堅克難，已形成完整MEMS慣性傳感器產(chǎn)品矩陣。
在高端慣性傳感器賽道上，我們一直走的是全棧自研路線，從MEMS結(jié)構(gòu)設(shè)計、工藝開發(fā)，到封測和自動化標(biāo)定，全套技術(shù)體系都是自己的。我們一開始就瞄準(zhǔn)了工業(yè)級和高精度兩個硬核場景。具體可以直接看數(shù)據(jù)和實際對標(biāo)結(jié)果：
1. 在芯片級：求是未來的高精度MEMS單軸陀螺儀芯片XHG-20000，量程達(dá)到±1800°/s，零偏穩(wěn)定性低至<5°/h，抗沖擊達(dá)到了驚人的10000g。
2. 在模組級：面向人形機器人和智能駕駛等高動態(tài)檢測需求，求是未來的IX-S10、IX-S20等產(chǎn)品均實現(xiàn)了1000Hz的高刷新率，零偏不穩(wěn)定性突破至<1.4°/h。而在更高階的模組上，零偏不穩(wěn)定性進一步壓低到了＜0.5°/h的水準(zhǔn)。
過去，國內(nèi)很多工業(yè)機器人在遇到復(fù)雜的振動和高過載環(huán)境時，國產(chǎn)MEMS IMU極易出現(xiàn)數(shù)據(jù)漂移甚至死機，求是未來通過自研的“多芯片融合陣列技術(shù)”和“專屬導(dǎo)航處理IP工程優(yōu)化”，在算法端就能精準(zhǔn)識別并補償異常數(shù)據(jù)。這讓我們在對供應(yīng)鏈安全性要求極高的工業(yè)場景中，成功實現(xiàn)了深層的國產(chǎn)化替代。
問：如何看待紅外熱電堆傳感器和氣體傳感器市場的發(fā)展前景？
求是未來：隨著智能家居、汽車電子以及工業(yè)智能化的發(fā)展，市場對于非接觸式溫度感知和紅外感知的需求持續(xù)增長。我們認(rèn)為，這兩種產(chǎn)品將逐步向智能感知器件演進，在智慧家電、智能座艙、工業(yè)監(jiān)測等領(lǐng)域擁有廣闊應(yīng)用空間。
紅外熱電堆傳感器領(lǐng)域：我們目前主打的產(chǎn)品已經(jīng)實現(xiàn)穩(wěn)健量產(chǎn)，其核心技術(shù)在于成熟的紅外AI算法、MEMS陣列與IC集成、自主研發(fā)的生產(chǎn)和封測能力，直接決定了紅外熱電堆傳感器的溫感靈敏度。由于我們具備自己的晶圓加工和封測平臺，能夠在寬溫域內(nèi)把噪聲等效溫差穩(wěn)定控制在120mK@1Hz。同時，產(chǎn)品芯片電路內(nèi)置溫度映射算法，使TO封裝的傳感器可以直接輸出數(shù)字的目標(biāo)溫度值。未來，在智能家電、汽車部件溫度監(jiān)控、智能穿戴等場景中，不再需要依賴昂貴的海外進口紅外探測器。
氣體傳感器領(lǐng)域：傳統(tǒng)的NDIR紅外CO2傳感器因為光程要求和光學(xué)氣室結(jié)構(gòu)的原因，體積大且易受環(huán)境溫度的影響。我們沿著光聲光譜技術(shù)路線，通過自研MEMS黑體作為光源，并采用MEMS麥克風(fēng)來檢測聲壓，將整體尺寸壓縮到極限的區(qū)間范圍。這不僅徹底打破了海外大廠在微型光聲光譜傳感器上的壟斷，還讓我們能夠把精度做到國際先進水平。今年下半年公司還將推出一系列更符合市場未來需求的氣體傳感器，全面筑牢國內(nèi)在環(huán)保與新能源安全監(jiān)測領(lǐng)域的硬件防線。
問：求是未來在質(zhì)量管理和體系認(rèn)證上有怎樣的實際行動？
求是未來：我們一直以“行勝于言”來要求整個生產(chǎn)體系。我們認(rèn)為，MEMS傳感器產(chǎn)品最終還是要靠質(zhì)量和可靠性說話。為此，公司建立了覆蓋研發(fā)、生產(chǎn)、測試和交付全過程的質(zhì)量管理體系，目前已經(jīng)通過ISO9001、IATF16949、GJB9001C等體系認(rèn)證。在產(chǎn)品開發(fā)過程中，我們會開展高低溫循環(huán)、高溫存儲、壽命測試等可靠性驗證，確保產(chǎn)品能夠滿足工業(yè)、機器人等應(yīng)用場景對長期穩(wěn)定運行的要求。對于MEMS產(chǎn)品而言，性能指標(biāo)固然重要，但一致性、可靠性以及批量交付能力同樣是客戶關(guān)注的重點。
問：從慣性傳感器到紅外熱電堆傳感器，再到氣體傳感器，求是未來的產(chǎn)品布局背后有哪些戰(zhàn)略考慮？
求是未來：當(dāng)前中國MEMS產(chǎn)業(yè)正處于重要的發(fā)展階段。一方面，機器人、智能汽車、AIoT等新興市場快速成長，為產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供了廣闊空間；另一方面，高端傳感器國產(chǎn)化需求持續(xù)提升，也為國內(nèi)企業(yè)帶來了新的機遇。未來MEMS產(chǎn)業(yè)的競爭不會再局限于單個器件，而是設(shè)計、制造、封裝、算法以及應(yīng)用生態(tài)的綜合競爭。我們也將繼續(xù)圍繞慣性傳感器、紅外熱電堆傳感器和氣體傳感器三大方向進行布局，不斷完善產(chǎn)品矩陣。同時，我們將持續(xù)加強核心技術(shù)研發(fā)，提升MEMS自主創(chuàng)新能力，加快產(chǎn)品在機器人、汽車電子、工業(yè)控制和智能家居等領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用。
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