碳化硅晶片成功的秘訣

我們今天使用的幾乎所有設備都依賴于半導體。新的技術進步和要求要求要求在許多要求苛刻的半導體應用中使用碳化硅(SiC)。由于其物理和電子特性,基于SiC的設備非常適合高溫和高功率/高頻電子設備,從而實現電動汽車(EV),5G和物聯網技術的進步。雖然它們為最終用戶帶來了很多好處,但生產高質量的SiC襯底給晶圓制造商帶來了許多挑戰。15年來,Pureon一直為SiC晶圓制造商提供最先進的切片和表面處理步驟。作者:DR. WILLIAM GEMMILL, TERRY M. KNIGHT, DIPL.-ING.HELGE WILLERS,DR. RAVI BOLLINA和ARTHUR LENART來自PUREON


生活變得更智能了!我們的一天從智能手表的鬧鐘開始。我們拍手打開智能家居的燈。

當我們等待咖啡機煮咖啡時,我們會檢查智能手機以獲取最新消息和更新。然后,我們將電動汽車從充電器上拔下插頭,然后開車去上班。在工作中,我們通過在基于云的計算機和視聽通信系統的幫助下與整個世界建立聯系來完成我們的工作。

半導體改善了我們的日常生活
我們已經遵循了戈登摩爾定律,達到了曾經難以想象的水平,半導體已經徹底改變了我們的工作,溝通,旅行,娛樂,利用能源和治療疾病的方式。它們不僅使我們日常生活中有用的設備成為可能,而且還使它們更緊湊,更便宜,更強大。以手機的發展為例:80年代的第一批設備非常重,成本幾乎與汽車一樣高,并且只能充電約30分鐘的通話時間。今天,我們的智能手機是高度智能的移動設備,幾乎與普通計算機一樣強大,每個人都可以使用。

令人驚訝的是,最大的潛力還在前面。作為技術的基石,基于SiC的半導體將繼續實現重大突破:從航空航天和消費電子產品到能源和醫學 - 整個行業都將發生轉變。這種轉變的一個很好的例子是汽車行業。電動汽車已經從生態位產品發展成為首選的日常替代品。這一發展得到了更強大的電動傳動系統的支持,使用更高的電流和更有效的電路。這就是碳化硅發揮主導作用的地方。

為什么選擇碳化硅?
答案很簡單:在更高的電壓下,功率更大,效率更高,可靠性更高。不僅在工業上,而且在半導體材料本身上都有一個轉變。為了應對日益增長的電氣器件要求,SiC已成為先進半導體的首選基板材料,尤其是電力電子器件。它允許10倍的介電擊穿場強,15倍的擊穿電壓,并提供3倍的導熱性。此外,SiC可實現更高的工作溫度(硅最高可達400°C,而硅為150°C),電流密度可提高2-3倍。

SiC半導體在高溫、高壓和高壓下工作的能力導致其在多個行業的需求增加。例如,數據中心將SiC用于電源,從而大大減少冷卻系統所需的功率。

此外,不間斷電源 (UPS) 系統可確保穩定、一致的電源。另一個例子是5G基站:它們處理越來越多的數據,導致電力需求上升。SiC半導體用于MHz開關,以更小的尺寸提供更高的功率。

得益于SiC電動汽車的突破,特別是汽車行業受益于SiC的優勢。得益于SiC半導體的更高效率,像保時捷這樣的制造商能夠從400 V電池過渡到800 V電池。這樣可以縮短充電時間,減少電池使用時間,延長運行時間ges.受益于SiC:
板載電池充電器的其他應用:將外部AC轉換為DC以為電池充電,并且可以以一半的尺寸將功率加倍⊕板載DC / DC轉換器:將板載電池電壓轉換為干凈的~12VDC總線,為板載設備
供電⊕
動力總成:逆變器、電動機及其與傳動系統的機械附件。將損耗切換至80%以下,尺寸減小30%。電池更小(重量更輕,熱量更小)和續航里程
更長⊕
板外直流快速充電器:用于快速充電

的更快直流充電站對行業的挑戰 隨著未來五年的需求預計將大幅增加,該行業面臨的主要挑戰不僅是所需的晶圓數量龐大,而且晶圓規格的變化也反映了硅晶圓的規格。更嚴格的公差和規格將推動當前和未來的制造方法。創新對于克服這些挑戰至關重要。采取積極主動的方法來預測制造技術的變化,需要與工藝工程師建立深厚的關系,并在信任和專業知識的基礎上進行研發,以開發下一代產品。

SiC襯底制造商有動力提高工藝效率并降低晶圓生產成本,因為市場正在努力爭取功率器件價格與Si基器件平價。此外,需求的巨大增長(生產斜坡,新設施等)和全球供應鏈限制的導航,對基于SiC的應用的需求激增以及對所有類型半導體的整體需求激增,需要制造工藝的創新。

從一開始就優化成本 每晶圓成本將成為開發或優化工藝步驟時的驅動因素。大多數人會尋求減少處理時間或更便宜的耗材,認為這將降低成本。隨著SiC越來越多地被設備制造所采用,并從研發材料轉向商業化,提高產量是實現擁有成本顯著改善的地方。在最小化返工的同時最大限度地提高產量,將提高現有流程的吞吐量。

該行業面臨的一個主要挑戰是缺乏可靠的合作伙伴來為制造過程中提供表面處理解決方案。未經驗證的解決方案和新供應商的不可靠性會導致減慢甚至停止生產或擴大規模的風險。這通常會導致耗材、工具和客戶資格的交貨時間過長,這是擴大生產能力的巨大障礙。這就是為什么耗材對整個過程有影響的原因。墊料、漿料和模板在運行到運行和批次到批次之間的一致性對于優化產量的努力至關重要。

PUREON-碳化硅晶圓的全過程解決方案提供商
,Pureon在半導體行業擁有多年的經驗,并為晶圓生產開發了經過驗證的解決方案。普瑞龍支持制造商建立可靠和高效的流程。普瑞龍的半導體歷史,二十年來開發產品SiC市場有助于克服關鍵的制造挑戰。

在路線圖中盡早與客戶接洽以識別瓶頸、定義資源和期望至關重要。作為一家具有內部晶圓加工能力的耗材制造商,Pureon能夠通過自己的拋光和表面實驗室進行測試并生成數據。此功能為 Pureon 提供了顯著縮短的開發周期時間,并為客戶提供了具有代表性的數據,以降低新產品測試和鑒定的風險。這有利于晶圓制造商縮短其現場的測試和驗收時間。Pureon與OEM合作進行全面測試以確認調查結果。這消除了客戶必須將工具或單元從生產中取出以進行測試并收集數據以與當前記錄過程進行比較的挑戰。


優化當前和開發新工藝

該行業面臨的主要挑戰是晶錠和晶片的可用性有限,從而增加了對運輸任何可以制造的東西的需求。這強調了高效可靠的生產過程的重要性。但是,任何流程變更都可能導致完全重新獲得資格,這可能需要數月時間。因此,制造商有能力優化其當前的生產流程,以從較低的工藝成本中受益。Pureon支持這項工作,提供延長易損件使用壽命和縮短周期時間的解決方案,同時優化和提高產量。

與此同時,市場需求也在不斷變化。因此,該行業正在向主要硅片規格靠攏,要求制造商開發新工藝。一個很好的例子是從150 mm到200 mm晶圓的移動,需要完全不同的制造流程和設備。為了實現滿足這些新要求的大批量制造工藝,所有工藝步驟中都引入了新的制造技術。Pureon專注于創新和前瞻性發展戰略,具有獨特的優勢,可為SiC晶圓制造商提供下一代解決方案,通過提高生產率和降低擁有成本來支持市場的成熟。

SiC錠的多線鋸加工 - 最佳碳化硅錠切片的秘密醬汁
為了制備用于器件制造的SiC基板,必須首先從單晶或硅錠中切割晶圓坯料。實現這一目標的主要方法是使用多線鋸,該鋸利用高速移動的細線與金剛石磨料漿料相結合,從SiC錠上精確切割晶圓坯料。該過程的主要輸入包括速度和進給,線材的類型和尺寸以及金剛石磨料漿料的特性。切割的質量是根據晶圓形狀的響應來判斷的,即翹曲,翹曲和總厚度變化(TTV)。在線鋸步驟中成功切割高質量毛坯可以說是晶圓生產過程中最重要的步驟,因為晶圓形狀的下游改進非常難以實現。

Pureon以金剛石磨料漿的形式為線鋸工藝提供解決方案,并與線鋸OEM和客戶密切合作,以優化該工藝。在線鋸漿料消耗空間內有兩種類型:油基和非油基配方。普瑞龍提供油基 (WSO) 和非油基 (WSG) 漿料解決方案。Pureon 專有的化學成分和漿料中的分級鉆石可提供批次間的一致性,從而在客戶現場實現可重復的工藝。此外,這消除了內部混合線鋸漿料的需要,并減少了開銷。無論是第一個晶圓還是第1000個晶圓,TTV,翹曲,翹曲和表面質量的性能都得到精確控制。從而提高晶圓的產量和質量。

與現有解決方案相比,Pureon在線鋸漿料產品方面的最新進展為多線鋸工藝
提供了令人興奮的機會,可以改善翹曲,翹曲和TTV,同時減少與傳統油基漿料相關的環境和職業危害。非油基漿料配方設計的最新進展被證明可以提供出色的晶圓質量。這些解決方案使客戶能夠從鋸上生產出更高質量的晶圓,從而為后續加工的成功做好準備,如表1所示。


SiC晶圓的金剛石機械拋光 SiC基板制造的下一個主要過程是使用含有金剛石的拋光漿料和拋光墊對晶圓進行機械拋光。典型的工藝在雙面,單面或雙面和單面拋光工具的某種組合上進行。該工藝步驟的輸出是為最終拋光操作呈現非常平坦且相對較低的粗糙度晶圓。

關鍵輸入包括正確選擇金剛石基拋光漿料和拋光墊,拋光壓力和工作臺速度等加工參數,以及機器選擇。在關鍵輸入中,拋光漿料和拋光墊對成功的工藝優化貢獻最大。Pureon通過在安裝的工具中結合適當的拋光墊和拋光漿料,在材料去除率,晶圓形狀和表面質量方面為客戶提供最大的工藝性能時,已經確定了最佳的工藝解決方案。Pureon在通過金剛石機械拋光加工SiC晶圓方面的豐富經驗可以利用來最大限度地提高工藝效率,無論客戶設施中的工具如何設置。表 2 描述了用于批量和精細去除步驟的DMP工藝流程。


多年來,基于金剛石的漿料開發一直是Pureon創新團隊的主要關注點。該公司已經確定了高度優化的配方,可以調節SiC基板不同面上的材料去除率。Pureon 鑒定出的鉆石類型與適當的拋光墊和工藝參數協同作用,繼續從該工藝中提取更多性能并提高效率,例如參見圖 1。Pureon認為,隨著150mm SiC襯底市場在未來幾年的成熟,在降低這一工藝步驟的擁有成本方面存在巨大機遇。

SiC晶圓

的化學機械拋光 SiC晶圓生產的最后一個主要過程通常被稱為化學機械拋光(CMP)步驟。該工藝步驟僅旨在準備外延生長的基板表面,同時賦予晶圓形狀零或盡可能少的變化。這通常使用高反應性化學基拋光漿料和聚氨酯基或聚氨酯浸漬氈型拋光墊來實現,以僅從晶圓表面去除幾微米。晶圓被輸送到拋光墊上,并通過單面批處理工具中的模板或晶圓夾具或通過單晶圓工具中帶有背襯膜的真空卡盤固定到位。這些晶圓載體中使用的材料暴露于拋光漿料的高反應性化學中,因此需要對反應性化學的堅固耐受性。


WSG是一種先進的乙二醇基金剛石懸浮液,用于SiC滾球的多線鋸切片 - 帶有專有添加劑,用于懸浮液的漆包穩定性。

Pureon繼續開發先進的晶圓載體和薄膜,以延長使用壽命,從而提高擁有成本。Pureon還與業界密切合作,將兩款用于SiC CMP的新型拋光墊推向市場,最近在法國圖爾舉行的2021年ECSCRM上展出。這些下一代CMP拋光墊通過CMP工藝實現了更高的生產率和更高的質量。多年來,最終拋光漿料的配方一直是廣泛研究的主題,并且該領域的創新仍在繼續。因此,對于優化來說,深入了解這個過程步驟中不同耗材組合之間的相互作用至關重要。Pureon與最終的CMP漿料供應商密切合作,將他們的技術與最佳的拋光墊,墊處理工藝和晶圓模板或載體薄膜相結合。最終CMP拋光墊技術的進步繼續推動生產率的提高。Pureon繼續推動耗材的創新解決方案和SiC晶圓最終拋光工藝。
圖 1.使用3 mm單晶金剛石的三組分混合物設計中的代表性硅面MRR(mm / h)響應表面。

SiC器件市場的增長要求在當前狀態和下一代基板的開發方面,在基板制造方面取得重大進展。近20年來,Pureon一直憑借其在該市場的知識、解決方案和經驗為SiC晶圓行業提供支持。他們的專家不斷創新,以提高襯底良率并降低SiC晶圓的成本,從而能夠更快地采用該技術。Pureon將SiC制造推向新的極限,改善了我們所有人的生活。這就是為什么創新和挑戰極限在Pureon永無止境的原因。詳細了解他們使用新型焊盤 IRINO-PRO-C 研磨 SiC 晶圓的最新解決方案。更多細節和技術演示將于2022年9月11日至16日在瑞士達沃斯舉行的ICSCRM期間進行

半導體工藝與設備 1、半導體工藝研究、梳理和探討。 2、半導體設備應用、研發和進展。 3、建華高科半導體設備推廣,包括:曝光機、探針臺、勻膠機和切片機。 4、四十五所半導體設備推廣,包括:濕化學設備、先進封裝設備、電子元器件生產設備等。
評論
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