


近年來,隨著國內半導體行業積極推進產業升級,泛半導體行業的材料、裝備、零部件產業廣受關注,正成為行業尋求突破的焦點。半導體氣體傳輸系統零部件作為整個半導體工藝制程中的一個細分領域,承擔著在半導體設備中精確控制反應氣體流量、壓力和純度的關鍵任務,被譽為芯片制造的“血管系統”。在晶圓制造的刻蝕、薄膜沉積等關鍵工序中,氣體傳輸系統的性能對芯片良率有直接影響。因而這一關鍵領域具有三大特征:

圖示:半導體氣體傳輸系統零部件行業特點 來源:CINNO Research整理
1、高技術壁壘:半導體氣體傳輸系統零部件需滿足納米級的加工精度、超高潔凈度以及耐受強腐蝕等苛刻要求,因此涉及材料科學、精密機械等跨學科技術積累。
2、強客戶粘性:由于半導體設備直接決定芯片良率,因而客戶選擇設備廠商慎之又慎,認證周期可長達2~3年,而一旦進入供應鏈,出于工藝穩定要求,通常會形成長期穩定合作關系。客戶相對更關注氣體傳輸系統零部件對整體良率的提升,而非降低短期采購成本。
3、高度壟斷格局:由于以上特點,該行業目前主要由美國UCT、日本Fujikin等傳統大廠主導,先發優勢明顯,全球CR5高達75%。而當下中國氣體傳輸系統國產化率僅為10%,核心組件幾乎完全依賴進口。
根據CINNO Research最新統計數據,2024年中國(含臺灣)半導體產業項目投資總額為6,831億元,較去年同期下降41.6%。盡管如此,細分領域的數據顯示,半導體設備投資逆勢增長1.0%,達到402.3億元,成為唯一實現正增長的投資類別。

圖示:2021~2024年中國半導體設備投資金額趨勢(含臺灣) 來源:CINNO Research
當前,中國半導體設備零部件市場規模約175億美元,具體到氣體傳輸領域,2024年中國氣柜和氣體管路市場規模約為22億美元,但高端市場基本被外企壟斷。
富創精密戰略投資Compart Systems:全產業鏈拼圖的重要一環
富創精密成立于2008年,是國內純度最高、規模最大、產品種類最全的半導體零部件供應商,也是全球為數不多可提供7nm制程半導體設備精密零部件供應商。公司主營業務為半導體設備、泛半導體設備及其他領域的設備提供精密零部件。?
富創精密主要產品包括工藝零部件、結構零部件、模組產品和氣體管路。從營業收入占比看,截止2024年半年報,工藝零部件收入占比23%,結構零部件收入占比27%,模組產品收入占比40%,氣體產品收入占比10%,從收入區域來看,中國大陸營業收入占比持續提升,從2018年的14%,2022年的54%,提升至2024年上半年的75%。
于2022年上市之后,富創精密營業收入實現了快速增長,2024年營收實現超30億元,較2023年增長47%,較2022年增長97%。富創精密一方面積極加速先進制程產品拓展及研發,另一方面積極進行產能布局,在國內,現已經建成沈陽和南通兩處生成基地,前瞻性布局北京生產基地,三大生產基地全部達產后,產能可達到60億元,在海外,為進一步擴大公司國際業務規模,深化公司與國際客戶之間的黏性,提高全球供應鏈采購能力,新加坡工廠正在按照計劃有序建設中。
富創精密的奮斗與發展歷程是國內泛半導體供應鏈企業的一個縮影。但在迎頭趕上、快速發展之余,氣體傳輸系統的模塊化能力存在短板仍是富創精密一個戰略上的痛點。目前在14nm以下的先進制程中,高純度氣體控制技術受制于海外供應商,已經嚴重制約了設備廠商的供應鏈保障。
Compart Systems是全球領先的氣體輸送系統領域供應商之一,也是全球少數可完成該領域零組件精密加工全部環節的公司。其主要產品包括表面貼裝件(氣體流道塊)、BTP (Built To Print)組件、裝配件、密封件、氣棒總成、焊接件等,應用于集成電路制造工藝中氧化/擴散、蝕刻和沉積等設備所需的精確氣體輸送系統。同時,公司是全球少數可提供氣體流量控制器(MFC)組裝的公司。Compart Systems也可為工業、石油天然氣領域客戶提供包括高精度金屬加工部件等產品。
在全球行業地位方面,Compart Systems的表面貼裝件(氣體流道塊)位居氣體傳輸系統細分領域龍頭地位,并且擁有下一代產品iBlock專利。Compart Systems在氣體輸送系統領域具有豐富的經驗積累和產品布局,具備研發設計、流量控制、二次深入加工、裝配測試等方面的綜合技術實力。
通過特殊目的公司收購浙江鐠芯(Compart Systems控股股東)等方式,富創精密以戰略投資人身份,實現了對Compart Systems的間接重要股東地位,并獲取關鍵能力協同,為后續深化自身產業鏈整合預留了操作空間。富創精密將大力推動整合雙方優勢資源。中短期內,此次戰略投資將助力富創精密在氣體傳輸供應鏈中取得優勢地位,增強其全球供應鏈地位,而富創精密原本較為穩固的國內客戶渠道,也能夠有效助力Compart Systems獲取市場份額,實現雙贏局面。戰略投資以后,富創精密將能夠形成沈陽、南通、北京、新加坡、馬來西亞的5地協同體系,提高全球客戶覆蓋能力與響應速度,同時降低自身供應鏈風險。
國產半導體供應鏈企業正通過并購向平臺化轉型
半導體零部件是一個門檻較高、強者恒強的賽道。國內相關企業起步較晚,根基較淺,往往在某些單一領域實現突破,而在全產業鏈條上的布局與產品線豐富程度上,與經營許久的國際一線供應商相比存在較大差距。盡管龐大的國內需求能夠有效促進企業加快投資實現快速發展,但落實到具體操作上,仍不可避免遇到諸如美日企業先發優勢、專利占位,客戶導入周期過長、新進入者難以打開局面而錯失窗口期等種種阻礙。
因此,近年來中國半導體企業在全球化布局、國內市場催化以及技術升級驅動下,完成了多起具有戰略意義的跨境收購。例如聞泰科技于2019年完成對荷蘭安世半導體收購,從而快速構建起自主IDM模式,借助安世全球Tier1客戶布局與產能,2022年便實現車載芯片出貨量超100億顆,實現業務快速擴張。韋爾股份于2019年也完成對美國豪威科技的并購,從而獲取智能手機、車載CIS核心技術與產能,在相關客戶遭遇美國出口限制時,有力保障了其供應鏈穩定。
此次富創精密戰略投資Compart Systems也頗有這種“資本換時間、擴產換空間”意味。一方面,成功整合行業先進資源,能夠有效縮短富創同類產品研發周期約5年左右,使其產品能夠快速對標客戶最新一代設備需求,另一方面,其通過Compart Systems與國際客戶的現有供應關系,也可以使富創產品大大壓縮認證周期,從而在目前先進制程產能集中落地、設備大量量產的有利窗口期搶占市場份額。此外,戰略投資以后,富創在國內與東南亞的分區布局也將有助于公司國內外市場的開拓。而對于富創精密未來發展,此次戰略投資意義或許更加重大。
富創精密是一家典型的“時代企業”:其取得今天的成績,成為半導體零部件行業的領軍企業,不可忽視的一個原因在于企業成長的初期,富創精密幾乎占據了所有的先發優勢和有利地形:在全球半導體產業鏈重構、國際經濟中心東移的大趨勢中,富創不僅抓住了東亞半導體產業崛起的時代機遇,也把握住了中國半導體產業逆勢崛起的需求。富創精密董事長鄭廣文將富創的未來之路歸納為“新四化”,即“國際化、智能化、精益化、綠色化”,而戰略投資Compart Systems則是實現這四大目標的關鍵舉措,未來仍將堅持自主發展+資源整合并重的發展思路。
通過這次戰略投資,富創精密將能夠補齊氣體傳輸系統最后一塊拼圖,形成“金屬工藝結構件+模組+氣體系統”的全產品矩陣,可覆蓋設備成本的約85%。在業務發展上,由OEM向產品躍進,產品邁向平臺化,有效提升了客單價。同時,以此為契機,富創精密將啟動產能全球化舉措,首選在東南亞布局海外產能,未來還將完成更多并購,補強技術短板,與國內工廠協同形成產能矩陣,實現全球布局、產能出海,營收并重局面。
此外,富創也在規劃更多戰略舉措,如在管理上,富創精密也在規劃模式創新與管理創新:結合Compart Systems和富創的技術與工藝,將達成1+1>2的效果,助推富創攻克更先進工藝配套技術,助力富創孵化下一代材料與工藝技術。公司資源與政策將向創造力傾斜,更堅定地執行智能制造戰略與平臺化、標準化建設。
國產替代浪潮下的戰略啟示
富創精密戰略投資Compart Systems背后,恰逢中國半導體產業正在面臨三大轉折點:

圖示:中國半導體產業正面臨三大轉折點 ?來源:CINNO Research整理
1、政策窗口:國家大基金三期的1,500億元重點投向了設備零部件領域,其中氣體傳輸系統更是被列入“工業強基工程”的十大攻堅領域。而此次整合直接對應了《中國制造2025》中“突破高純工藝關鍵零部件”的目標。
2、需求爆發:國內長江存儲二期、中芯深圳等12個新建晶圓廠,總投資超3,000億元,其中替代進口比例要求從10%提升至40%。晶圓廠投資帶動半導體設備需求,而半導體設備銷售額持續增長帶動零部件規模上升。
3、技術拐點:隨著NAND堆疊層數突破200層,目前全球幾大閃存廠均在開發400+層技術,3D結構對氣體控制精度要求較過去提升10倍有余,技術的升級對設備及零部件的迭代和工藝提出了更高的要求。
通過此次戰略投資,富創精密不僅獲得了進入先進工藝供應鏈的入場券,幫助其實現構建“材料-零件-系統-服務”完整利潤鏈條,也驗證了“橫向技術整合+縱向產業鏈延伸”的平臺化路徑。預計到2027年,雙方的協同效應將推動富創精密在氣體傳輸領域市占率大幅提升,有望成為中國首家進入全球半導體零部件TOP10的企業。而這種以資本杠桿撬動產業資源、產能擴張重構市場邊界的打法,也正是當下中國制造企業突破“中等技術陷阱”的破局之道。富創精密用這次投資交出了自己的產業升級答卷:既要手握核心技術,更要善用資源整合。


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