2025年12月28日-29日,“原子級(jí)制造基礎(chǔ)研究”重大研究計(jì)劃2025年度學(xué)術(shù)交流會(huì)在北京召開。本次會(huì)議由國家自然科學(xué)基金委員會(huì)交叉科學(xué)部指導(dǎo),“原子級(jí)制造基礎(chǔ)研究”重大研究計(jì)劃指南專家組主辦,清華大學(xué)高端裝備界面科學(xué)與技術(shù)全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室承辦。

雒建斌院士、楊華勇院士等“原子級(jí)制造基礎(chǔ)研究”重大研究計(jì)劃指導(dǎo)專家組成員,國家自然科學(xué)基金委員會(huì)交叉科學(xué)部副主任付雪峰、交叉科學(xué)二處和工程與材料科學(xué)部相關(guān)工作人員,以及來自全國高校、科研院所等單位的專家學(xué)者出席本次會(huì)議。與會(huì)專家聚焦原子級(jí)制造前沿問題深入研討,為推動(dòng)該領(lǐng)域基礎(chǔ)研究創(chuàng)新與技術(shù)應(yīng)用突破注入強(qiáng)勁動(dòng)能。
雒建斌院士在開幕式致辭中強(qiáng)調(diào),原子級(jí)制造研究涉及物理、化學(xué)、材料、工程等多學(xué)科交叉融合,需要構(gòu)建跨學(xué)科協(xié)同研究機(jī)制。他期待本次會(huì)議能夠激發(fā)跨領(lǐng)域合作靈感,促成方法互補(bǔ)、資源共享的協(xié)作模式,凝聚多方智慧攻克原子級(jí)制造的科學(xué)難題與技術(shù)瓶頸,保障該重大研究計(jì)劃落地見效,推動(dòng)我國原子級(jí)制造領(lǐng)域邁向國際前沿。

付雪峰副主任在開幕式致辭,向與會(huì)專家學(xué)者表示熱烈歡迎與誠摯謝意。她指出,“原子級(jí)制造基礎(chǔ)研究”重大研究計(jì)劃是在國家自然科學(xué)基金委統(tǒng)籌部署下,經(jīng)領(lǐng)域內(nèi)資深專家學(xué)者反復(fù)論證而成。她期待本次會(huì)議能夠充分激發(fā)科研人員的創(chuàng)新思維,有力促進(jìn)多學(xué)科的深度交叉與高效協(xié)同融合,為推動(dòng)我國在原子級(jí)制造領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)原創(chuàng)性突破和系統(tǒng)性創(chuàng)新貢獻(xiàn)智慧與力量。
自然科學(xué)基金委交叉科學(xué)二處首先對(duì)該重大研究計(jì)劃的整體執(zhí)行情況進(jìn)行詳細(xì)介紹。隨后,西南交通大學(xué)錢林茂教授、南京航空航天大學(xué)徐正揚(yáng)教授、清華大學(xué)任天令教授、北京科技大學(xué)張錚教授、國家納米科學(xué)中心裘曉輝教授、華中科技大學(xué)陳蓉教授、西南交通大學(xué)陳磊教授、清華大學(xué)劉大猛教授依次作了題為《原子級(jí)制造基礎(chǔ)研究》、《離子通道蛋白近原子尺度限域溶解電解加工方法基礎(chǔ)研究》、《面向原子級(jí)制造的先進(jìn)DSA光刻技術(shù)》、《面向集成電路的二維半導(dǎo)體材料與器件原子制造技術(shù)》、《原子級(jí)結(jié)構(gòu)基元定向輸運(yùn)的原位測(cè)量與調(diào)控》、《原子層選區(qū)沉積原理與關(guān)鍵技術(shù)》《關(guān)于原子層拋光的一些思考》及《原子級(jí)尺度下表界面能量耗散的檢測(cè)、機(jī)理、調(diào)控》的特邀學(xué)術(shù)報(bào)告,分享最新研究進(jìn)展與前沿學(xué)術(shù)觀點(diǎn)。此外,部分已獲資助的重點(diǎn)支持項(xiàng)目與培育項(xiàng)目負(fù)責(zé)人通過墻報(bào)展示形式,全面介紹了各項(xiàng)目研究進(jìn)展與階段性成果。

與會(huì)專家圍繞報(bào)告與墻報(bào)展示的核心成果,針對(duì)原子級(jí)制造的學(xué)科前沿、技術(shù)瓶頸及未來發(fā)展方向展開了深入交流。本次會(huì)議不僅為“原子級(jí)制造基礎(chǔ)研究”重大研究計(jì)劃的持續(xù)深入實(shí)施提供了有力支撐,也為該領(lǐng)域下一階段有組織科研和協(xié)同攻關(guān)奠定了重要基礎(chǔ)。
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