據(jù)麥姆斯咨詢報道，近日，Optotherm推出了一款高靈敏度中波紅外（MWIR）熱成像相機(jī)：MW640-15，它專為先進(jìn)電子器件及芯片失效分析、鎖相（lock-in）紅外熱成像以及顯微溫度測量而設(shè)計。
中波紅外熱成像相機(jī)MW640-15
MW640-15可用于芯片正面和背面檢測，具備NETD < 20 mK的靈敏度，在能夠檢測極微小熱變化的同時，可顯著縮短鎖相紅外熱成像測試時間。該系統(tǒng)具有較高的空間分辨率，可分辨最小約1 μm的集成電路特征，從而支持對亞微米器件結(jié)構(gòu)的精細(xì)分析。
相機(jī)核心為一款640 × 512像素、像元間距15 μm的MCT探測器，通過斯特林制冷機(jī)冷卻至80 K工作溫度。該平臺在全幅（full-frame）模式下幀率最高可達(dá)115 Hz，在窗口模式下可達(dá)1550 Hz，能夠?qū)崿F(xiàn)對工作中半導(dǎo)體器件的動態(tài)熱分析。
MW640-15支持多種應(yīng)用，包括：低于0.0001 °C的熱點(diǎn)檢測、結(jié)溫測量、瞬態(tài)熱特性表征。這些能力對于從事以下領(lǐng)域的工程師尤為重要：高性能邏輯器件、功率器件、化合物半導(dǎo)體器件、先進(jìn)光子集成回路（PIC）。在這些器件中，局部發(fā)熱會直接影響性能與可靠性。
該相機(jī)既可作為獨(dú)立儀器使用，也可集成到Optotherm的Sentris一體化紅外熱成像測試系統(tǒng)中。
Sentris一體化紅外熱成像測試系統(tǒng)
Optotherm公司總裁兼技術(shù)總監(jiān)Rich Barton表示：“我們開發(fā)MW640-15，是為了滿足失效分析工程師對高空間分辨率、高測量靈敏度以及芯片背面分析能力的需求?！?/span>
有源半導(dǎo)體器件分析
隨著先進(jìn)半導(dǎo)體和光子器件平臺中器件復(fù)雜度和功率密度的不斷提高，高精度紅外熱成像在加速失效機(jī)理分析和提升器件可靠性方面正發(fā)揮越來越關(guān)鍵的作用。
關(guān)于Optotherm
Optotherm致力于制造高性價比的一體化紅外成像系統(tǒng)，用于電子失效分析和溫度測量應(yīng)用，包括：鎖相紅外熱成像、光子發(fā)射測試、結(jié)溫測量、有源器件瞬態(tài)溫度分析、印制電路板（PCB）故障診斷。
Sentris是Optotherm推出的紅外成像系統(tǒng)產(chǎn)品系列，每套系統(tǒng)均針對特定應(yīng)用進(jìn)行配置。Optotherm自行設(shè)計并制造Sentris系統(tǒng)的核心部件，包括：紅外相機(jī)與鏡頭、光學(xué)組件、測試設(shè)備、圖像分析與測試軟件系統(tǒng)。
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