3月30日晚，中微公司披露2025年年度報告。
報告顯示，公司全年實現營業(yè)收入123.85億元，同比增長36.62%，經營業(yè)績創(chuàng)下歷史新高；實現歸屬于母公司所有者的凈利潤約21.11億元，同比增長約30.69%。
核心業(yè)務方面，2025年公司刻蝕設備銷售約98.32億元，同比增長約35.12%。截至2025年底，刻蝕設備反應臺全球出貨量超6800臺，應用范圍覆蓋65納米至3納米及更先進制程。
公司自主研發(fā)的CCP高能等離子體刻蝕設備和ICP低能等離子體刻蝕設備已覆蓋95%以上的三百多種刻蝕應用需求。其中，60比1超高深寬比刻蝕設備在存儲器生產線上實現穩(wěn)定大批量生產，新開發(fā)的晶圓邊緣刻蝕設備和金屬刻蝕機也已進入客戶端生產線驗證。
薄膜沉積設備業(yè)務也迎來爆發(fā)式增長，2025年LPCVD設備銷售約5.06億元，同比增長224.23%。目前，公司正推進六大類、超20款新設備的研發(fā)，涵蓋先進刻蝕設備、薄膜設備、外延EPI設備、電子束量檢測設備等領域。
同日，中微公司發(fā)布發(fā)行股份及支付現金購買資產并募集配套資金報告草案，擬以15.76億元收購杭州眾硅64.69%股權。
杭州眾硅是國內少數可批量供應12英寸CMP設備的廠商，產品已切入國內知名存儲及邏輯芯片制造廠商。交易完成后，杭州眾硅將成為中微公司控股子公司。
中微公司表示，本次收購將助力公司形成“刻蝕+薄膜沉積+量檢測+濕法”四大前道核心工藝能力，實現從“干法”向“干法+濕法”整體解決方案的關鍵跨越，有望縮短客戶工藝驗證周期，加速國產設備在主流產線的規(guī)模化滲透。
