據麥姆斯咨詢報道,2026年5月22日至5月24日,魯汶大學高級研究員王晨將參加《第79期“見微知著”培訓課程:MEMS制造與封裝技術》并進行授課,具體信息如下:
授課主題:先進MEMS傳感器設計與制造
授課老師簡介:
王晨,博士,現任比利時魯汶大學(KU Leuven)微納系統(tǒng)研究組高級研究員。他于2013年6月在安徽大學獲得學士學位,2018年6月在浙江大學取得博士學位,2021年10月在比利時列日大學(University of Liège)獲得第二個博士學位,兩篇博士學位論文分別聚焦光學、微機電系統(tǒng)(MEMS)領域,研究內容與成果相互獨立。他的主要研究方向包括MEMS設計與優(yōu)化、MEMS器件閉環(huán)控制系統(tǒng)、MEMS壓力傳感器、MEMS慣性傳感器、紅外傳感器和諧振器等。截至目前,他已發(fā)表期刊論文56篇(其中光學領域14篇、MEMS領域42篇)、會議論文62篇,獲授權專利8項;近四年累計主持或承擔各類科研項目經費超150萬歐元。他曾榮獲美國國際光學工程學會(SPIE)卓越研究獎、2014年日本IMEKO國際會議最佳報告獎、2018年MEMS設計競賽三等獎、華為歐洲芯片設計大賽二等獎,并入圍2022年IEEE MEMS、2024年UFFC-JS最佳論文獎。他擔任2025/2026 IEEE MEMS、2025 Transducer、2020 IEEE Sensors、2022 Eurosensors等多個國際頂級MEMS會議技術程序委員會委員,同時擔任2025 Transducer會議分會主席,并應邀在新加坡A*STAR、澳門大學、北京大學及中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所、中國科學院微電子研究所等多家單位做特邀學術報告。

授課背景及內容:
人類正在經歷以人工智能(AI)技術為標志的第四次工業(yè)革命,基于MEMS技術的先進傳感器作為連接物理世界和數字世界的“橋梁”,為人工智能算法提供訓練和推理的基礎數據。基于先進傳感器的物聯(lián)網(IoT)、物理AI等前沿技術,將使得機器出現“智慧涌現”的能力——從而孕育出“硅基生命”,這將極大地推動人類社會的智能化進程,即進入智能時代。先進傳感器的研發(fā)本質上是“設計-制造-封裝-測試”多環(huán)節(jié)深度耦合的系統(tǒng)工程,僅依賴單一環(huán)節(jié)的優(yōu)化難以形成持續(xù)競爭優(yōu)勢。其中,設計與制造之間的高效協(xié)同尤其重要,它是企業(yè)在產品創(chuàng)新能力與規(guī)模化量產能力兩方面同時取得領先的基礎保障。本課程首先介紹先進MEMS制造工藝,然后詳解市場主流的電容式/壓阻式/壓電式MEMS傳感器設計與制造,最后闡述面向生物醫(yī)療應用的多化學物理量集成傳感器(例如神經探針)。

魯汶大學納米中心的微納加工技術

魯汶大學微納系統(tǒng)研究組研發(fā)的MEMS器件示例
課程提綱:
1. 先進MEMS制造工藝介紹;
2. 電容式MEMS傳感器設計與制造(例如MEMS慣性傳感器);
3. 壓阻式MEMS傳感器設計與制造(例如MEMS壓力傳感器);
4. 壓電式MEMS傳感器設計與制造(例如MEMS超聲換能器);
5. MEMS多化學物理量集成傳感器設計與制造(例如神經探針)。
培訓詳情:
https://www.memstraining.com/training-79.html
《MEMS產業(yè)現狀-2025版》
《壓電MEMS技術及市場-2025版》
《光學MEMS產業(yè)現狀-2026版》
《下一代MEMS技術及市場-2025版》
《傳感器技術及市場-2026版》


