近日，深圳市超晶熱導(dǎo)技術(shù)有限公司（簡(jiǎn)稱“超晶熱導(dǎo)”）正式發(fā)布新一代大尺寸光學(xué)級(jí)金剛石晶圓，并同步宣布成功研制16英寸高真空熱絲CVD金剛石生長(zhǎng)設(shè)備（“長(zhǎng)晶爐”）。這一系列突破標(biāo)志著我國(guó)在高端金剛石材料制備與核心裝備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)自主可控，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)大尺寸、高品質(zhì)金剛石晶圓空白。
長(zhǎng)期以來(lái)，大尺寸、低缺陷金剛石晶圓的制備是行業(yè)痛點(diǎn)。超晶熱導(dǎo)依托自主工藝，攻克了生長(zhǎng)均勻性差、內(nèi)部應(yīng)力難控及表面精度低等難題，推出了性能卓越的光學(xué)級(jí)產(chǎn)品。
產(chǎn)品核心優(yōu)勢(shì)：
尺寸與性能：支持大尺寸晶圓，晶體缺陷密度低，紅外多波段透過(guò)率高，滿足規(guī)模化應(yīng)用需求。
表面精度：采用超精密拋光，表面粗糙度達(dá)光學(xué)級(jí)水平，滿足高功率光學(xué)系統(tǒng)對(duì)低散射、高穩(wěn)定性的嚴(yán)苛要求。
物理特性：熱導(dǎo)率超1800 W/(m·K)，硬度極高，熱膨脹系數(shù)低，化學(xué)穩(wěn)定性優(yōu)異，能在強(qiáng)沖擊、極端溫差等復(fù)雜工況下保持穩(wěn)定。
應(yīng)用場(chǎng)景：該晶圓是高功率激光器窗口、紅外光學(xué)探測(cè)、量子傳感及先進(jìn)半導(dǎo)體熱管理的理想材料，可顯著提升器件功率上限與可靠性。
要實(shí)現(xiàn)金剛石半導(dǎo)體的產(chǎn)業(yè)化，核心裝備必須自主。超晶熱導(dǎo)成功研制出16英寸高真空熱絲CVD金剛石生長(zhǎng)設(shè)備，綜合指標(biāo)對(duì)標(biāo)國(guó)際水準(zhǔn)。
設(shè)備硬核參數(shù)與能力：
大尺寸厚膜：可在16英寸基片上穩(wěn)定沉積毫米級(jí)厚膜，破解了均勻性與應(yīng)力控制痛點(diǎn)。
多功能集成：一臺(tái)設(shè)備可覆蓋金剛石厚膜、納米DLC刀具涂層、模具涂層及防腐蝕電極涂層等多種工藝，降低設(shè)備投入成本。
精準(zhǔn)控制：極限真空優(yōu)于8×10??Pa，熱絲最高溫度達(dá)2200℃，控溫精度在5%以內(nèi)，支持工藝氣體精準(zhǔn)摻雜。
產(chǎn)業(yè)意義：該設(shè)備打破了國(guó)外在高端金剛石生長(zhǎng)設(shè)備領(lǐng)域的壟斷，將大幅降低金剛石刀具、熱沉等產(chǎn)品的生產(chǎn)成本，加速金剛石材料在芯片、5G射頻及新能源汽車領(lǐng)域的落地。
在材料端，超晶熱導(dǎo)已攻克12英寸CVD金剛石晶圓的關(guān)鍵生產(chǎn)工藝。這款直徑約300mm的工業(yè)級(jí)晶圓熱導(dǎo)率大于1000 W/mK（約為銅的2.5倍），具備高絕緣、高硬度特性。
應(yīng)用價(jià)值：該產(chǎn)品是第三代半導(dǎo)體散熱、功率器件封裝及射頻芯片散熱的理想材料，能有效降低器件工作溫度，提升系統(tǒng)壽命。公司已形成不同厚度、粗糙度的定制化服務(wù)能力，實(shí)現(xiàn)了從小尺寸樣品向大尺寸工業(yè)化的跨越。
從核心裝備到材料成品，超晶熱導(dǎo)的系列突破構(gòu)建了完整的金剛石材料產(chǎn)業(yè)鏈條，為我國(guó)在寬禁帶半導(dǎo)體領(lǐng)域的競(jìng)爭(zhēng)提供了堅(jiān)實(shí)支撐。
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